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有机玻璃基底AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与性能
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作者 徐清源 张运生 +3 位作者 陈琛 冯海兵 黄鹏 祖成奎 《航空材料学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期87-97,共11页
采用低温磁控溅射技术在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯PMMA)表面制备铝掺杂氧化锌(AZO)叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响,探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜(SEM)、... 采用低温磁控溅射技术在有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯PMMA)表面制备铝掺杂氧化锌(AZO)叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响,探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)表征薄膜的形貌和结构。结果表明:AZO的溅射功率影响了AZO层表面能以及薄膜的结晶度,在100 W和150 W溅射功率下制备出的AZO/Ag/AZO薄膜室温下具有3.7Ω/sq的低薄膜电阻和86.1%的高透光率,采用PMMA和聚氨酯胶片对薄膜进行层合封装,湿热30天后仍保持光学、电学性能稳定。PMMA层合结构在加温过程中的时间-温度曲线表明在5 V直流电压下层合玻璃具有较快的温度响应时间和良好的温度均匀性。-10~-40℃空气对流中PMMA层合结构表现出良好的温度稳定性。 展开更多
关键词 PMMA azo/ag/azo 层合 耐湿热性 电加温
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Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响的研究
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作者 张健峰 《中国设备工程》 2023年第17期132-134,共3页
透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层... 透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层厚度增加时,AZO/Ag/AZO薄膜的(002)衍射峰略向较高的角度移动且半高宽略微增大,晶粒尺寸和晶面间距减小。AZO/Ag/AZO薄膜的电阻率,方块电阻,光学透射率与Ag层的厚度密切相关。随着Ag层厚度的增加,电阻率减小,透射率减小。品质因数表明,其中Ag层厚为5nm的AZO/Ag/AZO三层薄膜具有较好的光电性能。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 azo/ag/azo 磁控溅射法 ag层厚度
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磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电膜的性能研究 被引量:8
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作者 贾芳 乔学亮 +2 位作者 陈建国 李世涛 王国锋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期38-41,共4页
选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量... 选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量为4时薄膜沉积速率最快。沉积AZO时充入氧气会使整个膜系的透光率不随Ag层增厚明显降低,并且会使膜系的方阻降低。在最优氧流量为4L/min(标准状态下,下同)上下各沉积59nm的AZO与氧流量为0时沉积33nm银层相匹配的复合膜在可见光区(包括基底)的透光率达到90%,方阻为2.5Ω/ □。 展开更多
关键词 磁控溅射 azo/ag/azo 透光导电膜 透射率
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AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的制备及其物性分析
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作者 杨波 《科技创新与应用》 2019年第8期96-97,共2页
文章在溶胶燃烧法制备的AZO薄膜的基础上,将银层导入其中,制备出AZO/Ag/AZO三层结构透明导电薄膜。并对得到的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。
关键词 azo/ag/azo 溶胶燃烧 azo 真空蒸镀
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粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性 被引量:1
5
作者 刘思宁 周艳文 +1 位作者 吴川 吴法宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期937-943,共7页
室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分... 室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分析;采用紫外可见分光光度计和霍尔效应仪分别对薄膜的光电性能进行检测分析。结果表明,所制备的三层膜表面平整,颗粒大小错落均称;三层膜呈现多晶结构,AZO层薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构,Ag层薄膜具有(111)择优取向的立方结构;当三层薄膜为AZO(20 nm)/Ag(12 nm)/AZO(20 nm)时,在550 nm处的透光率为88%,方块电阻为4.3Ω/□,电阻率为2.2×10^(-5)Ω·cm,载流子浓度为2.8×1022/cm^3,迁移率为10 cm^2/(V·s),品质因子为3.5×10-2Ω^(-1)。 展开更多
关键词 azo/ag/azo 多层透明导电薄膜 六方纤锌矿结构 粉末靶 射频磁控溅射
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Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜性能的影响 被引量:2
6
作者 李明亮 刘利 沈燕 《真空》 CAS 2020年第1期31-34,共4页
在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜... 在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响。研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜的电阻率不断降低,透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势,其中Ag层厚度为8nm的样品获得最大品质因子33.1×10^-3Ω^-1,综合性能最佳。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 azo/ag/azo 室温沉积
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基于AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的染料敏化太阳电池研究
7
作者 李俊泓 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期777-780,共4页
采用化学气相沉积和直流溅射沉积方法成功制备了与基体附着力高的不同Pt厚度的Pt/碳纳米管(CNT)膜层。通过扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)分别对薄膜厚度和表面形貌以及膜层中Pt的含量进行了研究;通过电化学阻抗谱和循环伏安曲线... 采用化学气相沉积和直流溅射沉积方法成功制备了与基体附着力高的不同Pt厚度的Pt/碳纳米管(CNT)膜层。通过扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)分别对薄膜厚度和表面形貌以及膜层中Pt的含量进行了研究;通过电化学阻抗谱和循环伏安曲线分别对Pt和Pt/CNT对电极的光电催化性进行了研究。结果表明:CNT与基体具有良好的接触性,并且随Pt沉积时间的增加,Pt在CNT薄膜中的含量增加,染料敏化太阳电池(DSSC)的光电转化效率随Pt厚度的增加而增加;与单纯的Pt对电极相比,Pt/CNT对电极具有更高的活性比表面,更低的电子迁移电阻以及更高的还原电流密度;以Pt(80 nm)/CNT为对电极的DSSC具有最高的光电转化效率8.54%;另外,与Pt(80 nm)对电极相比,以Pt(40 nm)/CNT为对电极制备的DSSC具有更高的光电转化效率,因此,该新型对电极结构可大大节省贵金属Pt的用量,在DSSC的应用中具有很大的潜力。 展开更多
关键词 染料敏化太阳电池 铝掺杂氧化锌(azo)/银/azo多层膜 铌掺杂二氧化钛阻挡膜 Pt/CNT对电极
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调制周期数对Mo/AZO成分调制多层膜透光、反光特性以及电性能的影响
8
作者 张邵奇 吴隽 +3 位作者 王凯丰 宋坤峰 卢志红 祝柏林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2024年第2期107-113,共7页
采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,M... 采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,Mo除单质态外,还存在部分+4和+5的离子价态,当薄膜厚度降至0.83 nm时,已无单质态Mo;调制周期数对成分调制多层膜的透光、反光特性以及电性能影响显著,当调制周期数为3时,Mo/AZO成分调制多层膜的综合性能达到最佳,电阻率、霍尔迁移率和载流子浓度分别为8.64×10^(-4)Ω·cm、8.78 cm^2)/(V·s)和8.23×10^(20)cm^(-3)。在保持金属层、半导体层总厚度不变的情况下,通过改变调制周期数可以增加薄膜的光学透过率并可在较宽范围内调节多层膜的综合性能,这为制备综合性能优异的金属/半导体型透光导电薄膜提供了一条切实可行的途径。 展开更多
关键词 磁控溅射 Mo/azo多层膜 调制周期 光性能 电性能
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退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
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作者 孙冰成 张健 +1 位作者 张贤旺 于尉 《微纳电子技术》 CAS 2024年第11期155-162,共8页
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电... 采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等表征手段,系统地研究了退火温度对ITO/Cu/AZO复合薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果显示,经过不同温度的真空退火处理,薄膜的晶体结构和导电性能得到显著改善和提高,薄膜可见光平均透过率随着退火温度的升高先增加后降低。对比发现,在气压5×10^(-3)Pa、温度150℃下退火制备的ITO/Cu/AZO结构薄膜表现出最佳的综合性能,薄膜具有较强的(222)和(440)晶面衍射峰,在400~800 nm光波范围平均透过率约为80.5%,电导率约为1.76×10^(3) S/cm,综合品质因数达到约2.12×10^(-3)/Ω。 展开更多
关键词 磁控溅射 真空热处理 氧化铟锡(ITO)薄膜 Al掺杂ZnO(azo)薄膜 交替溅射法
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柔性AZO/NiCr/Ag/NiCr/AZO透明导电玻璃结构对性能的影响
10
作者 姚婷婷 王天齐 +3 位作者 王伟 汪冰洁 李刚 甘治平 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期449-455,共7页
目的室温制备柔性透明导电玻璃并提高其光电性能。方法采用直流磁控溅射法,以柔性玻璃为基底,在室温下沉积(Aluminum-doped ZnO,AZO)/NiCr/Ag/NiCr/AZO多层结构透明导电玻璃。通过探针轮廓仪测试、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)... 目的室温制备柔性透明导电玻璃并提高其光电性能。方法采用直流磁控溅射法,以柔性玻璃为基底,在室温下沉积(Aluminum-doped ZnO,AZO)/NiCr/Ag/NiCr/AZO多层结构透明导电玻璃。通过探针轮廓仪测试、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)测试、拉曼光谱仪测试、分光光度计测量、四探针测试和霍尔效应测试,分别获得了样品的各层薄膜厚度、X射线衍射图谱、拉曼光谱、透光率、方块电阻和电学性能。经过参数优化,选取Ag膜厚度为3~15 nm的样品,研究Ag膜厚度对玻璃样品的结构特征及光电性能的影响。结果样品光电性能与Ag层厚度密切相关,随着中间Ag层厚度的增加,样品在380~760 nm波长范围内的平均光透光率先增加后降低,吸收边依次发生了红移,样品的方块电阻则随着Ag层厚度的增加单调减小。Ag膜厚度为12 nm的样品综合光电性能最佳,其平均透光率为82.4%,载流子浓度为8.32×10^(21) cm^(‒3),载流子迁移率为8.21 cm^(2)/(V·s),电阻率为9.15×10^(‒5)Ω·cm,方块电阻为8.8Ω/sq,品质因子可达16.4×10^(–3)Ω^(–1)。结论说明可以通过透明导电薄膜结合金属薄膜在室温下获得柔性透明导电玻璃,并具有较好的透光性能和导电性。 展开更多
关键词 柔性 透明导电玻璃 azo/NiCr/ag/NiCr/azo ag厚度 透光率 品质因子
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Progress and prospects of Mg-based amorphous alloys in azo dye wastewater treatment
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作者 Yanan Chen Fengchun Chen +5 位作者 Liang Li Chen Su Bo Song Hongju Zhang Shengfeng Guo Fusheng Pan 《Journal of Magnesium and Alloys》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期873-889,共17页
Mg-based amorphous alloys exhibit efficient catalytic performance and excellent biocompatibility with a promising application probability,specifically in the field of azo dye wastewater degradation.However,the problem... Mg-based amorphous alloys exhibit efficient catalytic performance and excellent biocompatibility with a promising application probability,specifically in the field of azo dye wastewater degradation.However,the problems like difficulty in preparation and poor cycling stability need to be solved.At present,Mg-based amorphous alloys applied in wastewater degradation are available in powder and ribbon.The amorphous alloy powder fabricated by ball milling has a high specific surface area,and its reactivity is thousands of times better than that of gas atomized alloy powder.But the development is limited due to the high energy consumption,difficult and costly process of powder recycling.The single roller melt-spinning method is a new manufacturing process of amorphous alloy ribbon.Compared to amorphous powder,the specific surface area of amorphous ribbon is relatively lower,therefore,it is necessary to carry out surface modification to enhance it.Dealloying is a way that can form a pore structure on the surface of the amorphous alloys,increasing the specific surface area and providing more reactive sites,which all contribute to the catalytic performance.Exploring the optimal conditions for Mg-based amorphous alloys in wastewater degradation by adjusting amorphous alloy composition,choosing suitable method to preparation and surface modification,reducing cost,expanding the pH range will advance the steps to put Mg-based amorphous alloys in industrial environments into practice. 展开更多
关键词 Mg-based amorphous alloys azo dyes DEALLOYING Surface modification Wastewater degradation.
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Bioremediation of Textile Azo Dyes Amido Black 10B, Reactive Black 5, Reactive Blue 160 by Lentinus squarrosulus AF5 and Assessment of Toxicity of the Degraded Metabolites
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作者 Anshu Mathur Chandrachur Ghosh +2 位作者 Partha Roy Ramasare Prasad Rajesh Pratap Singh 《Advances in Microbiology》 CAS 2024年第2期137-161,共25页
Bioremediation is an eco-compatible and economical approach to counter textile dye menace. The isolated Lentinus squarrosulus AF5 was assessed for decolourization of textile azo dyes, and had shown ~93%, 88% and 70% d... Bioremediation is an eco-compatible and economical approach to counter textile dye menace. The isolated Lentinus squarrosulus AF5 was assessed for decolourization of textile azo dyes, and had shown ~93%, 88% and 70% decolorization of Reactive blue 160 (RB160), Reactive black 5 (RB5) and Amido black 10B (AB10B) respectively. Further analysis using UV-vis, HPLC, and FTIR, <sup>1</sup>H NMR had shown the degradation of the dyes. Toxicity analysis of the metabolites was performed using seed germination and plant growth on two agriculturally important plants Guar (Cyamopsis tetragonoloba) and wheat (Triticum aestivum) as well as cytotoxicity analysis using the human keratinocyte cell line (HaCaT). The dye mix appeared inhibitory for seed germination (20% - 40%), whereas metabolites were non-inhibitory for germination. Treatment of HaCaT cells with of dye mix and metabolites led into 45% and ~100% of cell viability of HaCaT cells respectively. Therefore, metabolites following degradation of the dye mix were observed to be non-toxic. 展开更多
关键词 Lentinus squarrosulus AF5 azo Dyes FTIR 1H NMR CATABOLISM CYTOTOXICITY
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Structural and optoelectronic properties of AZO thin films prepared by RF magnetron sputtering at room temperature 被引量:3
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作者 孙宜华 王海林 +2 位作者 陈剑 方亮 王磊 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期1655-1662,共8页
Al-doped ZnO thin films were prepared on glass substrate using an ultra-high density target by RF magnetron sputtering at room temperature. The microstructure, surface morphology, optical and electrical properties of ... Al-doped ZnO thin films were prepared on glass substrate using an ultra-high density target by RF magnetron sputtering at room temperature. The microstructure, surface morphology, optical and electrical properties of AZO thin films were investigated by X-ray diffractometer, scanning electron microscope, UV-visible spectrophotometer, four-point probe method, and Hall-effect measurement system. The results showed that all the films obtained were polycrystalline with a hexagonal structure and average optical transmittance of AZO thin films was over 85 % at different sputtering powers. The sputtering power had a great effect on optoelectronic properties of the AZO thin films, especially on the resistivity. The lowest resistivity of 4.5×10^-4 Ω·cm combined with the transmittance of 87.1% was obtained at sputtering power of 200 W. The optical band gap varied between 3.48 and 3.68 eV. 展开更多
关键词 azo thin film microstructure optoelectronic properties RF magnetron sputtering
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基于AZO的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究
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作者 王成龙 周渊 +1 位作者 王锐东 马军 《真空与低温》 2023年第1期20-27,共8页
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜在红外波段具有高反射率的特性。设计了SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)光谱选择性反射膜。通过软件仿真和实验研究,探究了SiO_(2)、AZO、Al_(2)O_(3)薄膜的光学常数以及物理厚度对SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)... 铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜在红外波段具有高反射率的特性。设计了SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)光谱选择性反射膜。通过软件仿真和实验研究,探究了SiO_(2)、AZO、Al_(2)O_(3)薄膜的光学常数以及物理厚度对SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)薄膜光谱特性的影响,确定了光谱选择性反射薄膜的制备工艺参数。根据工艺制得了对可见光平均透射率接近90%、红外(2.5~20μm)平均反射率大于85%的光谱选择性反射膜,薄膜的辐射率为0.08~0.12。以表面镀有光谱选择性反射膜的玻璃作为线性菲涅尔式聚光系统中的二次聚光器窗口,设计了新型二次聚光器。光谱选择性反射玻璃有效阻挡了集热管的热辐射,使聚光器辐射热损失降低约66%。 展开更多
关键词 太阳能 光谱选择性反射膜 azo薄膜 辐射热损失 二次聚光器
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掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的研究进展 被引量:2
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作者 孔德茹 安佳钰 +1 位作者 刘靖 孙冬兰 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期9059-9069,共11页
新型掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜光学性能优异,成本低廉,有望取代技术成熟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜。主要简述了AZO薄膜的结构及其光电性能,重点综述了薄膜的制备工艺以及应用领域,对极具开发潜力的AZO薄膜的产业化前景进行了展望。
关键词 azo薄膜 特性 制备工艺 应用 产业化前景
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Ag夹层厚度对PMMA基底上AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响
16
作者 徐清源 张运生 +3 位作者 冯海兵 陈琛 黄鹏 祖成奎 《武汉理工大学学报》 CAS 2022年第10期11-16,共6页
室温下在预制有底涂的有机玻璃(PMMA)表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明:更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长,AZO(50nm)/Ag(13nm)/A... 室温下在预制有底涂的有机玻璃(PMMA)表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明:更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长,AZO(50nm)/Ag(13nm)/AZO(50nm)结构具有84.3%的高透射率和3.4Ω/□的低薄膜电阻,与PMMA基底上沉积的其他薄膜材料相比具有最佳的光电性能;基于AZO/Ag/AZO叠层膜的PMMA电加热器件在5V的低电压载荷下表现出良好的升温效果;低温下13nm Ag夹层厚度的PMMA电加热器件具有更稳定的温度可重复性以及更小的表面温差,在最低-40℃环境下升温范围可达43℃,满足低温下的除冰除霜需求。作为传统ITO薄膜的高性能替代方案,基于AZO/Ag/AZO薄膜的PMMA电加热器件在航空电加热窗口领域有良好的应用前景。 展开更多
关键词 azo/ag/azo PMMA ag膜厚度 光电性能 电加热
原文传递
柔性AZO/Cu/AZO/CTO薄膜的太阳阻隔及红外隐身性能的研究
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作者 程露路 孙可为 +3 位作者 尹洪峰 袁蝴蝶 杨春利 魏英 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期10149-10154,共6页
采用磁控溅射的方法在PET衬底上制备了AZO/Cu/AZO/CTO薄膜,系统研究了CTO(CeO_(2)-TiO_(2))层厚度对AZO/Cu/AZO/CTO薄膜的微观结构、光学性能、红外发射率和导电性的影响。结果表明,随着CTO层厚度的增加,多层膜的带隙变窄,紫外阻隔率和... 采用磁控溅射的方法在PET衬底上制备了AZO/Cu/AZO/CTO薄膜,系统研究了CTO(CeO_(2)-TiO_(2))层厚度对AZO/Cu/AZO/CTO薄膜的微观结构、光学性能、红外发射率和导电性的影响。结果表明,随着CTO层厚度的增加,多层膜的带隙变窄,紫外阻隔率和近红外阻隔率提高,可见光透过率降低。同时,CTO层有利于降低多层膜的表面电阻和红外发射率。当CTO层厚度为34.2 nm时,多层膜的紫外阻隔率为92.0%,近红外阻隔率为46.5%,可见光透过率为62.5%,8~14μm红外发射率为0.163,因此AZO/Cu/AZO/CTO薄膜具有光谱选择性和低的红外发射率,是一种有潜力的太阳阻隔膜和红外隐身材料。 展开更多
关键词 azo/Cu/azo 磁控溅射 太阳阻隔膜 红外隐身 红外发射率
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不同形貌的AZO/4-MPY/Ag三明治结构及4-MPY分子的SERS光谱研究 被引量:1
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作者 王亚楠 李倩文 +3 位作者 李亚丽 阮伟东 王旭 赵冰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S1期141-142,共2页
铝掺杂氧化锌(AZO)作为掺杂的半导体金属氧化物可以作为表面增强拉曼基底。由于不同的形貌可以对SERS信号产生不同的作用,于是我们采用酸法刻蚀将AZO纳米薄膜进行不同时间的刻蚀,得到了不同的岛状结构。将4-巯基吡啶(4-MPY)探针分子吸... 铝掺杂氧化锌(AZO)作为掺杂的半导体金属氧化物可以作为表面增强拉曼基底。由于不同的形貌可以对SERS信号产生不同的作用,于是我们采用酸法刻蚀将AZO纳米薄膜进行不同时间的刻蚀,得到了不同的岛状结构。将4-巯基吡啶(4-MPY)探针分子吸附在岛状的AZO纳米薄膜上,并与Ag纳米粒子形成三明治结构,可以观察到刻蚀之后该三明治结构的SERS信号明显增强。 展开更多
关键词 azo 刻蚀 SERS 电荷转移 三明治结构
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衬底温度对磁控溅射法制备的Ag/AZO绒面背反电极性能的影响 被引量:1
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作者 王春雷 王超 毛艳丽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期812-816,共5页
通过优化薄膜硅基太阳能电池的背反电极,使背反电极表面出现均匀的类金字塔结构,能够增大入射光在结区的有效光程,提高光子的捕获率,进而会提高薄膜硅基太阳能电池的光电转换效率.本文采用磁控溅射技术在载玻片上制得Ag/AZO(ZnO∶Al)导... 通过优化薄膜硅基太阳能电池的背反电极,使背反电极表面出现均匀的类金字塔结构,能够增大入射光在结区的有效光程,提高光子的捕获率,进而会提高薄膜硅基太阳能电池的光电转换效率.本文采用磁控溅射技术在载玻片上制得Ag/AZO(ZnO∶Al)导电薄膜.在控制其它溅射参量为最优化的情况下,研究了衬底温度对Ag/AZO导电薄膜光电性能及其表面形貌的影响.研究表明:随着衬底温度的增加,薄膜的雾度在可见光范围内先增大后减小;当衬底温度为500℃时,雾度取得最大值,在可见光范围内平均达到了95%以上;电阻率随着衬底温度的增加逐渐增大,且衬底温度超过500℃时电阻率急剧增大.在综合考虑其光电性能的情况下,实验得到当衬底温度为500℃时,所获得的叠层薄膜表面雾度值最好且电阻率很小,这将有助于改善太阳能电池的性能. 展开更多
关键词 ag azo导电薄膜 磁控溅射 光电特性 雾度
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柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究
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作者 周丽丹 胡洁 +3 位作者 朱刚毅 陈少飞 何依婷 江绍基 《光学与光电技术》 2016年第6期82-86,92,共6页
为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag... 为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜。先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响。通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40~45nm,Ag层厚度8nm时,在可见光波段的透过率高达到92%,电阻率低至4.0×10^(-5)Ω·cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10^(-2)Ω^(-1)。得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 三层结构azo薄膜 柔性衬底 直流磁控溅射 膜系优化
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