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Photoresponse of the In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor photodetectors
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作者 周建军 文博 +7 位作者 江若琏 刘成祥 姬小利 谢自力 陈敦军 韩平 张荣 郑有炓 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第7期2120-2122,共3页
In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor (MIS) and metal-semiconductor (MS) surface barrier photodetectors have been fabricated. The In0.3Ga0.7N epilayers were grown on sapphire by metalorganic chemical vapour de... In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor (MIS) and metal-semiconductor (MS) surface barrier photodetectors have been fabricated. The In0.3Ga0.7N epilayers were grown on sapphire by metalorganic chemical vapour deposition (MOCVD). The photoresponse and reverse current-voltage characteristics of the In0.3Ga0.7N MIS and MS photodetectors were measured. A best zero bias responsivity of 0.18 A/W at 450 nm is obtained for the In0.3Ga0.7N MIS photodetector with 10 nm Si3N4 insulator layer, which is more than ten times higher than the In0.3Ga0.7N MS photodetector. The reason is attributed to the decrease of the interface states and increase of surface barrier height by the inserted insulator. The influence of the thickness of the Si3N4 insulator layer on the photoresponsivity of the MIS photodetector is also discussed. 展开更多
关键词 INGAN photodetector metal-insulator-semiconductor structure
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Photodetectors based on small-molecule organic semiconductor crystals 被引量:3
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作者 Jing Pan Wei Deng +3 位作者 Xiuzhen Xu Tianhao Jiang Xiujuan Zhang Jiansheng Jie 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期26-39,共14页
Small-molecule organic semiconductor crystals(SMOSCs) combine broadband light absorption(ultraviolet–visible–near infrared) with long exciton diffusion length and high charge carrier mobility. Therefore, they are pr... Small-molecule organic semiconductor crystals(SMOSCs) combine broadband light absorption(ultraviolet–visible–near infrared) with long exciton diffusion length and high charge carrier mobility. Therefore, they are promising candidates for realizing high-performance photodetectors. Here, after a brief resume of photodetector performance parameters and operation mechanisms, we review the recent advancements in application of SMOSCs as photodetectors, including photoconductors, phototransistors, and photodiodes. More importantly, the SMOSC-based photodetectors are further categorized according to their detection regions that cover a wide range from ultraviolet to near infrared. Finally, challenges and outlooks of SMOSC-based photodetectors are provided. 展开更多
关键词 small MOLECULE ORGANIC semiconductor CRYSTALS photodetectorS
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Ultraviolet photodetectors based on wide bandgap oxide semiconductor films 被引量:3
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作者 Changqi Zhou Qiu Ai +3 位作者 Xing Chen Xiaohong Gao Kewei Liu Dezhen Shen 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第4期7-17,共11页
Ultraviolet(UV) photodetectors have attracted more and more attention due to their great potential applications in missile tracking, flame detecting, pollution monitoring, ozone layer monitoring, and so on. Owing to t... Ultraviolet(UV) photodetectors have attracted more and more attention due to their great potential applications in missile tracking, flame detecting, pollution monitoring, ozone layer monitoring, and so on. Owing to the special characteristics of large bandgap, solution processable, low cost, environmentally friendly, etc., wide bandgap oxide semiconductor materials, such as ZnO, ZnMgO, Ga_2O_3, TiO_2, and Ni O, have gradually become a series of star materials in the field of semiconductor UV detection. In this paper, a review is presented on the development of UV photodetectors based on wide bandgap oxide semiconductor films. 展开更多
关键词 photodetector ULTRAVIOLET OXIDE semiconductor FILM
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InGaN metal-insulator-semiconductor photodetector using Al_2O_3 as the insulator 被引量:4
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作者 ZHANG KaiXiao MA AiBin +5 位作者 JIANG JingHua XU Yan TAI Fei GONG JiangFeng ZOU Hua ZHU WeiHua 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2013年第7期633-636,共4页
In this paper,an InGaN metal-insulator-semiconductor(MIS) photodetector with an ultra-thin Al2O3 insulation layer deposited by atomic layer deposition(ALD) was studied.A high photoelectric responsivity of 0.25 A/W and... In this paper,an InGaN metal-insulator-semiconductor(MIS) photodetector with an ultra-thin Al2O3 insulation layer deposited by atomic layer deposition(ALD) was studied.A high photoelectric responsivity of 0.25 A/W and a spectral responsivity rejection ratio of about three orders of magnitude at 1 V reverse bias were achieved for this MIS photodetector.The dominant carrier transport mechanism in the InGaN MIS photodetectors is submitted to the space charge limited current(SCLC) mechanism at high field and exhibits an Ohmic-like conduction at low electric field.The results indicate that the ultra-thin Al2O3 film deposited by the ALD technique can act as an excellent insulation dielectric for the InGaN photodetectors. 展开更多
关键词 半导体光电探测器 INGAN 绝缘体 AL 金属 空间电荷限制电流 原子层沉积 光电检测器
原文传递
MODELING OF METAL-SEMICONDUCTOR-METAL PHOTODETECTOR
5
作者 陈维友 刘式墉 《Journal of Electronics(China)》 1994年第4期377-382,共6页
A complete model of Metal-Semiconductor-Metal Photodetector(MSM-PD) is presented. It can be used in any circuit simulators. Simulated DC characteristics for a GaAs MSM-PD are in good agreement with reported results.
关键词 Metal-semiconductor-metal photodetector MODELING COMPUTER-AIDED ANALYSIS
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PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀)
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作者 丁悦 皇甫倩倩 +6 位作者 左清源 梁金龙 弭伟 王迪 张兴成 刘振 何林安 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期49-57,共9页
针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验... 针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器。柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化。实验使用磁控溅射镀膜工艺首先在PEN衬底上生长氧化镓薄膜,并在氧化镓薄膜上生长氧化铟锡电极,在室温下成功制备柔性氧化镓紫外光电探测器,器件响应波长处于小于280 nm的深紫外区。将器件弯折20000次后其暗电流无显著变化,光电流增大,保持了良好的紫外光探测性能,探测器上升时间和衰减时间分别为0.24 s/0.74 s和0.10 s/0.71 s,其电流-时间特性曲线呈现周期性稳定,表明即使经过多次弯折,柔性氧化镓紫外探测器仍然具有良好的光电探测性能。 展开更多
关键词 半导体光电探测器 柔性紫外探测器 射频磁控溅射 氧化镓 聚萘二甲酸乙二醇酯 氧化铟锡
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基于磁控溅射法生长hBN薄膜的MSM型真空紫外探测器(特邀)
7
作者 房万年 李强 +4 位作者 张启凡 陈冉升 李家兴 刘康康 云峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期21-30,共10页
针对目前大面积高质量六方氮化硼(hBN)薄膜的制备与转移存在均匀性、晶粒控制、无损转移等问题,采用射频磁控溅射技术成功在2英寸硅和蓝宝石介电衬底上沉积了hBN薄膜,拉曼光谱、X射线光电子能谱表征证实了薄膜具有明显的hBN特征。制备了... 针对目前大面积高质量六方氮化硼(hBN)薄膜的制备与转移存在均匀性、晶粒控制、无损转移等问题,采用射频磁控溅射技术成功在2英寸硅和蓝宝石介电衬底上沉积了hBN薄膜,拉曼光谱、X射线光电子能谱表征证实了薄膜具有明显的hBN特征。制备了hBN基金属-半导体-金属型光电探测器,并探究了电极材料、薄膜厚度以及叉指电极宽度和间距对探测性能的影响。优选出的Ni电极探测器具有极低的暗电流(<3 pA@100 V),对185 nm波长光具有明显光响应,响应度和比探测率分别为2.769 mA/W和2.969×10^(9)Jones。 展开更多
关键词 真空紫外探测 六方氮化硼 磁控溅射技术 金属-半导体-金属型光电探测器
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掺银硫系玻璃光电探测器响应波长特性研究
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作者 吕松竹 赵建行 +3 位作者 周姚 曹英浩 宋瑛林 周见红 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期343-350,共8页
由于硫系玻璃具有良好的光学性质,在非线性光学等方面研究广泛,但基于硫系玻璃光电探测器的相关研究却很少。本文利用真空共热蒸发技术制备了不同掺银比例的硫系玻璃薄膜作为半导体膜层结构,并设计构建了金属-绝缘体-半导体结构的自供... 由于硫系玻璃具有良好的光学性质,在非线性光学等方面研究广泛,但基于硫系玻璃光电探测器的相关研究却很少。本文利用真空共热蒸发技术制备了不同掺银比例的硫系玻璃薄膜作为半导体膜层结构,并设计构建了金属-绝缘体-半导体结构的自供电光电探测器,探究了该光电探测器的响应光谱范围。结果表明,该探测器对可见光到近红外区域的光均有响应。针对掺银硫系玻璃光电探测器在635 nm波长激光下,研究了探测器响应电压与激发功率之间的关系。当激光功率小于10 mW时,探测器响应电压与激发功率线性相关;当激光功率大于10 mW时,探测器响应电压逐渐饱和。探测器的上升和衰减时间分别为3.932 s和1.522 s。本研究为硫系玻璃材料在自供电光电探测器领域的应用提供了证明。 展开更多
关键词 硫系玻璃 光电探测器 金属-绝缘体-半导体
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基于模板剥离法制备高性能钙钛矿单晶薄膜光电探测器
9
作者 单东明 张瀚文 +2 位作者 张庆文 张虎 丁然 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期195-203,共9页
近年来,杂化钙钛矿半导体材料由于其带隙可调、吸收系数高、载流子迁移率高、成本低廉等诸多优点,在光电器件领域备受青睐,如太阳能电池、电致发光器件、光电探测器等。其中,钙钛矿单晶薄膜因其无晶界、杂质和缺陷含量低等特点,展现出... 近年来,杂化钙钛矿半导体材料由于其带隙可调、吸收系数高、载流子迁移率高、成本低廉等诸多优点,在光电器件领域备受青睐,如太阳能电池、电致发光器件、光电探测器等。其中,钙钛矿单晶薄膜因其无晶界、杂质和缺陷含量低等特点,展现出更为优异的光学、电学特性,成为制备高性能光电器件的理想材料体系。然而,钙钛矿单晶薄膜常采用空间限域法直接生长在空穴传输层上,不可避免地将导致界面缺陷和载流子层间输运等问题,严重制约了钙钛矿单晶薄膜光电探测器的性能。为此,本文通过引入模板剥离法工艺技术,在钙钛矿单晶薄膜两侧分别蒸镀功能层材料,制备了结构为Cu/BCP/C_(60)/MAPbBr_(3)/MoO_(3)/Ag的钙钛矿单晶薄膜光电探测器。基于模板剥离法,两侧蒸镀的功能层与钙钛矿单晶薄膜接触紧密,将有效改善载流子的注入和传输;同时,优化的器件结构以及考虑能带匹配等因素可实现高灵敏、响应快速的钙钛矿单晶薄膜光电探测器。改进后器件的开关比高达3.1×10^(3),响应度可达7.15 A/W,探测率为5.39×10^(12)Jones,外量子效率达到1794%。该工作为进一步改善和提升钙钛矿单晶薄膜光电探测器的探测性能提供了一种可行性技术方案。 展开更多
关键词 杂化钙钛矿半导体材料 钙钛矿单晶薄膜 模板剥离法 光电探测器
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窄禁带半导体紫外光电探测研究进展(特邀)
10
作者 吴春艳 张宇梁 +2 位作者 贺新辉 杨小平 王秀娟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期31-41,共11页
紫外光电探测器具有比可见和近红外光电探测器更低的背景噪声、更高的灵敏度和更强的抗干扰能力,广泛应用于光学成像、安全监测、空间探测等领域。近年来,窄禁带半导体微纳结构在紫外甚至日盲紫外探测领域脱颖而出。本文介绍了两类半导... 紫外光电探测器具有比可见和近红外光电探测器更低的背景噪声、更高的灵敏度和更强的抗干扰能力,广泛应用于光学成像、安全监测、空间探测等领域。近年来,窄禁带半导体微纳结构在紫外甚至日盲紫外探测领域脱颖而出。本文介绍了两类半导体微纳结构(超细纳米线、超薄纳米片)中光吸收特性随材料特征尺寸的变化,揭示了窄禁带半导体应用于紫外探测的工作机理,综述了基于窄禁带半导体微纳结构的紫外光电探测器的研究进展,并对发展趋势进行了展望。与宽禁带半导体和Si基紫外光电探测相比,窄禁带半导体微纳结构提供了一种工艺条件更简单、制造成本更低的紫外光电探测方式。 展开更多
关键词 光电探测器 紫外 窄禁带半导体 泄漏模式共振 厚度依赖的吸收系数
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基于Ⅱ类超晶格的中波红外带间级联探测器(特邀)
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作者 薛婷 黄建亮 +2 位作者 鄢绍龙 张艳华 马文全 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期62-69,共8页
为了提高红外探测器的工作温度,基于InAs/GaSb II类超晶格材料设计了一种五级带间级联结构中波红外光电探测器,并采用分子束外延技术和标准化光刻及刻蚀技术进行了器件的制备。在77 K时,该器件的50%截止波长是4.02μm,在0 V时峰值探测率... 为了提高红外探测器的工作温度,基于InAs/GaSb II类超晶格材料设计了一种五级带间级联结构中波红外光电探测器,并采用分子束外延技术和标准化光刻及刻蚀技术进行了器件的制备。在77 K时,该器件的50%截止波长是4.02μm,在0 V时峰值探测率为1.26×10^(12) cm·Hz^(1/2)/W;在300 K零偏压下,该器件的50%截止波长是4.88μm,峰值探测率为1.28×10^(9) cm·Hz^(1/2)/W,实现了高温探测。从180 K到300 K,器件的暗电流主要由扩散电流主导。在77 K到220 K温度范围的暗电流曲线中观察到了负微分电阻现象,并解释了峰谷电流比相对于温度变化的趋势。研究结果表明,具有带间级联结构的T2SL探测器可以进行室温工作,在中波范围内有比较明显的优势。 展开更多
关键词 半导体探测器 中波 分子束外延 带间级联探测器 INAS/GASB超晶格
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低维半导体/钙钛矿异质结构光电探测器的研究进展 被引量:1
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作者 王中正 田乾磊 廖蕾 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第3期281-293,302,共14页
光电探测器能将光辐照转换为电信号,是光电系统中接收端的核心部件,在国民经济、警用装备以及诸多军事领域都有着重要的应用。基于传统材料的光电探测器面临性能不够优越、单个探测器检测范围窄等问题。近年来,低维半导体和钙钛矿材料... 光电探测器能将光辐照转换为电信号,是光电系统中接收端的核心部件,在国民经济、警用装备以及诸多军事领域都有着重要的应用。基于传统材料的光电探测器面临性能不够优越、单个探测器检测范围窄等问题。近年来,低维半导体和钙钛矿材料在光电探测器领域引起研究人员的广泛关注。相较单一材料,基于低维半导体/钙钛矿异质结构的光电探测器在光响应度、外量子效率、探测率以及响应时间上都有着更为优越的性能,逐渐成为研究热点。简述了光电探测器的基本性质以及钙钛矿材料常见的制备方法,进一步介绍了国内外关于低维半导体/钙钛矿异质结构光电探测器的主要研究进展,探讨了目前优化性能的主要措施,最后对发展前景进行了展望,并提出了相关建议。 展开更多
关键词 光电探测器 低维半导体 综述 钙钛矿 异质结
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宽带可见光到电信波长的锗量子点光探测器
13
作者 王皓北 《电光系统》 2023年第2期51-54,共4页
锗量子点(QD)光探测器(PD)是在锗衬底上制造的,在400~1550nm范围内表现出宽带、可见光到近红外光反应。获得了高达1.12A/W的室温光谱响应度(Rsp)和313%的内部量子效率(IQE),优于传统的硅和锗光二极管。降低工作温度和入射功率导致性能... 锗量子点(QD)光探测器(PD)是在锗衬底上制造的,在400~1550nm范围内表现出宽带、可见光到近红外光反应。获得了高达1.12A/W的室温光谱响应度(Rsp)和313%的内部量子效率(IQE),优于传统的硅和锗光二极管。降低工作温度和入射功率导致性能急剧增强,在T=100K,波长为1550nm,入射功率为10nW时,IQE=1000%。基于其简单的制造和硅技术的兼容性,这些锗QDPD代表了宽带、高性能可见光到近红外检测的一个有前途的选择. 展开更多
关键词 量子点 半导体 光探测器 光二极管 量子效率
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光功率检测电路研究进展
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作者 梁明 姜海明 +5 位作者 刘偲嘉 甘育娇 谢康 袁伟超 李明朗 林毅华 《光通信技术》 2023年第4期48-52,共5页
光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的... 光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的发展前景。 展开更多
关键词 光功率 光电探测器 跨阻放大器 检测电路 集成互补的金属氧化物半导体电路
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中红外半导体光源和探测器件及其应用 被引量:4
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作者 张永刚 顾溢 +5 位作者 李耀耀 李爱珍 王凯 李成 李好斯白音 张晓钧 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第10期1846-1850,共5页
中红外波段(2~25μm)的光电子器件在气体检测、红外遥感和红外对抗等领域都有重要应用。介绍了笔者近年来在中红外波段的半导体光源和光电探测器方面的工作进展,包括InP基量子级联激光器、2μm波段锑化物量子阱激光器和波长扩展InGaAs... 中红外波段(2~25μm)的光电子器件在气体检测、红外遥感和红外对抗等领域都有重要应用。介绍了笔者近年来在中红外波段的半导体光源和光电探测器方面的工作进展,包括InP基量子级联激光器、2μm波段锑化物量子阱激光器和波长扩展InGaAs光伏型探测器的研制以及器件应用方面的工作。这些光电子器件所用高性能材料都是笔者采用分子束外延方法生长的,中红外分布反馈量子级联激光器可在高于室温下脉冲工作,2μm波段锑化物量子阱激光器可在80℃下连续波工作,室温工作InGaAs探测器的截止波长扩展已至2.9μm。这些器件已在气体检测等方面获得应用。 展开更多
关键词 中红外 半导体激光器 光电探测器 化合物半导体 分子束外延
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低暗电流InGaAs-MSM光电探测器 被引量:3
16
作者 闫欣 汪韬 +4 位作者 尹飞 倪海桥 牛智川 辛丽伟 田进寿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期83-87,共5页
MSM(金属-半导体-金属)型光电探测器的较低寄生电容和高带宽的特点使得其应用广泛,可用于空间通信、遥感等多方面,但暗电流偏大仍是制约其发展的重要因素.为此,本文研制了100×100μm2面积的InGaAs-MSM光电探测器,通过设计InAlGaAs/... MSM(金属-半导体-金属)型光电探测器的较低寄生电容和高带宽的特点使得其应用广泛,可用于空间通信、遥感等多方面,但暗电流偏大仍是制约其发展的重要因素.为此,本文研制了100×100μm2面积的InGaAs-MSM光电探测器,通过设计InAlGaAs/InGaAs短周期超晶格和InAlAs肖特基势垒增强结构,将器件暗电流密度降至0.6pA/μm2(5V偏置),改善了目前同类器件的信噪比.对器件光电参数进行了表征:3dB带宽6.8GHz,上升沿58.8ps,1550nm波段响应度0.55A/W,光吸收区域外量子效率88%.分析了短周期超晶格和肖特基势垒增强层对暗电流的抑制机理. 展开更多
关键词 半导体器件 光电探测器 MOCVD 暗电流 MSM INGAAS 超晶格 肖特基势垒
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5Gb/s单片集成GaAs MSM/PHEMT 850nm光接收机前端 被引量:2
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作者 焦世龙 陈堂胜 +5 位作者 钱峰 冯欧 蒋幼泉 李拂晓 邵凯 叶玉堂 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期587-591,共5页
采用0.5μm GaAs PHEMT工艺研制出了一种单片集成850nm光接收机前端,它包括金属-半导体-金属(MSM)光探测器和分布放大器.探测器光敏面积为50μm×50μm,电容为0.17pF,4V偏压下的暗电流小于17nA.分布放大器-3dB带宽接近20GHz,跨阻增... 采用0.5μm GaAs PHEMT工艺研制出了一种单片集成850nm光接收机前端,它包括金属-半导体-金属(MSM)光探测器和分布放大器.探测器光敏面积为50μm×50μm,电容为0.17pF,4V偏压下的暗电流小于17nA.分布放大器-3dB带宽接近20GHz,跨阻增益约46dBΩ;在50MHz^16GHz范围内,输入、输出电压驻波比均小于2;噪声系数在3.03~6.5dB之间.光接收机前端在输入2.5和5Gb/s非归零伪随机二进制序列调制的光信号下,得到较为清晰的输出眼图. 展开更多
关键词 金属-半导体-金属光探测器 分布放大器 光接收机 眼图
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InGaAs PIN光电探测器的暗电流特性研究 被引量:22
18
作者 郝国强 张永刚 +1 位作者 刘天东 李爱珍 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期341-344,379,共5页
 从理论上分析了In0.53Ga0.47AsPIN光电探测器在不同掺杂浓度及反向偏压下的暗电流特性,并与研制的器件的实测结果进行了比较和讨论。模拟结果表明:在低偏压下,器件中的产生复合电流起主要作用,偏压增大时,隧道电流起主要作用,且In0.53...  从理论上分析了In0.53Ga0.47AsPIN光电探测器在不同掺杂浓度及反向偏压下的暗电流特性,并与研制的器件的实测结果进行了比较和讨论。模拟结果表明:在低偏压下,器件中的产生复合电流起主要作用,偏压增大时,隧道电流起主要作用,且In0.53Ga0.47As光吸收层的载流子浓度对器件的暗电流有很大的影响,实测器件特性与模拟结果完全符合。文中还对器件结面积和电极尺寸等对暗电流的影响进行了比较和分析。 展开更多
关键词 光电探测器 暗电流 INGAAS 化合物半导体
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2~3微米波段InP基无锑激光器和光电探测器 被引量:1
19
作者 张永刚 顾溢 +7 位作者 陈星佑 马英杰 曹远迎 周立 奚苏萍 杜奔 李爱珍 李好斯白音 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期275-280,共6页
介绍了我们基于InP衬底采用无锑材料体系开展的2~3μm波段激光器及光电探测器方面的持续探索,包括采用赝配三角形量子阱方案的2~2.5μm波段I型InGaAs多量子阱激光器、采用虚拟衬底异变方案的2.5~3μm波段I型InAs多量子阱激光器、... 介绍了我们基于InP衬底采用无锑材料体系开展的2~3μm波段激光器及光电探测器方面的持续探索,包括采用赝配三角形量子阱方案的2~2.5μm波段I型InGaAs多量子阱激光器、采用虚拟衬底异变方案的2.5~3μm波段I型InAs多量子阱激光器、以及截止波长大于1.7μm的高In组分InGaAs光电探测器等,这些器件结构均采用GSMBE方法生长,其中2.5μm以下波长的激光器已实现了高于室温的CW激射并获实际应用,2.9μm波长的激光器也在热电制冷温度下实现了脉冲激射,含超晶格电子阻挡势垒层的截止波长2.6μm InGaAs光电探测器暗电流显著减小,此类光电探测器材料已用于航天遥感焦平面组件的研制. 展开更多
关键词 半导体激光器 光电探测器 磷化铟基 无锑 气态源分子束外延
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MSM光探测器的直流特性 被引量:2
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作者 武术 林世鸣 刘文楷 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1462-1467,共6页
在稳态条件下金属 -半导体 -金属 (MSM)光探测器的光电流一维模型可以通过求解电流连续方程和传输方程来建立并求解 .在这种条件下 ,器件内部的载流子分布情况和总体光电流可以得到解析解而不用数值方法求解 .本文从电流连续方程和传输... 在稳态条件下金属 -半导体 -金属 (MSM)光探测器的光电流一维模型可以通过求解电流连续方程和传输方程来建立并求解 .在这种条件下 ,器件内部的载流子分布情况和总体光电流可以得到解析解而不用数值方法求解 .本文从电流连续方程和传输方程出发详细推导了这一过程 ,并将这一结果应用于具体的 In Ga As MSM光探测器的直流等效电路模型上 。 展开更多
关键词 MSM光探测器 直流 等效电路
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