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石英玻璃刻蚀浅锥孔阵列的工艺研究 被引量:1
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作者 乌李瑛 刘丹 +7 位作者 权雪玲 程秀兰 张芷齐 高庆学 付学成 徐丽萍 张文昊 马玲 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期434-441,共8页
介绍了石英玻璃刻蚀浅锥孔的制备方法。通过紫外接触式光刻系统在石英玻璃上形成光刻胶浅锥孔阵列图案,用电感耦合反应离子刻蚀机(ICP-RIE)进行刻蚀。研究了光刻参数和蚀刻参数(气体流量、气体成分、腔压、ICP功率和偏置功率)对石英玻... 介绍了石英玻璃刻蚀浅锥孔的制备方法。通过紫外接触式光刻系统在石英玻璃上形成光刻胶浅锥孔阵列图案,用电感耦合反应离子刻蚀机(ICP-RIE)进行刻蚀。研究了光刻参数和蚀刻参数(气体流量、气体成分、腔压、ICP功率和偏置功率)对石英玻璃的刻蚀性能、表面轮廓、蚀刻速率和侧壁倾角的影响。结果表明:刻蚀气体种类对石英浅锥孔阵列刻蚀效果有显著影响,CF_(4)和Ar的组合气体所刻蚀的石英锥孔阵列的效果最佳,随着CF_(4)气体流量比的增加,石英刻蚀倾角先降低后又小幅增加,当刻蚀气体(CF_(4)∶Ar)流量比在5∶3时,石英刻蚀速率为0.154μm/min,光刻胶刻蚀速率为0.12μm/min,得到的石英浅锥孔倾角最倾斜。在其他刻蚀参数一定的情况下,ICP功率由600W升高至800W,石英刻蚀速率大幅降低,聚合物的沉积成为刻蚀工艺的主导;刻蚀石英的粗糙度Rq随着ICP功率的降低明显增加;RF功率升高时刻蚀石英的速率增加,Rq值增加后又降低,当RF功率升高至200W时,光刻胶发生碳化现象。可为石英玻璃微器件的制备提供工艺参考。 展开更多
关键词 电感耦合反应离子刻蚀 石英玻璃 干法刻蚀 等离子体 刻蚀倾角 微透镜阵列 锥孔
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基于视觉阻抗控制的并联机械臂锥孔装配
2
作者 高光亚 闫娟 +1 位作者 杨慧斌 刘亚彪 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第10期27-31,共5页
针对当前协作机器人在锥孔装配中依赖准确工件位置信息的局限性问题,提出了一种基于视觉阻抗控制的并联机械臂控制方法。首先,根据机器人锥孔装配的原理建立其动力模型,采用针孔模型建立图像特征点的运动模型;然后,基于所构建的动力模型... 针对当前协作机器人在锥孔装配中依赖准确工件位置信息的局限性问题,提出了一种基于视觉阻抗控制的并联机械臂控制方法。首先,根据机器人锥孔装配的原理建立其动力模型,采用针孔模型建立图像特征点的运动模型;然后,基于所构建的动力模型,设计了基于视觉伺服控制和阻抗控制的机械臂混合控制策略,通过末端搭载的视觉系统获取的工件之间的特征点误差以实现机械臂末端的位置和力控制,从而完成工件之间的装配动作;最后,建立了机械臂系统实验平台,进行了工件装配的位置跟踪和末端接触力实验,并将其与传统的力位控制方法进行了对比实验,结果验证了该控制方法的有效性和稳定性。 展开更多
关键词 阻抗控制 装配仿真 锥孔装配 视觉伺服
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加工中心主轴锥孔的手工修磨技术
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作者 于秋波 钟学勇 +4 位作者 梁振涛 王晓刚 潘鹏宇 王惠民 张国喜 《今日制造与升级》 2024年第4期144-148,共5页
文章介绍了加工中心主轴锥孔损伤后的一种手工修磨技术,包括主轴锥孔的作用与损坏因素、损伤主轴锥孔的评估方法、修磨工具的应用、修磨步骤和注意事项等。该技术具有修复时间短、精度高、不需要专用设备等优点,是加工中心主轴锥孔损坏... 文章介绍了加工中心主轴锥孔损伤后的一种手工修磨技术,包括主轴锥孔的作用与损坏因素、损伤主轴锥孔的评估方法、修磨工具的应用、修磨步骤和注意事项等。该技术具有修复时间短、精度高、不需要专用设备等优点,是加工中心主轴锥孔损坏后无需拆解主轴的一种快速有效修复方法。 展开更多
关键词 主轴锥孔 几何精度 手工研磨 接触面积
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油气管道不等壁厚内锥孔环焊缝的相控阵超声检测
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作者 陆阳 郭瑞杰 +3 位作者 张晴晴 赵铁 薛岩 吕新昱 《无损检测》 CAS 2024年第5期6-10,共5页
油气输送管道建设中,不等壁厚钢管的焊接较为常见。传统倒角式内坡口环焊缝的根部应力集中、焊趾易存在缺陷且容易漏检。孔锥形内坡口环焊缝可将不等壁厚焊接改进为等壁厚焊接。围绕油气管道常用的PAUT检测,针对孔锥形内坡口引起的检测... 油气输送管道建设中,不等壁厚钢管的焊接较为常见。传统倒角式内坡口环焊缝的根部应力集中、焊趾易存在缺陷且容易漏检。孔锥形内坡口环焊缝可将不等壁厚焊接改进为等壁厚焊接。围绕油气管道常用的PAUT检测,针对孔锥形内坡口引起的检测质量问题进行了理论(仿真)分析,设计加工了含不同位置缺陷的对比试块并结合仿真试验进行了对比分析,确定了适宜的最小锥孔长度,为工程应用提供了有力的技术支持。 展开更多
关键词 油气管道 锥孔 环焊缝 相控阵超声检测
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颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量高血压脑出血患者的效果比较
5
作者 张亚军 《中国民康医学》 2024年第1期142-144,148,共4页
目的:比较颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量高血压脑出血(HICH)患者的效果。方法:选取2020年1月至2023年1月该院收治的82例中等量HICH患者进行前瞻性研究,以随机数字表法将其分为研究组(n=41)和对照组(n=41)。研究组采用... 目的:比较颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量高血压脑出血(HICH)患者的效果。方法:选取2020年1月至2023年1月该院收治的82例中等量HICH患者进行前瞻性研究,以随机数字表法将其分为研究组(n=41)和对照组(n=41)。研究组采用颅骨锥孔穿刺引流术,对照组采用颅骨钻孔穿刺引流术,比较两组血肿清除率、围术期指标水平,手术前后血清炎性因子[C反应蛋白(CRP)、降钙素原(PCT)、肿瘤坏死因子-α(TNF-α)]水平、神经功能缺损程度[美国国立卫生研究院卒中量表(NIHSS)]评分、日常生活能力(Barthel指数),以及术后1个月并发症发生率。结果:两组血肿清除率比较,差异无统计学意义(P>0.05);研究组手术时间、皮肤切口长度和住院时间均短于对照组,术中出血量少于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);术后7、14 d,研究组血清CRP、PCT、TNF-α水平均低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);术后3个月,两组NIHSS评分均低于术前,Barthel指数均高于术前,差异有统计学意义(P<0.05),但组间比较,差异无统计学意义(P>0.05);两组并发症发生率比较,差异无统计学意义(P>0.05)。结论:颅骨锥孔穿刺引流术治疗中等量HICH患者可降低围术期指标水平和血清炎性因子水平,效果优于钻孔穿刺引流术治疗。 展开更多
关键词 高血压 中等量 脑出血 颅骨锥孔穿刺引流术 颅骨钻穿刺引流术 炎性因子 神经缺损程度 日常生活能力
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钛合金组合体深锥孔工艺试验研究
6
作者 孔桂珍 张华锦 +2 位作者 田青 张哲 李东伟 《航天制造技术》 2024年第1期61-63,70,共4页
在实际生产中,复杂钛合金组合体深锥孔加工对加工精度和表面质量要求较高,是业界难题。本文对钛合金组合体深锥孔的结构特点和加工要素进行分析,经过不断实验和研究,设计专用工装、专用刀具,选择适宜的加工参数采取工艺措施,保证钛合金... 在实际生产中,复杂钛合金组合体深锥孔加工对加工精度和表面质量要求较高,是业界难题。本文对钛合金组合体深锥孔的结构特点和加工要素进行分析,经过不断实验和研究,设计专用工装、专用刀具,选择适宜的加工参数采取工艺措施,保证钛合金组合体深锥孔的加工尺寸和表面质量,满足工艺要求。 展开更多
关键词 钛合金 组合体 锥孔加工 工艺措施
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颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量高血压脑出血的前瞻性对照研究 被引量:21
7
作者 王虎成 张荣军 +11 位作者 张宏兵 罗文颖 李孝伟 杨晓亮 刘帅 张洋 马德 陈杰 高飞 高林涛 闫兴尧 贾宝康 《中国临床医生杂志》 2023年第2期201-204,共4页
目的评价颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量基底节区高血压脑出血的效果。方法研究对象为2014年1月至2021年1月中国人民解放军联勤保障部队第九八七医院收治高血压脑出血患者120例,按随机数字表法将患者分为锥孔穿刺组60例... 目的评价颅骨锥孔穿刺引流术与钻孔穿刺引流术治疗中等量基底节区高血压脑出血的效果。方法研究对象为2014年1月至2021年1月中国人民解放军联勤保障部队第九八七医院收治高血压脑出血患者120例,按随机数字表法将患者分为锥孔穿刺组60例(采用锥孔穿刺引流术)和钻孔穿刺组60例(采用钻孔穿刺引流术)。评价两组患者日常生活活动能力、住院期间的死亡率及并发症。结果患者住院期间死亡共9例,其中锥孔穿刺组4例(6.67%),钻孔穿刺组5例(8.33%),两组差异无显著性(χ2=0.00,P>0.05)。锥孔穿刺组平均手术时间(24.2±8.5)min,钻孔穿刺组(49.2±9.3)min,差异有显著性(P<0.05)。两组再出血、手术切口感染、穿刺位置偏差差异有显著性(P<0.05)。治疗3个月后随访,两组患者Barthe1指数,差异无显著性(P>0.05);两组日常生活能力量表达自理水平的较好状态者(Barthel指数≥75),差异有显著性(P<0.05)。结论锥孔穿刺术和钻孔穿刺术均可用于治疗中等量(30~50ml)高血压脑出血患者,但锥孔穿刺术的并发症较钻孔穿刺术少,且手术时间短,提高患者日常生活活动能力,降低病残率。 展开更多
关键词 高血压脑出血 颅骨锥孔穿刺引流术 穿刺引流术 基底节区
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横向过载下锥孔三维药柱的内弹道特性
8
作者 田忠亮 李军伟 +3 位作者 贺业 许团委 丁淼 王宁飞 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期1896-1907,共12页
高空中作机动飞行的导弹易出现内弹道异常,严重时可能导致飞行任务失败。为了分析内弹道异常机理,对横向过载下发动机内弹道特性展开研究,进行过载下丁羟三组元推进剂燃速测量试验,建立过载下该推进剂燃速模型;基于此模型,模拟锥孔三维... 高空中作机动飞行的导弹易出现内弹道异常,严重时可能导致飞行任务失败。为了分析内弹道异常机理,对横向过载下发动机内弹道特性展开研究,进行过载下丁羟三组元推进剂燃速测量试验,建立过载下该推进剂燃速模型;基于此模型,模拟锥孔三维药柱非均匀燃面退移,进行全程横向过载、短时恒定横向过载、短时振荡横向过载三种过载方式下发动机的内弹道特性研究。研究结果表明:横向过载会使燃烧室压强增加,绝热层暴露时间提前;振荡式过载产生的压强振荡频率与过载振荡频率一致;瞬间横向过载会使燃烧室压强发生跃迁,在100 g过载下,压强增加8%左右,过载消失,压强骤降;若受横向过载时间间隔一定,则导弹在压强稳定时做机动飞行更有利。 展开更多
关键词 锥孔三维药柱 燃速 燃面退移 横向过载 内弹道
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钛合金双耳同轴锥孔特征自动化铣削技术研究 被引量:1
9
作者 曹泽平 黄景康 +1 位作者 李珣凯 戴朝辉 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第4期147-150,155,共5页
针对目前传统的钛合金双耳同轴锥孔特征镗削加工效率低、质量不稳定、难以实现无人工干预加工的问题,开展锥孔铣削加工相关工艺研究,对零件装夹定位、加工刀具选取、刀具路径规划、切削参数选用、加工误差补偿等关键技术提出解决方案;... 针对目前传统的钛合金双耳同轴锥孔特征镗削加工效率低、质量不稳定、难以实现无人工干预加工的问题,开展锥孔铣削加工相关工艺研究,对零件装夹定位、加工刀具选取、刀具路径规划、切削参数选用、加工误差补偿等关键技术提出解决方案;分析了刀轨策略对加工稳定性的影响,研究了切削参数对加工表面粗糙度的影响规律,试验结果表明锥孔铣削加工中的最优参数配置为切削速度80 m/min、每齿进给量0.08 mm/z、切削宽度0.1 mm,对表面粗糙度的显著度影响顺序依次为切削速度>每齿进给量>切削宽度;通过分析双耳同轴锥孔的加工精度要求与加工过程中的误差来源,针对锥孔基准截圆深度要求提出了一种加工误差补偿方法。 展开更多
关键词 钛合金锥孔 铣削加工工艺 加工参数 误差补偿
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主轴锥孔复合加工技术的研究
10
作者 鲁晓 卢勇 史生宇 《机电工程技术》 2023年第12期58-62,共5页
从企业的实际应用出发,针对主轴生产过程中锥孔加工的问题,提出复合加工机床的设计思路以及优化的锥孔加工工艺。在分析常用主轴锥孔加工工艺的基础上,研究主轴锥孔复合机床的设计。利用有限元分析,从不同的机床结构中得出优化的复合机... 从企业的实际应用出发,针对主轴生产过程中锥孔加工的问题,提出复合加工机床的设计思路以及优化的锥孔加工工艺。在分析常用主轴锥孔加工工艺的基础上,研究主轴锥孔复合机床的设计。利用有限元分析,从不同的机床结构中得出优化的复合机床结构,结果表明优化后的机床结构满足锥孔加工的受力需求。通过机床配套数控系统功能分析以及工装夹具的应用,对机床数控加工中的工艺路径进行优化,提升主轴锥孔复合机床加工主轴的性能,特别是提升了锥孔的加工精度。用圆度仪检测锥孔误差,误差小于0.002 mm,满足加工要求。结果表明:利用有限元分析能提高机床结构的受力性能;通过分析数控系统的功能,可以优化锥孔的加工工艺,为其他相关轴类零件加工设备的设计以及加工工艺的设计提供参考。 展开更多
关键词 主轴加工 锥孔加工工艺 数控编程
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锥孔不同截面直径测量装置
11
作者 李运升 《金属加工(冷加工)》 2023年第1期78-80,共3页
长锥孔目前采用锥度规检测,只能定性判断零件是否合格,长锥度规制造难度大,对热处理及机械加工要求极高,而且其质量大,测量操作不方便,同时锥度规没有检测数据,不能为机床调整提供数据依据,故笔者设计了一套测量装置,该装置质量轻,操作... 长锥孔目前采用锥度规检测,只能定性判断零件是否合格,长锥度规制造难度大,对热处理及机械加工要求极高,而且其质量大,测量操作不方便,同时锥度规没有检测数据,不能为机床调整提供数据依据,故笔者设计了一套测量装置,该装置质量轻,操作简便,能够测量不同指定深度截面的直径,还可旋转一周测量该截面的不圆度,可用于加工过程及终检,解决了大直径、长锥孔的锥度检测难题。 展开更多
关键词 锥孔 截面 直径
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基于转向节锥孔加工的夹具及辅具设计 被引量:3
12
作者 陈小静 李文星 《工具技术》 2012年第6期33-35,共3页
对汽车转向节锥孔加工工序进行了相关的分析,在此基础上设计了该工序的专用夹具,使得锥孔的加工质量、生产效率有了明显的提高,同时降低了制造成本。为保证锥孔的精度和深度,满足转向节锥孔的加工要求,设计了加工该锥孔的辅具即锥孔定... 对汽车转向节锥孔加工工序进行了相关的分析,在此基础上设计了该工序的专用夹具,使得锥孔的加工质量、生产效率有了明显的提高,同时降低了制造成本。为保证锥孔的精度和深度,满足转向节锥孔的加工要求,设计了加工该锥孔的辅具即锥孔定深装置,该装置降低了机加人员的操作难度,又能提高加工精度和加工零件的一致性。 展开更多
关键词 锥孔加工 专用夹具 锥孔定深装置
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精密主轴锥孔磨削 被引量:1
13
作者 马腾君 《制造技术与机床》 1981年第12期-,共3页
关键词 锥孔磨削 莫氏锥孔 心轴 刀具 精密主轴 主轴锥孔
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高血压脑出血CT定位锥孔抽血治疗 被引量:21
14
作者 姜金利 李厚泽 +3 位作者 刘永吉 王秀芳 郎国材 陈久荣 《中风与神经疾病杂志》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期105-106,共2页
我科自1984年12月~1988年11月,利用CT 脑扫描对血肿定位,采用骨锥锥孔穿刺抽出血肿,在急性和亚急性期病人血肿腔内注入尿激酶,使血块溶解,抽出积血的方法,共治疗60例病人,现报道如下。临床资料一般资料:男41例,女19例,年龄31~81岁,平... 我科自1984年12月~1988年11月,利用CT 脑扫描对血肿定位,采用骨锥锥孔穿刺抽出血肿,在急性和亚急性期病人血肿腔内注入尿激酶,使血块溶解,抽出积血的方法,共治疗60例病人,现报道如下。临床资料一般资料:男41例,女19例,年龄31~81岁,平均56.5岁。其中49岁以下16例;50~59岁26例;60岁以上18例。临床表现:有明确高血压病史者32例,最短2年,最长20年,平均为6~7年;否认有高血压病史者15例; 展开更多
关键词 高血压 脑出血 CT 颅骨锥孔
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飞秒激光高精细加工柴油机喷油嘴倒锥孔法 被引量:15
15
作者 王锋 罗建军 李明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期137-141,共5页
利用飞秒激光加工热效应小、高精细、对材料无选择性等特点,针对柴油发动机高压共轨系统中关键零件——喷油嘴偶件喷油孔的加工需求,设计了一种利用三光楔扫描的飞秒激光加工装置,并进行了喷油嘴倒锥孔加工工艺研究.采用微孔三座标测量... 利用飞秒激光加工热效应小、高精细、对材料无选择性等特点,针对柴油发动机高压共轨系统中关键零件——喷油嘴偶件喷油孔的加工需求,设计了一种利用三光楔扫描的飞秒激光加工装置,并进行了喷油嘴倒锥孔加工工艺研究.采用微孔三座标测量机(测量准确度1.2μm)对倒锥孔尺寸准确度进行检测,通过喷油嘴高压液体流量试验台(测量准确度±0.1%)对批量制孔后的油嘴进行了流量测试,结果表明:所设计装置加工的油嘴性能可以满足欧V排放法规的应用要求,对提升汽车制造业水平及柴油车排放标准具有重要意义. 展开更多
关键词 飞秒激光 微加工 锥孔 喷油嘴 高压共轨
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采用CT影像结合徒手体表定位经皮颅骨锥孔引流治疗高血压脑出血116例 被引量:9
16
作者 杨术真 李拴德 +3 位作者 杨喜民 李光华 王咸昌 唐宗椿 《中国危重病急救医学》 CSCD 2000年第5期311-312,共2页
关键词 高血压脑出血 CT 经皮颅骨锥孔引流 治疗
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厚壁管件上小尺寸深锥孔的成形加工及工艺尺寸的预测 被引量:5
17
作者 周立华 李双义 张振纯 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期11-13,共3页
在采用上限法的流函数模式对常规厚壁管件冷挤压成形建立理想模型的基础上,定性地分析了常规开式冷挤压成形规律。然后用实验研究的方法研究了厚壁管件上小尺寸深锥孔的成形加工及预测其变形后的工艺尺寸。
关键词 厚壁管 小尺寸深锥孔 成形加工 工艺尺寸 冷挤压
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简易定向锥孔引流治疗高血压脑出血76例临床体会 被引量:9
18
作者 张维涛 杨海贵 +4 位作者 路丕周 杜宏瑞 张永兵 高永开 白小飞 《中国临床神经外科杂志》 2010年第2期101-102,共2页
目的探讨简易定向锥孔引流治疗高血压脑出血的效果。方法对我院2006年3月以来76例高血压脑出血患者施行简易定向床头锥孔置管抽吸引流血肿手术。结果术后随访3~6月,根据GOS评分评估预后,其中恢复正常21例(27.6%),轻残32例(42.1%),重残1... 目的探讨简易定向锥孔引流治疗高血压脑出血的效果。方法对我院2006年3月以来76例高血压脑出血患者施行简易定向床头锥孔置管抽吸引流血肿手术。结果术后随访3~6月,根据GOS评分评估预后,其中恢复正常21例(27.6%),轻残32例(42.1%),重残15例(19.7%),植物生存4例(5.3%),死亡4例(5.3%)。结论简易定向使穿刺精确度明显提高,术后能早日拔管,缩短治疗流程,有效控制继发损伤,手术创伤小,疗效满意,利于基层医院开展。 展开更多
关键词 简易定向 高血压脑出血 锥孔置管引流术
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多元定位在高血压脑出血锥孔术中的应用 被引量:3
19
作者 张宏兵 王晓峰 +4 位作者 李加龙 苏宝艳 唐宗椿 陈博博 张坤虎 《临床神经外科杂志》 CAS 2013年第2期119-119,共1页
我科自2011年1月至2011年10月对脑出血锥孔手术患者采取多元定位法穿刺42例,手术成功率高,取得了良好的效果。现报告如下。
关键词 高血压脑出血 锥孔 手术成功率 定位法
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微创锥孔引流对脑深部自发性出血的疗效评价 被引量:3
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作者 杨海贵 米延起 +3 位作者 王亚飞 张维涛 范百亚 杜宏瑞 《中华神经外科疾病研究杂志》 CAS 2013年第4期348-351,共4页
目的探讨脑深部中量自发性出血微创锥孔引流的疗效。方法选取我院神经内、外科同期收治的58例脑深部中量自发性出血患者,在常规综合治疗的基础上分为两组,治疗组28例行微创锥孔置管外引流术,保守治疗的30例患者作为对照组,从血肿引流吸... 目的探讨脑深部中量自发性出血微创锥孔引流的疗效。方法选取我院神经内、外科同期收治的58例脑深部中量自发性出血患者,在常规综合治疗的基础上分为两组,治疗组28例行微创锥孔置管外引流术,保守治疗的30例患者作为对照组,从血肿引流吸收、神经功能缺损等方面进行比较。结果治疗组在血肿引流吸收时间、神经功能缺损改善时间差异均明显低于对照组(P<0.05),临床神经功能缺损评分显效率为89.3%,高于对照组的63.3%(P<0.05)。结论微创锥孔置管引流术具有迅速引流血肿、减轻继发损伤、挽救神经功能等优点,对于脑深部中量自发性出血患者可明显缩短治疗、住院时间,有效改善神经功能缺损,提高临床疗效。 展开更多
关键词 脑深部出血 微创 锥孔引流 疗效评价
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