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座位与成绩的邻近效应研究——一项随机控制试验证据
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作者 李昌克 陈习定 陈凯鸣 《湖北经济学院学报(人文社会科学版)》 2024年第10期88-91,共4页
基于随机控制试验方法,本文通过对4个班级210名学生2个多月时间的试验检验了座位是否能够影响学生学习成绩。结果表明,前排学生比相邻后排学生的百分位成绩平均提升4.5个百分点,即座位和成绩之间存在邻近效应。研究结论能给“往前坐”... 基于随机控制试验方法,本文通过对4个班级210名学生2个多月时间的试验检验了座位是否能够影响学生学习成绩。结果表明,前排学生比相邻后排学生的百分位成绩平均提升4.5个百分点,即座位和成绩之间存在邻近效应。研究结论能给“往前坐”的学风建设政策提供实证支撑,对于推进校园学风建设具有现实意义。 展开更多
关键词 座位 成绩 邻近效应 随机控制试验
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掩模制作中的邻近效应 被引量:2
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作者 杜惊雷 石瑞英 +1 位作者 崔铮 郭永康 《微纳电子技术》 CAS 2002年第11期36-40,共5页
计算模拟了激光束和电子束直写加工的掩模畸变,并分别用理想掩模和有畸变的掩模进行投影光学光刻过程的模拟和比较,讨论了光学邻近效应校正掩模在加工过程中所产生的畸变对传递到最终基片上的图形的影响。模拟分析指出,掩模加工中的邻... 计算模拟了激光束和电子束直写加工的掩模畸变,并分别用理想掩模和有畸变的掩模进行投影光学光刻过程的模拟和比较,讨论了光学邻近效应校正掩模在加工过程中所产生的畸变对传递到最终基片上的图形的影响。模拟分析指出,掩模加工中的邻近畸变应在设计光学邻近校正掩模时予以注意,即在掩模设计时,应把掩模加工中的邻近效应和光刻图形传递过程的邻近效应进行总体考虑,以便设计出最优化的掩模,获得最好的邻近效应校正效果。 展开更多
关键词 掩模制作 邻近效应 光学邻近效应 掩模畸变 光刻模拟 光学邻近校正 微光刻
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一种离线光学邻近效应匹配方法的研究和仿真 被引量:1
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作者 宋之洋 郭沫然 +3 位作者 苏晓菁 刘艳松 粟雅娟 韦亚一 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第3期197-203,共7页
目前小技术节点的光学邻近效应校正(OPC)过分依赖光刻机与光刻工艺的属性,量产时难以在不同型号光刻机间转移,而国内芯片制造厂光刻机种类繁杂,不可避免地需要解决工艺转移的问题。针对上述问题,以不同光刻机间的光学邻近效应匹配为研... 目前小技术节点的光学邻近效应校正(OPC)过分依赖光刻机与光刻工艺的属性,量产时难以在不同型号光刻机间转移,而国内芯片制造厂光刻机种类繁杂,不可避免地需要解决工艺转移的问题。针对上述问题,以不同光刻机间的光学邻近效应匹配为研究对象,阐述了匹配的原理及流程,提出了一种利用常用的OPC建模工具实现离线匹配的方法,模拟分析了该方法对成像误差的补偿效果,揭示了不同性质的误差对成像性能的影响规律,验证了该方法的正确性,为不同光刻机间的工艺转移提供了新的思路。 展开更多
关键词 光刻 计算光刻 光学邻近效应校正(OPC) 光学邻近效应匹配 工艺窗口控制
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邻近效应对多媒体学习中图文整合的影响:线索的作用 被引量:23
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作者 王福兴 段朝辉 +1 位作者 周宗奎 陈珺 《心理学报》 CSSCI CSCD 北大核心 2015年第2期224-233,共10页
在多媒体学习中图文排列的邻近或远离会影响学习的效果。本研究操纵了多媒体呈现的图文排列位置,采用颜色作为线索引导注意,探讨了线索有无和图片-文字的空间位置对多媒体学习图文整合的影响。结果发现:图文邻近呈现时的保持测验和迁移... 在多媒体学习中图文排列的邻近或远离会影响学习的效果。本研究操纵了多媒体呈现的图文排列位置,采用颜色作为线索引导注意,探讨了线索有无和图片-文字的空间位置对多媒体学习图文整合的影响。结果发现:图文邻近呈现时的保持测验和迁移测验成绩好于图文远离呈现,图文邻近呈现时学习者对关键兴趣区的进出次数更多,体现出以文字为导向的阅读模式。线索并没有单独影响学习成绩和注意分配;但结合图文位置后,发现有线索时图文邻近学习材料的注视次数、进出关键兴趣区的次数显著多于图文远离。研究认为:图文的邻近效应不仅提高学习者对知识的识记和理解,同时也影响了学习者的注意分配过程,图文邻近呈现有助于图片和文本信息的注意联结和知识整合;线索能使邻近效应得到凸显,更好地促进图文信息的注视加工,但没有改进学习的效果。 展开更多
关键词 邻近效应 线索 眼动 图文整合
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集肤和邻近效应对平面磁性元件绕组损耗影响的分析 被引量:60
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作者 旷建军 阮新波 任小永 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第5期170-175,共6页
提高磁性元件的工作频率,可以减少磁性元件的大小。但是随着工作频率的提高,集肤和邻近效应使绕组的损耗增加。文中基于磁性元件绕组的一维模型,对平面磁性元件绕组中的涡流效应进行分析。利用一维条件下,集肤和邻近效应的正交性,得出... 提高磁性元件的工作频率,可以减少磁性元件的大小。但是随着工作频率的提高,集肤和邻近效应使绕组的损耗增加。文中基于磁性元件绕组的一维模型,对平面磁性元件绕组中的涡流效应进行分析。利用一维条件下,集肤和邻近效应的正交性,得出了集肤和邻近效应各自产生的损耗随绕组厚度和频率的变化趋势,指出简单地把厚绕组分割为薄绕组的并联不能减少绕组的损耗;同时分析利用原副边绕组交叉换位技术减少变压器绕组损耗的原理。通过有限元分析软件和实验证实分析结果的正确性和有效性。 展开更多
关键词 电工 集肤效应 邻近效应 绕组损耗 平面磁性元件
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高分辨率中红外遥感(3-5μm)成像模拟中邻近效应分析 被引量:17
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作者 杨贵军 柳钦火 +2 位作者 刘强 肖青 顾行发 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期233-240,共8页
在星载高分辨率遥感成像模拟中,需要重点考虑大气辐射传输过程.通常情况下,中红外波段大气多次散射作用可以忽略,但在高分辨率中红外遥感成像中却需对由多次散射产生的邻近效应加以适当考虑.为对其进行定量分析,分别将影响中红外邻近效... 在星载高分辨率遥感成像模拟中,需要重点考虑大气辐射传输过程.通常情况下,中红外波段大气多次散射作用可以忽略,但在高分辨率中红外遥感成像中却需对由多次散射产生的邻近效应加以适当考虑.为对其进行定量分析,分别将影响中红外邻近效应的地表、大气及卫星观测几何参量等进行分析,结果表明:邻近效应随像元测量条件而改变,且在正常条件下其贡献达到3%左右.通过将现有大气点扩散函数(PSF)解析算法扩展至中红外波段,建立了中红外像元邻近效应模型,将其与大气辐射传输模型进行耦合,共同实现大气辐射传输与邻近效应模拟.模拟结果表明,模型是正确的,且应用方法切实可行;对中红外大气校正、成像模拟均具有一定参考价值. 展开更多
关键词 邻近效应 高分辨率 中红外 大气辐射传输 点扩散函数
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大地电导率横向突变处磁暴感应地电场的邻近效应 被引量:14
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作者 董博 王泽忠 +2 位作者 刘连光 刘丽平 刘春明 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期238-246,共9页
大地电性结构的横向变化会对磁暴时的感应地电流和地面电磁场产生影响.本文假设扰动地磁场变化的源为地面以上一定高度的面电流,以某一典型层状大地电导率结构为基础,构造含有电导率横向突变的地电模型.针对感应电流的方向与横向分界面... 大地电性结构的横向变化会对磁暴时的感应地电流和地面电磁场产生影响.本文假设扰动地磁场变化的源为地面以上一定高度的面电流,以某一典型层状大地电导率结构为基础,构造含有电导率横向突变的地电模型.针对感应电流的方向与横向分界面平行的情形,采用伽辽金有限元法对电导率横向突变处的感应地电场进行了分析,揭示了电导率横向差异产生的趋肤效应和邻近效应的机理,针对与电性结构分界面平行的输电线路,从评估地磁感应电流的角度讨论了影响的严重程度和范围. 展开更多
关键词 磁暴 地磁感应电流 邻近效应 有限元法
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相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术 被引量:15
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作者 冯伯儒 张锦 +2 位作者 侯德胜 周崇喜 苏平 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期1-5,共5页
详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。介绍了光学邻近效应校正方法。
关键词 相移掩模 光学邻近效应校正 光刻技术
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光学遥感对地成像过程中的邻近效应模拟分析 被引量:9
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作者 马晓珊 郭晓勇 +4 位作者 孟新 杨震 彭晓东 李立钢 谢文明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期250-256,共7页
光学遥感的邻近效应可以看作大气点扩散函数(PSF)和地表辐射场的卷积,通过逆向蒙特卡罗法模拟大气PSF,利用辐射传输模型MODTRAN计算地表辐射场,获得遥感器入瞳处的辐亮度值.开展不同对比度目标背景物在典型条件下的邻近效应模拟与分析,... 光学遥感的邻近效应可以看作大气点扩散函数(PSF)和地表辐射场的卷积,通过逆向蒙特卡罗法模拟大气PSF,利用辐射传输模型MODTRAN计算地表辐射场,获得遥感器入瞳处的辐亮度值.开展不同对比度目标背景物在典型条件下的邻近效应模拟与分析,结果显示:目标和背景的反射率分布对邻近效应影响很大,背景反射率越大,邻近效应占总辐射的比例越高;暗目标在亮背景下的邻近效应明显大于亮目标在暗背景下的邻近效应;固定成像高度和区域,空间分辨率越高,邻近效应越明显;地面气象视距对邻近效应的影响非常显著,气象视距增大,邻近效应减弱;太阳天顶角增大,邻近效应减弱.模拟结果为高分辨率光学遥感成像系统高精度建模和邻近效应校正算法研究提供了依据. 展开更多
关键词 光学遥感 邻近效应 大气点扩散函数 蒙特卡罗
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电缆群邻近效应的计算和优化排列 被引量:8
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作者 梁永春 孟凡凤 +2 位作者 王正刚 李忠魁 李彦明 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 2006年第2期39-41,共3页
在计算电缆群载流量时,交流电阻是一个重要的参数,其中邻近效应是计算交流电阻的一部分。IEC-60287和JB/T10181-2000仅给出了单回路情况下的邻近效应计算公式,且有一定的限制条件。本文利用电磁场理论和贝塞尔函数计算任意电缆群的邻近... 在计算电缆群载流量时,交流电阻是一个重要的参数,其中邻近效应是计算交流电阻的一部分。IEC-60287和JB/T10181-2000仅给出了单回路情况下的邻近效应计算公式,且有一定的限制条件。本文利用电磁场理论和贝塞尔函数计算任意电缆群的邻近效应,给出了不同相位排列方式下的结果,并给出了电缆邻近效应最小时的相位排列方式。 展开更多
关键词 载流量 交流电阻 邻近效应 贝塞尔函数
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考虑邻近效应的高速永磁无刷电机交流损耗 被引量:20
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作者 邹继斌 江善林 梁维燕 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第5期49-55,共7页
为了准确计算高速永磁无刷电机绕组交流损耗,考虑导体的趋肤效应和邻近效应,分析了槽内导体的涡流损耗的影响因素,并采用2D有限元研究SPWM调制引起的电流谐波、槽口几何尺寸、导体直径和位置以及并绕根数对绕组交流损耗的影响。计算结... 为了准确计算高速永磁无刷电机绕组交流损耗,考虑导体的趋肤效应和邻近效应,分析了槽内导体的涡流损耗的影响因素,并采用2D有限元研究SPWM调制引起的电流谐波、槽口几何尺寸、导体直径和位置以及并绕根数对绕组交流损耗的影响。计算结果表明,通过合理选择槽口尺寸、导体直径、并绕根数以及载波比可以有效降低绕组的交流损耗。针对永磁无刷电机绕组交流损耗难以从定子铁心损耗、转子涡流损耗以及机械损耗中准确分离的特点,采用在电机三相绕组中串入测试线圈的实验方法,验证了绕组交流损耗和SPWM载波比、导体半径以及并绕根数的关系,实验和有限元计算结果误差在5%以内。 展开更多
关键词 趋肤效应 邻近效应 交流损耗 高速永磁无刷电机 2D有限元
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基于集肤效应与邻近效应的静电除尘变压器绕组谐波损耗优化设计 被引量:8
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作者 李志广 沈湛 +1 位作者 潘鹏 金龙 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2018年第11期141-147,共7页
现有变压器设计方法没有对谐波下绕组结构进行精确设计,为此提出了一种考虑集肤效应与邻近效应的静电除尘变压器绕组谐波损耗优化设计方法。利用Helmholtz方程对交流谐波下铜箔、矩形及圆形导体绕组的损耗进行了分析及优化,并考虑了磁... 现有变压器设计方法没有对谐波下绕组结构进行精确设计,为此提出了一种考虑集肤效应与邻近效应的静电除尘变压器绕组谐波损耗优化设计方法。利用Helmholtz方程对交流谐波下铜箔、矩形及圆形导体绕组的损耗进行了分析及优化,并考虑了磁芯窗口参数的影响,对比了各种优化方法的优缺点及应用场合。样机实验结果表明,该方法可以准确给出谐波损耗最小时的优化结构,适用于大功率定制变压器的设计。 展开更多
关键词 静电除尘 变压器 绕组 集肤效应 邻近效应
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遥感影像邻近效应的实测数据校正(Ⅱ) 被引量:6
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作者 温奇 马建文 +1 位作者 陈雪 李利伟 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期159-165,共7页
本文在总结2004年工作的基础上,以辐射传输理论为基础,改进和增加了地面同步测量邻近效应模型设计和测量参数,实现了航空和卫星数据获取过程的地面同步参数测量。在此基础上,分别对航空ADS40和Landsat-5 TM数字影像进行了邻近效应校正实... 本文在总结2004年工作的基础上,以辐射传输理论为基础,改进和增加了地面同步测量邻近效应模型设计和测量参数,实现了航空和卫星数据获取过程的地面同步参数测量。在此基础上,分别对航空ADS40和Landsat-5 TM数字影像进行了邻近效应校正实验,特别对城区ADS40数字影像大气校正和邻近效应校正后的图像做了对比,邻近效应校正的图像较只做大气校正的图像像元值反差更大,细节得到更多增强,图像质量得到一定程度提高。 展开更多
关键词 ADS40和Landsat-5 TM遥感影像 邻近效应 地表实测数据
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地方政府税收竞争、邻近效应与环境污染 被引量:29
14
作者 周林意 朱德米 《中国人口·资源与环境》 CSSCI CSCD 北大核心 2018年第6期140-148,共9页
近年来众多研究表明地方政府税收竞争是引起环境污染的重要原因,但税收政策的空间邻近效应对环境污染的影响却较少受到关注。本文首先构建了一个包含三地区的局部均衡模型,从理论上得出降低本地税率会增加本地环境污染,而邻近地区提高... 近年来众多研究表明地方政府税收竞争是引起环境污染的重要原因,但税收政策的空间邻近效应对环境污染的影响却较少受到关注。本文首先构建了一个包含三地区的局部均衡模型,从理论上得出降低本地税率会增加本地环境污染,而邻近地区提高税率也会导致本地环境污染加剧的命题。接着采用2001—2015年30个省(市)空间面板数据,基于空间自滞后模型(SLX)分析地方政府税收竞争对环境污染的影响,发现:(1)降低本地实际税率会导致该地区污染排放量的增加,而增加本地实际税率会导致该地区污染物排放量的减少,地方政府实际税率竞争采取的是"逐底竞争"策略。(2)税收政策的邻近效应对环境污染有显著的正的影响,即邻近地区降低实际税率水平会使本地的环境污染水平下降,而邻近地区提高实际税率会增加本地环境污染水平。(3)税收政策的邻近效应导致污染企业转移具有"亲市场环境"、"亲空间距离"的特性,而对邻近地区综合技术水平不敏感。即在同等条件情况下,受税收政策的空间邻近溢出影响,污染企业转移会首先考虑市场环境较好的地区,其次是当前企业所在地与转移目的地之间的距离。这意味着,在区域环境治理过程中,一方面应改变唯GDP的考核体制,建立"绿色官员"晋升渠道。另一方面,中央政府在环境治理过程中除做好顶层设计之外,还应使地方政府意识到单个政府的环境治理行为无助于区域环境质量的改善,区域环境治理需要区域间地方政府达成合作共识。最后,地方政府还应意识到单纯实施税收优惠政策不但较难吸引到有竞争力企业,而且还可能会加剧地区环境污染。应通过完善基础设施建设,优化投资环境等,以吸引到合适的企业,并促使其使用绿色技术,实现经济发展与环境保护双赢。 展开更多
关键词 税收竞争 邻近效应 环境污染 空间自滞后模型
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多媒体学习的图文整合:空间邻近效应的元分析 被引量:5
15
作者 王玉鑫 谢和平 +2 位作者 王福兴 安婧 郝艳斌 《心理发展与教育》 CSSCI 北大核心 2016年第5期565-578,共14页
多媒体学习中的空间邻近效应认为,当书页或屏幕上的对应的图像和文本邻近呈现时,要比图文远离呈现更加有利于学习者的学习。本元分析针对Ginns(2006)的不足,增加了近10年最新的研究,以保持测验、迁移测验和主观认知负荷作为结果变量,考... 多媒体学习中的空间邻近效应认为,当书页或屏幕上的对应的图像和文本邻近呈现时,要比图文远离呈现更加有利于学习者的学习。本元分析针对Ginns(2006)的不足,增加了近10年最新的研究,以保持测验、迁移测验和主观认知负荷作为结果变量,考察多媒体学习中空间邻近效应的稳定性,以及学习材料特征、学习及测验环境和学习者教育水平等的调节作用。经文献搜索与筛选,有53项研究符合元分析要求,在保持测验、迁移测验、主观认知负荷上分别生成了45个(2000人)、43个(1935人)、11个(645人)独立效应量。主效应检验发现:空间邻近组在保持测验(d_(保持)=0.48)和迁移测验(d_(迁移)=0.39)成绩上均显著高于空间远离组,在主观认知负荷上显著低于空间远离组(d认知负荷=-0.24)。调节效应检验发现:在高交互性材料(d_(高交互)=0.42)、系统步调(d_(系统步调)=0.52)、短时学习(d_(短时)=0.55)等条件下,空间邻近效应对学习的深层理解(迁移测验)能发挥更大的作用;对中小学生学习者(d中小学=0.71),空间邻近效应促进学习识记(保持测验)的效果更好;相对于电子环境,纸质学习环境下(d_(保持)=0.66,d_(迁移)=0.52)的空间邻近效应对保持和迁移测验的促进都更加显著;在主观认知负荷上,学习材料特征、学习及测验环境以及学习者教育水平对空间邻近效应均不存在调节作用。 展开更多
关键词 空间邻近效应 多媒体学习 图文整合 元分析 调节效应
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ETM图像大气邻近效应校正 被引量:5
16
作者 刘成玉 陈春 +1 位作者 张树清 高箕悦 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2529-2532,共4页
准确地利用所获遥感图像反演地物的反射率,是提高遥感图像后续产品的质量和遥感定量化应用的前提。然而,由于大气对电磁波的散射作用,星载传感器所接收到的被观测目标的电磁辐射信号包含了来自背景地物的贡献,产生了邻近效应,使得所获... 准确地利用所获遥感图像反演地物的反射率,是提高遥感图像后续产品的质量和遥感定量化应用的前提。然而,由于大气对电磁波的散射作用,星载传感器所接收到的被观测目标的电磁辐射信号包含了来自背景地物的贡献,产生了邻近效应,使得所获遥感图像模糊不清,对比度降低,反演的地物反射率精度下降,从而降低了遥感图像后续产品的质量和定量遥感的精度。以ETM图像为实验数据,根据大气辐射传输模型,采用点扩散率函数法进行了ETM图像大气邻近效应校正实验。实验结果表明,经过大气邻近效应校正后,ETM图像的对比度明显增大,图像清晰,可识别细节增加,反演的地物反射率更加准确。 展开更多
关键词 大气邻近效应 点扩散率函数法 ETM图像
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遥感邻近效应测量与数据分析 被引量:4
17
作者 陈雪 马建文 +1 位作者 温奇 李利伟 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第1期1-8,共8页
2004年和2005年开展了遥感邻近效应的理论研究,2次卫星、1次航空遥感同步试验测量和测量数据分析,在获取了邻近参数的基础上实现了对图像的邻近效应校正。本文介绍了2005年7月25日在官厅遥感实验场沙漠的卫星同步测量实验结果和2005年5... 2004年和2005年开展了遥感邻近效应的理论研究,2次卫星、1次航空遥感同步试验测量和测量数据分析,在获取了邻近参数的基础上实现了对图像的邻近效应校正。本文介绍了2005年7月25日在官厅遥感实验场沙漠的卫星同步测量实验结果和2005年5月11日奥运场馆建设预留裸土地的ADS40航空遥感同步实验测量数据分析。改进测量方案和测量装置,并且对测量结果进行了对比分析。在两个相邻像元邻近效应分析的基础上,增加了9个点邻近像元效应分析和建立计算公式;在满足高斯条件和影像平坦性要求的前提下,直线高斯相邻点(d=2R)条件下亮度分布交叉点在(d=R),像元分辨率相互影响约为12.5%,实际测量中亮度分布交叉点和相互影响偏向于亮度值相对低的像元。 展开更多
关键词 邻近效应 同步测量实验 点扩散函数模型
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用逆向蒙特卡罗法分析卫星遥感中的邻近效应 被引量:10
18
作者 李宏顺 刘伟 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1-3,共3页
采用逆向蒙特卡罗法研究了邻近效应 ,提出了新的数值技巧来计算向上辐射强度组分 (即程辐射强度、目标强度、地气交叉辐射 ) .给出了一个算例 ,并与
关键词 卫星遥感 大气订正 邻近效应 逆向蒙特卡罗法
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卫星遥感像元邻近效应的模拟试验 被引量:3
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作者 温兴平 胡光道 杨晓峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期46-49,65,共5页
定量遥感需要对遥感影像进行大气校正,在大气校正过程中,去除邻近效应的影响是一个比较重要的环节.对邻近效应的移除依赖于对影响邻近效应的主要因子及影响机制的认识,为此研究了影响邻近效应的主要因子及影响机制.文中利用MODTRAN模型... 定量遥感需要对遥感影像进行大气校正,在大气校正过程中,去除邻近效应的影响是一个比较重要的环节.对邻近效应的移除依赖于对影响邻近效应的主要因子及影响机制的认识,为此研究了影响邻近效应的主要因子及影响机制.文中利用MODTRAN模型对不同对比度目标物在不同条件下的邻近效应进行了模拟,得出能见度对邻近效应的影响最大,其次是卫星天顶角,太阳高度角对邻近效应的影响最小;在能见度较高时,辐射率变化百分率曲线形状接近背景反射率曲线,但这种情况在能见度较低时并没有出现;在能见度较高时,随着波长增加,辐射率变化百分率逐渐减小,但在能见度较低时,这种关系没有出现.表明随着能见度减小,其对邻近效应的影响也呈现复杂化.模拟结果为消除邻近效应的影响提供了依据. 展开更多
关键词 遥感 大气校正 邻近效应 MODTRAN 模拟
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电子束光刻中邻近效应校正的几种方法 被引量:7
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作者 肖沛 孙霞 +1 位作者 闫继红 丁泽军 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第5期464-468,共5页
本文简要介绍了限制电子束光刻分辨率的主要因素之一—邻近效应的产生机制,列举了校正邻近效应的GHOST法、图形区密集度分布法和掩模图形形状改变法,介绍了每种方法的原理、步骤和效果,比较了它们各自的优缺点。
关键词 电子束光刻 邻近效应
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