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Si、Mg添加量对Al-Mg-Si合金的显微组织和Mg_(2)Si相形貌的影响 被引量:7
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作者 唐玲 夏鹏举 李文虎 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2022年第2期24-30,共7页
采用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)等手段研究分析了Al-8.8Mg-9.2Si、Al-12.6Mg-7.4Si、Al-15.4Mg-9.8Si三种不同Mg_(2)Si含量的合金在金属型下的铸态凝固组织演化。结果表明,合金的凝固路径为L→L_(1)+Mg_(2)Si→L_(2)+Mg_(2)Si... 采用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)等手段研究分析了Al-8.8Mg-9.2Si、Al-12.6Mg-7.4Si、Al-15.4Mg-9.8Si三种不同Mg_(2)Si含量的合金在金属型下的铸态凝固组织演化。结果表明,合金的凝固路径为L→L_(1)+Mg_(2)Si→L_(2)+Mg_(2)Si+(Al+Mg_(2)Si)_(二元共晶)→Mg_(2)Si+(Al+Mg_(2)Si)_(二元共晶)+(Al+Mg_(2)Si+Si)_(三元共晶),室温下的凝固组织为一定量的初生Mg_(2)Si相、二元共晶和三元共晶集群构成。随着Si含量和Mg含量的增加,初生Mg_(2)Si相的数量增加,其生长形态由八面体多边形向二次枝晶壁较为发达的树枝晶状转变,共晶Mg_(2)Si相的形态并没有明显的转变。通过对比Al-12.6Mg-7.4Si、Al-15.4Mg-9.8Si合金的凝固组织形貌,发现共晶晶胞的纵横比率累积值随着计算Mg_(2)Si含量的增加而下降。 展开更多
关键词 AL-MG-si合金 计算Mg_(2)si含量 初生相 纵横比率
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Al_(3)Ti/Al-Si-Cu-V-Zr合金复合材料显微组织及拉伸性能 被引量:2
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作者 曾广凯 崔君阁 +4 位作者 王雨辰 陈凯伦 潘森鑫 潘利文 胡治流 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期148-152,共5页
本工作在Al-Si-Cu-V-Zr合金熔体中加入K_(2)TiF_(6)盐,通过熔体原位反应法引入不同含量的Al_(3)Ti强化相,研究了铸态x Al_(3)Ti/Al-Si-Cu-V-Zr合金复合材料的显微组织和力学性能。结果表明,该复合材料由α-Al、共晶Si、Al_(2)Cu、(Al,Si... 本工作在Al-Si-Cu-V-Zr合金熔体中加入K_(2)TiF_(6)盐,通过熔体原位反应法引入不同含量的Al_(3)Ti强化相,研究了铸态x Al_(3)Ti/Al-Si-Cu-V-Zr合金复合材料的显微组织和力学性能。结果表明,该复合材料由α-Al、共晶Si、Al_(2)Cu、(Al,Si)_(3)M((Al,Si)_(3)(Zr,V)、(Al,Si)_(3)(Ti,Zr,V))相组成,随着K_(2)TiF_(6)盐添加量的增加,(Al,Si)_(3)M相由长片状变为等轴颗粒状,α-Al枝晶变得更均匀细小,长条状共晶硅转变成细小的短纤维状,共晶硅长径比和(Al,Si)_(3)M相平均粒径减小。引入Al_(3)Ti强化相后铝基复合材料的拉伸性能均得到了提高,含6%(质量分数,下同)Al_(3)Ti的复合材料的室温拉伸性能最佳,抗拉强度和屈服强度分别达到239.3 MPa和85.3 MPa,比未引入Al_(3)Ti基体的合金分别提高了28.6%和28.8%。分析表明,残余液相中的Al_(3)Ti相通过细化共晶组织中的α-Al相而间接地细化了共晶硅,这是共晶相细化的原因;细化的共晶硅短纤维增强和细小(Al,Si)_(3)M的颗粒增强是复合材料力学性能提高的主要原因,而粗大的(Al,Si)_(3)M脆性相不利于复合材料力学性能的提高。 展开更多
关键词 AL-si-CU合金 平均粒径 长径比 显微组织 拉伸性能
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微波辐射法合成SAPO-5分子筛中硅铝比对产物结晶度和甲苯吸附性能的影响 被引量:11
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作者 郝志显 赵海涛 +3 位作者 王利军 解丽丽 田震 李庆华 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第5期829-834,共6页
采用硅溶胶作硅源,用微波辐射法在酸性条件下(pH=4.5-5.0)合成了SAPO-5分子筛,利用X射线衍射(XRD),傅立叶变换红外光谱(FT-IR),扫描电镜(SEM)和Brunauer-Emmett-Teller(BET)比表面积分析对样品的结晶度、形貌和比表面等进行表征,考察了... 采用硅溶胶作硅源,用微波辐射法在酸性条件下(pH=4.5-5.0)合成了SAPO-5分子筛,利用X射线衍射(XRD),傅立叶变换红外光谱(FT-IR),扫描电镜(SEM)和Brunauer-Emmett-Teller(BET)比表面积分析对样品的结晶度、形貌和比表面等进行表征,考察了晶化原料硅铝比对分子筛结晶度和晶体颗粒长径比(c/a)的影响,测定了分子筛对甲苯的吸附性能.结果显示,采用微波辐射法合成的SAPO-5分子筛,在硅铝摩尔比为0.50附近生成产物的结晶度最好,晶体颗粒的长径比最小(约为1.0).尽管不同硅铝比条件下得到的样品比表面测定结果变化不大,但对甲苯的吸附实验显示,在硅铝比为0.50时样品的吸附速率和饱和吸附量均达到了最大值.这与表征所得的结晶度和长径比的变化一致,即结晶度好,长径比小的SAPO-5分子筛具有更好的甲苯吸附性能. 展开更多
关键词 SAPO-5分子筛 微波辐射法 硅铝比 结晶度 长径比 甲苯吸附
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硅微通道阵列光电化学腐蚀中通道尺寸控制技术 被引量:5
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作者 王国政 熊峥 +4 位作者 王蓟 秦旭磊 付申成 王洋 端木庆铎 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2010年第3期59-62,共4页
高长径比硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔。本文开展了硅微通道阵列光电化学方法腐蚀实验,重点研究了孔径控制技术。给出了型硅在氢氟酸溶液中的电流-电压扫描曲线,讨论了临界电流密度JPS的意义,提出... 高长径比硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔。本文开展了硅微通道阵列光电化学方法腐蚀实验,重点研究了孔径控制技术。给出了型硅在氢氟酸溶液中的电流-电压扫描曲线,讨论了临界电流密度JPS的意义,提出了一种间接地测量JPS与腐蚀时间关系的方法,研究了暗电流密度与腐蚀时间关系及对腐蚀的影响。根据暗电流及JPS的变化规律调整腐蚀电流,实现了对孔径的控制,制备出通道深度为300m,长径比为100的硅微通道阵列结构。 展开更多
关键词 高长径比 硅微通道阵列 光电化学腐蚀 诱导坑 暗电流密度
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零航速减摇鳍鳍型参数估算方法 被引量:4
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作者 金鸿章 王帆 马玲 《中国造船》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期1-7,共7页
零航速减摇鳍具有双重工作模式,不同生力机理使其流体动力特性存在本质差异,从而导致二者对鳍型参数要求截然不同,为满足零航速模式需求,零航速减摇鳍大多选用小展弦比鳍型,但亦给常规减摇模式带来诸多不利影响。通过分析展弦比、翼梢... 零航速减摇鳍具有双重工作模式,不同生力机理使其流体动力特性存在本质差异,从而导致二者对鳍型参数要求截然不同,为满足零航速模式需求,零航速减摇鳍大多选用小展弦比鳍型,但亦给常规减摇模式带来诸多不利影响。通过分析展弦比、翼梢形状等因素,从双模式对鳍型参数的实际要求出发,应用线性系统理论、对抗控制原理,提出适用于零航速减摇鳍的尺寸参数估算及综合评定方法,得出不可收放式零航速减摇鳍的最佳展弦比范围,为工程化设计提供了必要的理论依据。 展开更多
关键词 船舶 舰船工程 零航速 减摇鳍 鳍型参数估算 小展弦比
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基于硅微通道板的CoNiP微米管阵列的磁性
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作者 童新 连柯楠 +6 位作者 付梦秋 谭人玮 赵振杰 熊大元 徐少辉 朱一平 王连卫 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第11期751-756,共6页
利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列。比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化。以不同方式对所得样品进行退火,观察平行... 利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列。比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化。以不同方式对所得样品进行退火,观察平行和垂直于微米管长轴方向的矫顽力和剩磁比(Mr/Ms),发现垂直于微米管阵列长轴方向的剩磁比明显大于平行于微米管阵列长轴方向的,这表明制备样品的易磁化方向为垂直于微米管阵列长轴的方向,同时电流退火使垂直和平行于微米管长轴方向的矫顽力的大小关系发生反转。 展开更多
关键词 硅微通道板(si-MCP) 高深宽比 微米管阵列 液流沉积 易磁化方向
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大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 被引量:4
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作者 李欣 刘建朋 +5 位作者 陈烁 张思超 邓彪 肖体乔 孙艳 陈宜方 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期73-77,共5页
针对氢基硅倍半氧烷(hydrogen silsesquioxane,HSQ)作为深反应离子刻蚀(DRIE)掩膜形成大高宽比纳米硅立柱的工艺进行了系统研究。优化了刻蚀工艺中线圈功率、极板功率和气体流量参数,减小了横向刻蚀,使形貌垂直性得到了更好的控制,并实... 针对氢基硅倍半氧烷(hydrogen silsesquioxane,HSQ)作为深反应离子刻蚀(DRIE)掩膜形成大高宽比纳米硅立柱的工艺进行了系统研究。优化了刻蚀工艺中线圈功率、极板功率和气体流量参数,减小了横向刻蚀,使形貌垂直性得到了更好的控制,并实现了13.3μm高度和低侧壁粗糙度的垂直硅纳米柱阵列,其高宽比(高度/半高宽)达到了36。利用不同的刻蚀工艺条件得到了不同侧壁形貌以及不同尺寸、高度的硅纳米柱结构。 展开更多
关键词 HSQ 深反应离子刻蚀 硅纳米柱 高宽比 硬X射线
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高深宽比的TSV制作与填充技术 被引量:4
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作者 余成昇 许高斌 +2 位作者 陈兴 马渊明 展明浩 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期93-97,共5页
硅通孔技术是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案。本文介绍了TSV的制作与填充技术,通过优化ICP刻蚀工艺,实现了上口尺寸14.41μm、下口尺寸8.83μm、深度331.0μm、深宽比大于20:1的高深宽比通孔的制作;利用LPCVD... 硅通孔技术是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案。本文介绍了TSV的制作与填充技术,通过优化ICP刻蚀工艺,实现了上口尺寸14.41μm、下口尺寸8.83μm、深度331.0μm、深宽比大于20:1的高深宽比通孔的制作;利用LPCVD工艺在通孔内沉积的重掺杂多晶硅作为电极引线实现电气互连,并对通孔进行了电阻特性的测试,测试结果表明,通孔阻值约为25Ω,通孔互连的电学特性较好。 展开更多
关键词 硅通孔 ICP刻蚀 LPCVD 重掺杂多晶硅 高深宽比
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引入不同Ti源对铝硅熔体中原位TiAl3相合成的影响
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作者 李沛南 梁艳峰 +2 位作者 郭永春 杨忠 于阳 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期8-15,共8页
采用熔体接触反应法铸造了原位TiAl3/Al-12Si复合材料,研究了引入不同Ti源(Ti粉、海绵钛颗粒)作为原位反应体系对Al-12Si复合材料中原位TiAl3相形貌的影响。结果表明:当Ti粉作为原位反应体系参与反应时,生成的TiAl3相形貌多为针状,横向... 采用熔体接触反应法铸造了原位TiAl3/Al-12Si复合材料,研究了引入不同Ti源(Ti粉、海绵钛颗粒)作为原位反应体系对Al-12Si复合材料中原位TiAl3相形貌的影响。结果表明:当Ti粉作为原位反应体系参与反应时,生成的TiAl3相形貌多为针状,横向尺寸约2μm,纵向尺寸为10~150μm,随着加入Ti粉量增加,TiAl3长径比呈减小趋势;当海绵钛作为原位反应体系参与反应时,生成的TiAl3相形貌为针状、板片状、块状等,横向尺寸为2~10μm,纵向尺寸为50~300μm,随着海绵钛添加量增加,TiAl3长径比减小;部分原位生成的Al-Ti间金属化合物为Si原子固溶于TiAl3中形成的TiAlSi三元相。 展开更多
关键词 Al-si基复合材料 原位生成 长径比 微观组织
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高深宽比硅台阶落差结构的精密成型
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作者 丁景兵 黄斌 +1 位作者 何凯旋 赵三院 《真空》 CAS 2022年第2期81-84,共4页
针对MEMS深硅台阶刻蚀产生硅草导致器件短路的问题,分析了硅草形成的原因,通过对深硅台阶刻蚀的主要工艺参数,如刻蚀钝化时间、Ar物理轰击设置单因素实验,提出一种基于Bosch工艺,即采用周期性“刻蚀-钝化-预刻蚀”进行精密台阶结构落差... 针对MEMS深硅台阶刻蚀产生硅草导致器件短路的问题,分析了硅草形成的原因,通过对深硅台阶刻蚀的主要工艺参数,如刻蚀钝化时间、Ar物理轰击设置单因素实验,提出一种基于Bosch工艺,即采用周期性“刻蚀-钝化-预刻蚀”进行精密台阶结构落差成型的方法,该方法主要通过大幅度提高预刻蚀偏置功率和合理配置刻蚀钝化时间来进行实验。结果表明:在预刻蚀偏置功率100W、预刻蚀时间0.8s的工艺条件下,可以有效的抑制硅草的产生;台阶刻蚀完成后再采用SF6刻蚀气体对台阶侧壁清扫10s,确保硅草去除完全,此时获得的台阶落差结构平整光滑,刻蚀的梳齿垂直度优于90°±1°。该方法 具有重复性好、工艺简单的特点。 展开更多
关键词 台阶刻蚀 高深宽比 预刻蚀 硅草 BOSCH
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Quantitative microstructure and fatigue life of B319 casting alloys
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作者 Yue Shen Xiao-Shan Liu +3 位作者 Guo-Qiu He Dan-Dan Tian Qi-Gui Wang Shi-Quan Lv 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第10期780-791,共12页
In this study, the microstructure of B319 casting alloys and effects of five different casting conditions on microstructure were studied. Multi-scale microstructure was quantified in terms of secondary dendrite arm sp... In this study, the microstructure of B319 casting alloys and effects of five different casting conditions on microstructure were studied. Multi-scale microstructure was quantified in terms of secondary dendrite arm spacing (SDAS), and Si particle size and aspect ratio. The effects of SDAS, Si aspect ratio and size on fatigue life were analyzed. The results indicate that the size and aspect ratio of Si particles are a function of SDAS which is dependent on cooling rate during solidification. The fatigue life decreases with SDAS increasing as SDAS is smaller than 30 pm while it increases with SDAS increasing as SDAS is larger than 60 ~tm. In addition, the fatigue life decreases with Si aspect ratio and size increasing at the same SDAS. Moreover, SDAS and Si particles have also influence on fatigue fracture, such as the area of cracks propagation region and the roughness of fatigue fracture. The cracks propagation area is smaller, and the fatigue fracture is similar to tensile fracture with larger SDAS. Besides, the longitudinal section of fatigue fracture is rougher with large SDAS and elongated Si particles. 展开更多
关键词 B319 aluminum alloy MICROSTRUCTURE SDAS si aspect ratio si size Fatigue life
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