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电感耦合等离子体源的研究进展 被引量:1
1
作者 杨定宇 蒋孟衡 《微细加工技术》 2007年第4期6-10,共5页
在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体——电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景。
关键词 电感耦合等离子体 E放电 h型放电 静电耦合效应 电子能量分布函数 电感线圈
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基于低气压无极放电灯的紫外通信光源研究
2
作者 陈峥 王平 王小宁 《中国照明电器》 2012年第6期5-8,12,共5页
紫外光散射通信系统需要高光效、易调制、长寿命的散射光源。设计并实现了一种基于感应耦合等离子体(ICP)的紫外无极放电灯结构,分析了其发光原理并测试了光谱特性,研究了紫外无极灯的重复启动性能,对无极灯作为紫外光通信系统光源的可... 紫外光散射通信系统需要高光效、易调制、长寿命的散射光源。设计并实现了一种基于感应耦合等离子体(ICP)的紫外无极放电灯结构,分析了其发光原理并测试了光谱特性,研究了紫外无极灯的重复启动性能,对无极灯作为紫外光通信系统光源的可行性进行探讨,总结出要使无极紫外通信光源实用化还需在驱动电路和耦合方式两个方面作进一步研究。 展开更多
关键词 紫外光通信 紫外无极灯 h型放电 E放电
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无极荧光灯的综合评述和应用前景展望 被引量:2
3
作者 龙奇 陈育明 +3 位作者 左春兰 陈大华 李维德 王爱群 《中国照明电器》 2006年第2期11-16,共6页
较系统地综合评述感应无极荧光灯的工作原理、具体结构、电子线路特点和放电机理,剖析感应无极荧光灯的启动特性和调光方法,展望无极荧光灯的应用前景。
关键词 无极荧光灯 E放电 h型放电 调光
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