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1×11亚波长结构Dammann光栅的研制 被引量:9
1
作者 冷雁冰 董连和 孙艳军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期812-817,共6页
论文基于严格耦合波理论(Rigorous Coupled-Wave Analysis,RCWA),并采用遗传算法进行优化,设计并制作了一种具有高衍射效率的亚波长结构Dammann光栅。光栅的分束比为1×11,最小特征尺寸为0.95μm,衍射效率设计值达到95%,优于传统Dam... 论文基于严格耦合波理论(Rigorous Coupled-Wave Analysis,RCWA),并采用遗传算法进行优化,设计并制作了一种具有高衍射效率的亚波长结构Dammann光栅。光栅的分束比为1×11,最小特征尺寸为0.95μm,衍射效率设计值达到95%,优于传统Dammann光栅约15%,且均匀性设计值小于2%。论文采用电子束光刻直写技术和反应离子刻蚀技术在石英基底上制作出亚波长结构图形。实验结果表明,电子束扫描曝光可以获得纳米级的图形分辨率。对石英基底的反应离子刻蚀中,射频功率、工作气压及气体流量均对刻蚀速率和栅线的表面形貌产生不同程度的影响,论文主要针对该问题进行了讨论。同时,论文也对电子束光刻直写过程中产生的线宽误差因素进行了分析。 展开更多
关键词 dammann光栅 亚波长结构 衍射效率 均匀性
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高衍射效率亚波长结构Dammann光栅的设计 被引量:5
2
作者 颜树华 彭金璋 +1 位作者 徐琰 张军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期84-88,共5页
传统的Dammann光栅是基于标量衍射理论设计的二值相位等光强分束器件,其衍射效率的典型值为80%左右.基于严格耦合波分析理论和遗传算法,提出了一种设计亚波长结构Dammann光栅的新方法,且该新型二值相位光栅具有较高的衍射效率.同时利用... 传统的Dammann光栅是基于标量衍射理论设计的二值相位等光强分束器件,其衍射效率的典型值为80%左右.基于严格耦合波分析理论和遗传算法,提出了一种设计亚波长结构Dammann光栅的新方法,且该新型二值相位光栅具有较高的衍射效率.同时利用自编的仿真程序包设计了多个光栅,并分析了制作误差对其衍射效率和光强均匀性的影响.仿真结果表明,用该方法所设计的Dammann光栅的衍射效率超过92%. 展开更多
关键词 二元光学 亚波长结构dammann光栅 严格耦合波分析 遗传算法 高衍射效率
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大点阵数二维Dammann光栅的制作与研究 被引量:5
3
作者 罗风光 曹明翠 李洪谱 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期55-58,共4页
报道了我们制作的二维Dammann光栅──65×65大点阵光栅的实验方法和研究结果。在氮化硅膜上进行光栅图形的光刻和反应离子刻蚀,成功研制出65×65等光强分束Dammann光栅。
关键词 dammann光栅 光束点阵 氮化硅膜 光栅
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偶数束亚波长Dammann光栅结构的矢量衍射优化设计 被引量:3
4
作者 张军 颜树华 +3 位作者 周春雷 沈少伟 李锷 童慧鹏 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期12-14,共3页
传统的基于标量衍射理论方法设计的Dammann光栅衍射效率较低。基于严格耦合波理论和遗传算法,介绍了亚波长结构偶数分束数Dammann光栅的设计方法。利用优化程序设计了多个光栅结构并对设计结果进行了分析,讨论了关键参数的选取及设计参... 传统的基于标量衍射理论方法设计的Dammann光栅衍射效率较低。基于严格耦合波理论和遗传算法,介绍了亚波长结构偶数分束数Dammann光栅的设计方法。利用优化程序设计了多个光栅结构并对设计结果进行了分析,讨论了关键参数的选取及设计参数和光波偏振态的变化对分束效率和均匀性的影响。仿真结果表明所设计的偶数束Dammann光栅分束均匀性很好并且分束总效率均达到93%以上,而零级衍射效率均降到了0.64%以下,达到了较好的去零级衍射的效果。 展开更多
关键词 二元光学 dammann光栅 严格耦合波理论 遗传算法
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利用飞秒激光在玻璃内制作Dammann光栅
5
作者 张德祥 贾威 +1 位作者 彭志农 王清月 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期74-75,共2页
利用重复频率为1kHz、中心波长为775nm,脉宽为150fs的飞秒激光在玻璃内部制作了一个7×7点阵Dammann光栅,使用He-Ne激光进行了衍射实验,并对加工误差进行了分析。
关键词 飞秒激光 透明材料 dammann光栅
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65×65点阵Dammann光栅分束器 被引量:1
6
作者 罗风光 曹明翠 +5 位作者 李洪谱 李一男 黄林强 艾军 徐军 李再光 《高技术通讯》 CAS CSCD 1994年第6期1-4,共4页
采用模拟退火-回火-广义简约梯度法(SAT-GRG)对65×65,点阵的Dammann光栅进行了优化设计,对目标函数进行了修正,在玻璃基片上直接进行光刻和腐蚀,制作出国内最大点阵数的65×65Dammann光栅。
关键词 光栅 分束器 点阵 光互连网络
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用于激光加工中的矩形孔径Dammann光栅光束变换技术 被引量:6
7
作者 虞钢 聂树真 +1 位作者 郑彩云 何秀丽 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1841-1846,共6页
针对大功率激光加工对光束空间强度分布的实际要求,提出了一种用二元光学元件对光束进行变换的方法,即利用均匀采样的矩形孔径Dammann光栅对激光高斯光束进行光束变换,可满足任意点阵分布的输出要求。以线状、均匀、环状和非均匀分布的... 针对大功率激光加工对光束空间强度分布的实际要求,提出了一种用二元光学元件对光束进行变换的方法,即利用均匀采样的矩形孔径Dammann光栅对激光高斯光束进行光束变换,可满足任意点阵分布的输出要求。以线状、均匀、环状和非均匀分布的光强输出为例,介绍了矩形孔径Dammann光栅光束变换技术的设计原理及实现方法,结果表明输出光强分布具有较高的衍射效率和均匀性。将均匀和非均匀分布的输出光束应用在激光加工技术的表面强化上,结果表明试样表面的硬度和耐磨性等力学性能均有提高并且强化层具有较好的均匀性。 展开更多
关键词 二元光学 矩形孔径dammann光栅 激光加工 光束变换
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神经元网络后向传播算法的Dammann光栅设计 被引量:1
8
作者 廖江红 桑涛 +1 位作者 卢振武 翁志成 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期778-782,共5页
提出了一种基于神经元网络后向传播算法的二元光学设计新方法,该法的突出特点是可以获得较快的收敛速度和较好的均匀性。最后给出6个Dammann光栅的设计结果。
关键词 dammann 二元光学 光栅 后向传播 神经网络
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大视场角、等衍射角间隔的矢量超构表面分束器 被引量:1
9
作者 夏睿星 赵东 +1 位作者 李子勤 黄坤 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期136-144,共9页
激光雷达目前主要使用达曼光栅实现激光分束。然而,达曼光栅作为周期性衍射光学器件需要满足光栅方程,其各衍射角的正弦值成等差数列,无法实现均匀的角度分束,同时理论衍射效率受到限制。本文将角谱法和随机搜索算法结合,设计了一种非... 激光雷达目前主要使用达曼光栅实现激光分束。然而,达曼光栅作为周期性衍射光学器件需要满足光栅方程,其各衍射角的正弦值成等差数列,无法实现均匀的角度分束,同时理论衍射效率受到限制。本文将角谱法和随机搜索算法结合,设计了一种非周期性红外超构表面激光分束器。该分束器可实现70°的分束全角等角度间隔的41分束。其理论衍射效率达84%,高于二元相位器件的理论极限。在实验测试中,超构表面分束器具有较好的分束均匀性,可促进激光雷达的发展。 展开更多
关键词 超构表面 分束 达曼光栅 衍射光学元件
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Dammann光栅在光互连中的应用 被引量:2
10
作者 周静 龙品 徐大雄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第8期838-841,共4页
本文将Dammann光栅[1,2]应用于光互连,提出了用Dammann光栅实现完全混洗的方法.一个2×2的Dammann光栅与一个成像透镜的组合,具有与四焦点透镜类似的成像作用.像面上,像的位置与Dammann光... 本文将Dammann光栅[1,2]应用于光互连,提出了用Dammann光栅实现完全混洗的方法.一个2×2的Dammann光栅与一个成像透镜的组合,具有与四焦点透镜类似的成像作用.像面上,像的位置与Dammann光栅的位置有关,适当选择光栅的位置可以实现不同元素数目及不同元素密度的完全混洗.本文给出了有关的理论推导及实验结果. 展开更多
关键词 dammann光栅 光互连 完全混洗
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Quasi-Dammann grating with proportional intensity of array spots for surface hardening of metal 被引量:2
11
作者 LI ShaoXia TAN QiaoFeng +2 位作者 YU Gang WANG HengHai JIN GuoFan 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2011年第1期79-83,共5页
For surface hardening of metal,a quasi-Dammann grating (QDG) is proposed and fabricated to generate array spots with proportional-intensity distribution.To get uniformly hardened band distribution and improve the wear... For surface hardening of metal,a quasi-Dammann grating (QDG) is proposed and fabricated to generate array spots with proportional-intensity distribution.To get uniformly hardened band distribution and improve the wear resistance of the sample surface,a three-order QDG is designed to produce array spots with enhanced intensity in the edge.The design and fabrication of the QDG are described in detail.The surface profile of the fabricated grating was measured,which shows that the fabrication error is less than 2%.The laser beam intensity distribution shaped by the QDG was tested by a laser beam analyzer to verify the validity of the QDG.The application of the QDG in the laser surface hardening of metal was experimentally investigated,and the results show that the hardness distribution of the modified layer and the wear resistance of the sample surface are improved significantly by using the QDG. 展开更多
关键词 quasi dammann grating beam shaping laser surface hardening DIFFRACTION
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Parallel laser writing system with scanning Dammann lithography 被引量:3
12
作者 朱锋 麻健勇 +2 位作者 黄巍 王津 周常河 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第8期15-18,共4页
Scanning Dammann lithography (SDL) is proposed and implemented, which uses a Danunann grating to generate multiple beams with sharp step boundary for writing large-sized gratings efficiently. One of the most attract... Scanning Dammann lithography (SDL) is proposed and implemented, which uses a Danunann grating to generate multiple beams with sharp step boundary for writing large-sized gratings efficiently. One of the most attractive advantages is that this technique can accelerate tile writing speed, e.g. 1×32 Damnlann grating can be 32 times faster than the single laser scanning system. More importantly, the uniformity of the multi-beams-written lines is much better than the single la.ser beam scanning system in consideration of the environlnental effects such as air turbulence, thermal instability, etc. Using the SDL system, a three-port high-efficiency beam splitter at visible wavelengths is fabricated quickly, and the theoretical and experimental diffraction efficiencies are both higher than 90%. Therefore, SDL should be a useful tool for fabrication of large-sized gratings. 展开更多
关键词 SDL Parallel laser writing system with scanning dammann lithography
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LG11-mode vortex Nd:YAG laser by applying second-order circular Dammann grating for annular pumping 被引量:1
13
作者 Quan Zhang Junjie Yu +2 位作者 Biraii Shi Fanchun Tang Jianlang Li 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期34-38,共5页
The excitation of high-order Laguerre–Gaussian(LG) modes in a neodymium-doped yttrium aluminum garnet(Nd:YAG) laser resonator was presented by applying the diffraction of a second-order circular Dammann grating(... The excitation of high-order Laguerre–Gaussian(LG) modes in a neodymium-doped yttrium aluminum garnet(Nd:YAG) laser resonator was presented by applying the diffraction of a second-order circular Dammann grating(CDG) for annular pumping. In the study, the 808 nm pump light was shaped into a double-ring structure by the CDG and matched spatially with that of an ideal LG11 mode. As a result, the laser resonator generated an LG11 vortex mode, and the laser power reached 204 mW with 14.5% slope efficiency. Also, when the cavity mirror was tilted, the laser output could switch to the LG01 vortex mode. The results showed the convenience and versatility of CDG in an annular-pumped vortex laser. 展开更多
关键词 Laguerre-Gaussian(LG) CIRCULAR dammann grating(CDG) ANNULAR PUMPING
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基于光取向技术的液晶螺旋达曼波带片 被引量:1
14
作者 刘思嘉 张逸恒 +2 位作者 朱琳 陈鹏 陆延青 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期1-9,共9页
涡旋光阵列在光通信、多微粒操控、并行激光加工等领域有着广阔的应用前景,近年来受到越来越多的关注。然而动态可调的纵向涡旋光阵列的实现仍具有一定挑战性。本文基于达曼编码方法与液晶光取向技术,设计并制备出一种液晶螺旋达曼波带... 涡旋光阵列在光通信、多微粒操控、并行激光加工等领域有着广阔的应用前景,近年来受到越来越多的关注。然而动态可调的纵向涡旋光阵列的实现仍具有一定挑战性。本文基于达曼编码方法与液晶光取向技术,设计并制备出一种液晶螺旋达曼波带片。实验结果表明,该器件可以高效地产生拓扑荷数逐级变化的1×5纵向涡旋光阵列,并可以通过改变外加电压来动态切换器件的开关态。此外,该器件通过水平/竖直翻转一次或是改变入射光模式,还可以对产生的纵向涡旋光阵列的拓扑荷数进行反转变换或加减运算。液晶螺旋达曼波带片兼具低成本、高效率、电光可调等优势,有望促进液晶光电元件在多维光场调控等领域的应用。 展开更多
关键词 液晶 光取向技术 涡旋光阵列 达曼光栅
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基于模拟退火算法下多位相型达曼光栅分束器的设计
15
作者 史发 蔡荣立 《计算机测量与控制》 2023年第5期287-292,共6页
针对传统达曼光栅分束器衍射效率与光强度均匀性低等问题,提出了一种基于模拟退火算法下多位相型达曼光栅分束器的设计方法;基于标量衍射理论,对多位相型Dammann光栅分束器的相位结构设计进行研究;在原二值型突变点坐标的基础上,使用模... 针对传统达曼光栅分束器衍射效率与光强度均匀性低等问题,提出了一种基于模拟退火算法下多位相型达曼光栅分束器的设计方法;基于标量衍射理论,对多位相型Dammann光栅分束器的相位结构设计进行研究;在原二值型突变点坐标的基础上,使用模拟退火算法对光栅一个周期内的位相结构进行离散、调制,并合理的控制目标函数来对相位结构进行优化设计;其次,以9×9点阵Dammann光栅分束器的位相结构设计为例进行仿真分析,得到了衍射效率为85.3%、光强不均匀性为0.0952%、均方根误差为8.2×10-5的位相型分束光栅;最后,进行实验验证,得到衍射效率达到73.5%、光强不均匀性达到10.0%、均方根误差达到0.255;结果表明,该方法具有优越性和实用性,为实际应用中三维测量结构光的产生提供了理论基础。 展开更多
关键词 位相型达曼光栅分束器 模拟退火算法 结构光 优化设计 相位结构
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用于激光阵列发生器的非n×n型Danmmann光栅研制 被引量:1
16
作者 冷雁冰 吴博琦 +2 位作者 孙艳军 王丽 董连和 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1431-1436,共6页
为实现激光阵列发生器点阵列任意排布,研制了一种非n×n型达曼(Danmmann)光栅。本文以严格耦合波分析理论为基础,设计了一种衍射效率较高的4台阶非n×n型Dammann光栅,采用快速傅里叶变换算法进行了优化。运用Virtual Lab仿真软... 为实现激光阵列发生器点阵列任意排布,研制了一种非n×n型达曼(Danmmann)光栅。本文以严格耦合波分析理论为基础,设计了一种衍射效率较高的4台阶非n×n型Dammann光栅,采用快速傅里叶变换算法进行了优化。运用Virtual Lab仿真软件进行模拟,形成两行强度均匀的点光斑,排布方式为第一行为4个,第二行为3个,总衍射效率为93.30%,不均匀性小于5%。通过电子束光刻直写进行变剂量曝光制作抗蚀剂掩模,并采用反应离子刻蚀技术以石英为基底制作出了非n×n型Danmmann光栅。通过扫描电子显微镜测得了光栅面型,并分析了光栅表面粗糙度,根据反应离子刻蚀过程中射频功率、工作气压及气体流量3种工艺参数对表面粗糙度的影响程度,确定光栅了制备工艺的最优参数组合。结果表明:当射频功率为110 W,工作气压为1×10^(-3)Pa,气体流量为35 m L/min时,光栅的表面粗糙度值最佳,值为23.45 nm。 展开更多
关键词 非n×n型点阵 激光阵列发生器 dammann光栅 反应离子刻蚀技术
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自适应粒子群算法设计纯相位衍射光学元件
17
作者 时招军 高益庆 《南昌航空大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第2期25-29,34,共6页
通过将衍射光学元件的设计视为约束优化问题,以Dammann光栅为例,提出了一种采用自适应粒子群算法设计衍射光学元件的方法。该方法不仅保证了算法的全局收敛,而且提高了算法的收敛速度和解的质量;通过引入罚函数,较好地平衡了衍射效率和... 通过将衍射光学元件的设计视为约束优化问题,以Dammann光栅为例,提出了一种采用自适应粒子群算法设计衍射光学元件的方法。该方法不仅保证了算法的全局收敛,而且提高了算法的收敛速度和解的质量;通过引入罚函数,较好地平衡了衍射效率和光强均匀性之间的关系,在保证衍射效率的情况下,提高了各衍射级次光强分布的均匀性。设计了分束比为15的Dammann光栅。仿真结果显示,该方法可以在给定期望衍射效率的情况下获得较快的收敛速度,光强均匀性可以达到10-5数量级。 展开更多
关键词 约束优化 罚函数 粒子群算法 衍射光学元件 dammann光栅
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达曼光栅的计算机辅助设计
18
作者 陈劲松 《信息技术》 2005年第11期79-80,共2页
达曼(Dammann)光栅作为一种常用的分束器件,在光互连、光通信、光计算和多重成像等领域已广泛应用。在介绍Dammann光栅设计原理的同时,重点论述了Dammann光栅的计算机辅助设计过程。
关键词 二元光学 dammann光栅 计算机辅助设计
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编码掩模红外成像的建模与性能分析(英文) 被引量:1
19
作者 张傲 汪清 +1 位作者 杨敬钰 孙懿 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第10期2891-2899,共9页
针对编码掩模红外成像系统提出了一种建模方法。该模型将成像系统视为由两个功能部分组成,一部分为编码掩模与理想聚焦透镜的理想成像,另一部分为实际透镜自身的非理想成像。据此,系统点扩散函数可以由掩模结构的衍射模式和实际透镜的... 针对编码掩模红外成像系统提出了一种建模方法。该模型将成像系统视为由两个功能部分组成,一部分为编码掩模与理想聚焦透镜的理想成像,另一部分为实际透镜自身的非理想成像。据此,系统点扩散函数可以由掩模结构的衍射模式和实际透镜的点扩散函数联合表示。此外,文中对视场内倾斜入射平面波的成像结果进行分析,从而得到了视场内的点扩散函数的变动情况。由码型及相应点扩散函数的指标评价结果可以看出,文中提出的基于Dammann阵列的码型结构对直接成像和图像还原处理具有较为平衡的性能。实验表明,对于编码掩模直接成像系统的码型中应当具有较多的随机性结构,而对于能够做进一步图像还原处理的系统码型中应当具有较多的周期性结构。 展开更多
关键词 编码掩模 红外成像 建模 点扩散函数 dammann光栅
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4f结构间距失调对达曼类滤波器输出脉冲特性的影响 被引量:3
20
作者 邹华 朱卫华 王国栋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1121-1124,共4页
研究了4f结构的飞秒脉冲时空变换整形装置在各元件间距不等的情况下对脉冲输出特性的影响,理论分析了间距失调效应对等间距和不等间距达曼光栅滤波器的脉冲输出特性的影响。结果表明4f结构间距失调后无论是能量还是平均度都不如等间距高... 研究了4f结构的飞秒脉冲时空变换整形装置在各元件间距不等的情况下对脉冲输出特性的影响,理论分析了间距失调效应对等间距和不等间距达曼光栅滤波器的脉冲输出特性的影响。结果表明4f结构间距失调后无论是能量还是平均度都不如等间距高,中心脉冲能量变小,其它级次脉冲生出更多旁瓣;失调量越小,输出的脉冲质量越高,对于f为12 cm的装置,当失调量小于1 cm时,对输出脉冲影响较小。 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 4f飞秒脉冲整形 间距失调 时空变换 达曼类滤波器
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