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题名真空电子元件的非ODS水剂清洗技术
被引量:1
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作者
刘万里
李玉香
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机构
宝石电子集团有限责任公司元件厂
山东大学光电材料与器件研究所
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第A10期160-165,共6页
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文摘
由于在加工过程中,污物组分复杂,真空电子元件,如CPT,CDT用销钉、阳极幅原来全部采用ODS溶剂清洗,为获得极洁净水平的元件表面,本文介绍一种非ODS水剂清洗技术,其清洗剂主要组分包括脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺等多种表面活性剂和助剂,符合对人、对环境无毒、无污染、对自氧层无损耗、对全球变暖影响低或无影响、不含磷酸盐及壬基苯酚乙基盐等综合要求。
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关键词
真空电子元件
非ods水剂清洗
ods溶剂
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分类号
TN105.4
[电子电信—物理电子学]
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题名用于真空电子器件的非ODS水剂清洗工艺
被引量:2
- 2
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作者
刘万里
李伟
袁月芬
李玉香
胡成香
张传国
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机构
宝石电子集团有限责任公司元件厂
山东大学光电材料与器件研究所
山东佳丽日化总公司技术开发中心
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出处
《真空电子技术》
2000年第1期46-51,共6页
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基金
联合国计划开发署资助项目
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文摘
由于零件表面的污物组分复杂,真空电子器件,如CPT、CDT用的销钉、阳极帽等零件原来全部采用ODS溶剂清洗。为获得极洁净的表面,本文介绍一种非ODS水剂清洗技术。其清洗剂主要组分包括脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺等多种表面活性剂和助剂,符合对人无毒、对环境无毒、对臭氧层无损耗、不含磷酸盐及壬基苯酚乙基盐等综合要求。对清洗过的零件,进行常规检验和X射线能谱分析的结果表明。
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关键词
真空电子元件
非ods水剂清洗
ods溶剂
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Keywords
Vacuum electron components,Non-ods aqueous cleaning technique,ods solvent
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分类号
TN105
[电子电信—物理电子学]
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题名非ODS水剂清洗控制系统
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作者
付军伟
刘万里
袁月芬
陈传继
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机构
宝石电子集团公司元件厂
日东电子设备有限公司
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出处
《电子工艺技术》
2000年第4期160-163,167,共5页
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文摘
介绍一种非ODS水剂清洗机的控制系统 ,该系统采用PLC和人机界面 ,适应了清洗工艺多样化的要求。
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关键词
半导体
电子产品
控制系统
非ods水剂清洗
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Keywords
PLC and man-machine interface
Control system
Non-ods aqueous cleaning
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分类号
TN605
[电子电信—电路与系统]
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
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题名真空电子技术
- 4
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出处
《中国无线电电子学文摘》
2000年第4期18-23,共6页
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关键词
真空电子元件
ods溶剂
真空科学
清洗剂
非ods水剂清洗
脂肪醇聚氧乙烯醚
阳极帽
表面活性剂
元件表
无损耗
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分类号
TN
[电子电信]
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