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ToF-SIMS characterization of a bare-spot defect in a hot-dip galvanized boron-added steel sheet
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作者 JIN Xinyan HONG Jufeng 《Baosteel Technical Research》 CAS 2024年第3期1-9,共9页
To determine the root cause of a bare-spot defect in a hot-dip galvanized boron-added steel sheet,we performed metallurgical characterizations using time-of-flight secondary ion mass spectrometry(ToF-SIMS)in addition ... To determine the root cause of a bare-spot defect in a hot-dip galvanized boron-added steel sheet,we performed metallurgical characterizations using time-of-flight secondary ion mass spectrometry(ToF-SIMS)in addition to glow discharge optical emission spectrometry,field-emission scanning electron microscopy(FE-SEM),and energy dispersive spectroscopy.Mn and B enrichments on the steel surface in the bare-spot area were detected through various methods.FE-SEM revealed external oxide nodules and zinc droplets,which indicated poor wettability.ToF-SIMS further revealed considerably more detailed lateral and depth distributions of Mn,B,and Al.The formation of external Mn-B compound oxides on the steel surface prior to hot dipping,which substantially deteriorated the wettability and prevented the formation of a Fe_(2)Al_(5)inhibition layer,resulted in the formation of a bare-spot defect.ToF-SIMS mapping of Al ion proved that a slight reaction still occurred between the dissolved Al in the molten zinc bath and steel substrate,although no evident Fe_(2)Al_(5)inhibition layer formed in the bare-spot area. 展开更多
关键词 bare spot selective oxidation galvanized steel tof-sims
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)在矿物包裹体研究中的应用 被引量:2
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作者 王梦琴 蔡克大 李展平 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期451-464,共14页
矿物包裹体的化学成分研究在地质学、矿床学和油气勘探等方面具有重要意义。目前对包裹体化学成分分析的主要分析方法有激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)、电子探针(EPMA)、显微激光拉曼光谱(LRS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、... 矿物包裹体的化学成分研究在地质学、矿床学和油气勘探等方面具有重要意义。目前对包裹体化学成分分析的主要分析方法有激光烧蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)、电子探针(EPMA)、显微激光拉曼光谱(LRS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、质子诱发X射线光谱分析(PIXE)、同步辐射X射线荧光光谱(SXRF)和(传统的)二次离子质谱分析(SIMS)等。本文在对上述方法的分析特点进行简单介绍的基础上,重点阐述了对于矿床学样品表征具有广泛应用潜力的飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)的原理、特点和技术优势,总结了国内外学者应用TOF-SIMS对矿物包裹体化学成分分析的研究进展与存在问题,并做了相关领域的展望。 展开更多
关键词 矿物包裹体 tof-sims 表面分析
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高分辨率钼/硅纳米多层膜TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱的定量分析
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作者 马泽钦 李海鸣 +6 位作者 庄妙霞 李婷婷 李镇舟 蒋洁 连松友 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2023年第1期17-22,共6页
飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被... 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被广泛应用于纳米光刻、极紫外显微镜等领域。本文利用原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型分辨率函数,通过卷积及反卷积方法分别对Mo(3.5nm)/Si(3.5nm)多层膜的TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱数据进行了定量分析,获得了相应的膜层结构、膜层间界面粗糙度及深度分辨率等信息。结果表明:GDOES深度剖析产生了较大的溅射诱导粗糙度,SIMS的深度分辨率优于GDOES。 展开更多
关键词 Pulsed-RF-GDOES tof-sims MRI模型 深度分辨率 卷积 反卷积
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用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污 被引量:4
4
作者 郑国祥 李越生 +3 位作者 宗祥福 任翀 罗俊一 史刚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第9期702-706,共5页
铝键合点的表面沾污增强了对铝合金化表面的腐蚀,并导致微芯片的失效.过去大量的工作多集中在由等离子工艺引起的含氟的无机沾污;很少接触到键合点的有机沾污.飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)提供了一个探测和分析微芯片... 铝键合点的表面沾污增强了对铝合金化表面的腐蚀,并导致微芯片的失效.过去大量的工作多集中在由等离子工艺引起的含氟的无机沾污;很少接触到键合点的有机沾污.飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)提供了一个探测和分析微芯片键合点上有机沾污的有力武器.作者比较了两个TOF-SIMS的正离子谱,一个是经目检发现键合点有沾污点的芯片,另一个是无沾污芯片.根据对TOF-SIMS特征谱线和离子像的研究,认为沾污点是由某些以CHx和NHy结构组成的有机化合物造成的,并对铝有腐蚀作用.经分析发现这些有机沾污来源于微芯片的工艺过程. 展开更多
关键词 tof-sims 半导体芯片 铝键合点 有机沾污
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TOF-SIMS样品光学成像系统设计 被引量:2
5
作者 王培智 田地 +4 位作者 包泽民 龙涛 张玉海 邱春玲 刘敦一 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期282-288,共7页
本研究为飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)设计了一种具有高空间分辨率的样品光学成像系统。该系统由一种改进的Schwarzschild双反射系统、45°反射镜、变焦镜头及CCD图像传感器构成。采用ZEMAX软件对传统Schwarzschild模型进行计... 本研究为飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)设计了一种具有高空间分辨率的样品光学成像系统。该系统由一种改进的Schwarzschild双反射系统、45°反射镜、变焦镜头及CCD图像传感器构成。采用ZEMAX软件对传统Schwarzschild模型进行计算和改进,得出系统优化参数并进行仿真验证。仿真结果表明:系统最佳的成像分辨率达1μm,极限分辨率为0.4μm,RMS半径小于艾里斑直径,波像差满足瑞利判据,成像质量良好。 展开更多
关键词 成像系统 Schwarzschild双反射系统 ZEMAX 飞行时间二次离子质谱(tof-sims)
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矿物中单个有机包裹体测试与TOF-SIMS技术的应用 被引量:6
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作者 李荣西 周生斌 《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期172-176,共5页
有机包裹体是一种富含有机质的矿物流体包裹体。单个有机包裹体在研究成岩成矿作用和油气成藏历史过程方面具有重要的实用价值。目前常用于单个有机包裹体分析的技术有荧光光谱、显微傅立叶红外光谱、激光拉曼光谱和二次离子质谱 (SIMS... 有机包裹体是一种富含有机质的矿物流体包裹体。单个有机包裹体在研究成岩成矿作用和油气成藏历史过程方面具有重要的实用价值。目前常用于单个有机包裹体分析的技术有荧光光谱、显微傅立叶红外光谱、激光拉曼光谱和二次离子质谱 (SIMS)等。本文对这些方法的应用现状和存在的问题进行了客观的分析 ,同时还介绍了一种可用于单个有机包裹体分析的新技术飞行时间二次离子质谱 (TOF SIMS) ,对其分析原理。 展开更多
关键词 有机包裹体 分析测试 矿物 tof-sims
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TOF-SIMS用于有机混合物分析的数据处理方法 被引量:2
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作者 郝多虎 梁汉东 杨陆武 《中国矿业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期74-77,共4页
在对二次离子质谱的谱图的进行研究的基础上,提出了利用计算机进行二次离子质谱分析的数据处理方法,并已实现了其中的大部分内容.利用该方法处理复杂有机物的质谱图,可以自动输出不同有机物系列的质谱图,且易于分析,不受无机物和... 在对二次离子质谱的谱图的进行研究的基础上,提出了利用计算机进行二次离子质谱分析的数据处理方法,并已实现了其中的大部分内容.利用该方法处理复杂有机物的质谱图,可以自动输出不同有机物系列的质谱图,且易于分析,不受无机物和仪器噪音的干扰,还可以提取一系列的定量参数,节省质谱解析的时间,从而更好地分析有机混合物的组成及结构特征. 展开更多
关键词 有机混合物 数据处理 tof-sims 质谱数据
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TOF-SIMS在源岩单组分研究中的应用 被引量:1
8
作者 李荣西 梁汉东 《地学前缘》 EI CAS CSCD 2001年第2期421-423,共3页
应用飞行时间二次离子质谱 (TOF SIMS)对源岩单组分进行原位微分析 ,结果表明有机组分(1)二次离子峰集中分布在低质量数一端 ;(2 )无机离子峰强度普遍高于有机离子峰 ;(3)同类型相邻的有机离子峰之间相差一定单位的质量 (14,即CH2 ) ;(... 应用飞行时间二次离子质谱 (TOF SIMS)对源岩单组分进行原位微分析 ,结果表明有机组分(1)二次离子峰集中分布在低质量数一端 ;(2 )无机离子峰强度普遍高于有机离子峰 ;(3)同类型相邻的有机离子峰之间相差一定单位的质量 (14,即CH2 ) ;(4 )不同有机组分峰强度最大的有机离子相同 ,但它们峰的相对强度差异非常明显 ,借助有机离子峰的相对强度可以反映有机组分的化学结构及其生烃性特征。 展开更多
关键词 烃源岩 单组分 tof-sims 二次离子质谱 原位微分析 有机组分 油气勘探
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噻吩浸染金表面的TOF-SIMS的研究
9
作者 左丹英 王荧荧 梁汉东 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2000年第3期137-138,共2页
In this paper, surface of gold impregnated with thiophene was studied by the Time of Flight secondary Ion Mass Spectrometry ( TOF-SIMS). Some characterizations of gold-sulfur cluster ions of structures and chemical qu... In this paper, surface of gold impregnated with thiophene was studied by the Time of Flight secondary Ion Mass Spectrometry ( TOF-SIMS). Some characterizations of gold-sulfur cluster ions of structures and chemical qualities are obtained. 展开更多
关键词 金表面 含硫化合物噻吩 浸染 团簇离子 tof-sims
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基于LabVIEW面向对象的TOF-SIMS仪器控制软件 被引量:5
10
作者 郑瀛 范润龙 +3 位作者 张玉海 邱春玲 刘敦一 田地 《质谱学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期591-598,共8页
飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)作为一种重要的表面分析工具被广泛应用,本研究为其开发了一套仪器控制软件。基于LabVIEW面向对象方法建立了仪器部件控制类库,结合消息驱动机制完成了软件结构设计。所开发的软件能够实现对离子光学... 飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)作为一种重要的表面分析工具被广泛应用,本研究为其开发了一套仪器控制软件。基于LabVIEW面向对象方法建立了仪器部件控制类库,结合消息驱动机制完成了软件结构设计。所开发的软件能够实现对离子光学系统、真空系统和三维样品台等仪器子系统的部件控制。应用该软件控制仪器进行了锆石样品的TOF-SIMS实验,完成了锆石样品谱图的获取,结果表明,该软件能够满足仪器对控制软件的要求。此外,软件结构具有良好的可重用性和可扩展性,以及硬件更改对软件影响小等优点,该软件设计方法可用于类似仪器控制软件的开发。 展开更多
关键词 飞行时间二次离子质谱仪(tof-sims) 控制软件 LABVIEW 面向对象
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TOF-SIMS技术在研究炭黑对天然橡胶硫化影响中的应用
11
作者 王韶晖 《橡胶参考资料》 2001年第5期47-50,共4页
众所周知,炭黑广泛应用于橡胶工业,用来提高橡胶制品的强度和硬度。自从炭黑被发现以来,科学家们就一直致力于炭黑补强机理的研究和炭黑性能的改进工作。但在炭黑对硫反应的影响方面没有作深入的研究。通过测定硫化胶试样的交联密度... 众所周知,炭黑广泛应用于橡胶工业,用来提高橡胶制品的强度和硬度。自从炭黑被发现以来,科学家们就一直致力于炭黑补强机理的研究和炭黑性能的改进工作。但在炭黑对硫反应的影响方面没有作深入的研究。通过测定硫化胶试样的交联密度,一些研究者认为,炭黑对硫化过程的影响不大。然而Koenig等用用^13C固态测定发现炭黑对硫化机理有影响。他们认为交联键由多硫结构经脱硫生成单硫结构,这会改变生成的基本网络结构。 展开更多
关键词 tof-sims技术 炭黑 天然橡胶 硫化
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利用ToF-SIMS和Rf-GDOES深度剖析技术研究柔性衬底上的隔热多层膜 被引量:1
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作者 吕凯 周刚 +3 位作者 余云鹏 刘远朋 王江涌 徐从康 《材料科学》 2019年第1期45-53,共9页
目的:探究隔热多层膜VG1的层结构和光学性能。方法:利用飞行时间二次离子质谱(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy, ToF-SIMS)和射频辉光放电发射光谱(Radio-Frequency Glow Dis-charge Optical Emission Spectroscopy, Rf... 目的:探究隔热多层膜VG1的层结构和光学性能。方法:利用飞行时间二次离子质谱(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy, ToF-SIMS)和射频辉光放电发射光谱(Radio-Frequency Glow Dis-charge Optical Emission Spectroscopy, Rf-GDOES)深度剖析技术,对PET柔性衬底上的隔热多层膜进行了成分分布和层结构的对比研究。利用Mixing-Roughness-Information (MRI)模型对测量的深度剖析谱进行了定量分析,并利用分光光度计对多层膜的光学性能进行表征。结果:通过深度剖析的定量分析,确定了所研究隔热多层膜主要组成元素的成分随深度变化的分布为:Nb2O5 (~25 nm)/AZO (Ag) (~10 nm)/Nb2O5 (~50 nm)/AZO (Ag) (~10 nm)/Nb2O5 (~25 nm),整个薄膜厚度约为120 nm。利用深度剖析数据拟合获得的粗糙度参数随深度变化的关系,估算出ToF-SIMS和Rf-GDOES深度剖析溅射到第二个Ag峰前界面处的粗糙度分别为1.2 nm和4.6 nm。对透过率的表征发现,该多层膜样品较PET衬底可见光的透过率增加了11%,而红外光的透过率降低了66%。结论:利用Rf-GDOES和ToF-SIMS溅射深度剖析定量分析技术,确定了柔性衬底上隔热功能薄膜的元素成分分布、膜厚及膜层间界面粗糙度,并利用分光光度计定量确定了该隔热功能多层膜的透过率。 展开更多
关键词 隔热多层膜 深度剖析 tof-sims Rf-GDOES 柔性衬底
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乙硫醇与金作用的TOF-SIMS研究
13
作者 王荧荧 梁汉东 左丹英 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2000年第3期145-146,共2页
Using the Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS), the interface interaction between ethyl mercaptan and gold is observed. A series of gold-sulfur cluster ions are shown on the mass spectrum, which d... Using the Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS), the interface interaction between ethyl mercaptan and gold is observed. A series of gold-sulfur cluster ions are shown on the mass spectrum, which demonstrate the Self-Assembled Monolayers (SAMs) between mercaptan and gold 展开更多
关键词 金表面 乙硫醇 分子自组装 金硫团簇 tof-sims
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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)分析技术 被引量:9
14
作者 李展平 《矿物岩石地球化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1173-1190,共18页
飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术,适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料... 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术,适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。本文对TOF-SIMS分析技术的发展、原理、基本构成、特点和应用领域等方面做了全面介绍。 展开更多
关键词 tof-sims 表面分析 固体材料分析
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TOF-SIMS Study of the Hydrocarbon-generating Potential of Mineral-Bituminous Groundmass 被引量:4
15
作者 DAI Shifeng REN Deyi +2 位作者 YANG Jianye ZHANG Weibiao JIAO Fangli 《Acta Geologica Sinica(English Edition)》 SCIE CAS CSCD 2000年第1期84-92,共9页
: The TOF-SIMS fragment peak ascription of organic and inorganic ions of mineral-bituminous groundmass of Jurassic source rocks in the Turpan-Hami and Junggar basins was studied by using the high-resolution Time of Fl... : The TOF-SIMS fragment peak ascription of organic and inorganic ions of mineral-bituminous groundmass of Jurassic source rocks in the Turpan-Hami and Junggar basins was studied by using the high-resolution Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer (TOF-SIMS). The characteristics of spectrum distribution and constitution of fragment ions of the mineral-bituminous groundmass are discussed; then the methods of evaluating its hydrocarbon-generating potential are developed. In addition, the typical parameters, XAL, Yox and ZAR, for indicating the hydrocarbon-generating potential of mineral-bituminous and other organic matter in source rocks are put forward to reflect the aliphatic, oxygenous, and aromatic structures. It is confirmed by Rock-Eval that these parameters are significant in evaluating hydrocarbon generation. Moreover, the detection of the nitrogenous and oxygenous fragment ion, CH5NO3+, in the mudstone formed in semi-deep lakes and in the carbargilite formed in the arms of lakes reflects the fact that microbes take an active part in biologic degradation. 展开更多
关键词 tof-sims mineral-bituminous groundmass fragment ion hydrocarbon-generating potential
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XPS和TOF-SIMS在硬盘驱动器(HDD)磁头表面微污染分析中的应用 被引量:3
16
作者 刘义为 Moulder J F +2 位作者 Vlasak P R 蒋致诚 JIANG Zhi-cheng 《理化检验(化学分册)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期59-61,共3页
XPS和 TOF- SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分 ,找出污染物的来源 ;XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息 ,而 TOF- SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。
关键词 XPS tof-sims 硬盘驱动器 磁头 磁臂焊接位 表面有机微污染物 分析方法
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地质所完成同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器的整机装配 被引量:1
17
《地质装备》 2016年第2期8-9,共2页
国家重大科学仪器设备开发专项《同位索地质学专用TOF-SIMS科学仪器》项目顺利完成了两台整机的总体装配,并与2016年1月20日通过了国土资源部科技与国际合作司组织的2015年度工作检查,获得专家组的高度评价。该项目是由中国地质科学... 国家重大科学仪器设备开发专项《同位索地质学专用TOF-SIMS科学仪器》项目顺利完成了两台整机的总体装配,并与2016年1月20日通过了国土资源部科技与国际合作司组织的2015年度工作检查,获得专家组的高度评价。该项目是由中国地质科学院地质研究所牵头,中国科学院大连化学物理研究所、吉林大学和中国地质科学院矿产资源研究所等单位参加的。整机总体装配的完成标志着TOF-SIMS科学仪器研发取得了突破性进展。 展开更多
关键词 tof-sims 同位素地质学 科学仪器 中国科学院大连化学物理研究所 装配 整机 中国地质科学院 地质研究所
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XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析中的应用
18
作者 何骁 周亮 +1 位作者 沈江华 李伟明 《印制电路资讯》 2018年第3期104-108,共5页
X射线光电子能谱仪(XPS)和飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)作为浅表面化学分析的两种重要手段,能够高精度的提供村料表面丰富的物理化学信息,在诸多行业的科学研究中被广泛应用.本文通过设备原理分析,结合具体应用实例,对XPS和TOF-S... X射线光电子能谱仪(XPS)和飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)作为浅表面化学分析的两种重要手段,能够高精度的提供村料表面丰富的物理化学信息,在诸多行业的科学研究中被广泛应用.本文通过设备原理分析,结合具体应用实例,对XPS和TOF-SIMS在PCB失效分析的应用做了简单探讨. 展开更多
关键词 XPS tof-sims 失效分析
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In-situ discrimination of the water cluster size distribution in aqueous solution by ToF-SIMS 被引量:2
19
作者 Ying-Ya Liu Yi-Lun Ying +1 位作者 Xin Hua Yi-Tao Long 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期159-163,共5页
The size distribution and molecular structure of water clusters play a critical role in the chemical,biological and atmospheric process.The common experimental study of water clusters in aqueous solution is challenged... The size distribution and molecular structure of water clusters play a critical role in the chemical,biological and atmospheric process.The common experimental study of water clusters in aqueous solution is challenged due to the influence of local H-bonding environments on vibration spectroscopies or vacuum requirements for most mass spectrometry technologies.Here,the time-of-flight secondary ion mass spectrometry(To F-SIMS)combining with a microfluidic chip has been applied to achieve the in-situ discrimination of the size distribution for water clusters in liquid water at room temperature.The results demonstrated that the presented method is highly system stable,reproducible and accurate.The comparison of heavy water with pure water was made to further demonstrate the accuracy of this technique.These results showed that(H2O)3H-+ and (D2O)4D-+ are the most dominant clusters in pure and heavy water,respectively.This one water molecule difference in the dominant cluster size may due to the nuclear quantum effects on water’s hydrogen bonded network.It is the first time to experimentally show the size distribution of water clusters over a wide range(n=1–30)for pure 展开更多
关键词 In-situ tof-sims water clusters liquid water microfluidic chip
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同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器
20
作者 王涛 《科技成果管理与研究》 2016年第4期61-64,共4页
中国地质科学院地质研究所研制了高精度同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器,用于月球和陨石样品的氧同位素和稀土元素分析,以及某些金属矿床的硫等稳定同位素微区原位分析,解决矿床成因等资源领域的课题。该技术的成功研制将直接为我... 中国地质科学院地质研究所研制了高精度同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器,用于月球和陨石样品的氧同位素和稀土元素分析,以及某些金属矿床的硫等稳定同位素微区原位分析,解决矿床成因等资源领域的课题。该技术的成功研制将直接为我国探月工程在获得月球样品后的分析研究工作提供技术支撑,带动地球化学和宇宙化学新的发展。 展开更多
关键词 tof-sims 同位素地质学 科学仪器 中国地质科学院 稀土元素分析 技术支撑 地质研究所 稳定同位素
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