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(Ti,Al)N单层和TiN/(Ti,Al)N多层涂层的物理及力学性能研究 被引量：4
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作者 陈利 吴恩熙 +1 位作者 尹飞 汪秀全 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期271-274,共4页
借助EPMA、XRD、SEM、纳米压痕、EDX、Rockwell A压痕、强度测试和切削实验研究了采用磁控溅射法在硬质合金基体上沉积的(Ti,Al)N单层和Ti N/(Ti,Al)N多层涂层的物理和力学性能。研究结果表明:两种涂层均与基体结合紧密,(Ti,Al)N为面心... 借助EPMA、XRD、SEM、纳米压痕、EDX、Rockwell A压痕、强度测试和切削实验研究了采用磁控溅射法在硬质合金基体上沉积的(Ti,Al)N单层和Ti N/(Ti,Al)N多层涂层的物理和力学性能。研究结果表明:两种涂层均与基体结合紧密,(Ti,Al)N为面心立方结构;Ti N/(Ti,Al)N多层涂层具有更高的硬度、更低的脆性和更好的切削性能。 展开更多
关键词 物理气相沉积 (Ti a1)n单层涂层 Tin/(Ti a1)n多层涂层
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