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TiAlN硬质薄膜的制备工艺及结构性能研究进展
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作者 徐照英 张腾飞 +1 位作者 王锦标 陈巧旺 《真空》 CAS 2024年第2期29-36,共8页
硬质TiAlN薄膜作为最有前途的TiN薄膜替代材料,具有比TiN薄膜更高的硬度、低摩擦因数、良好的高温稳定性和耐腐蚀性等优异性能,在石油、刀具、模具、电力、航空发动机等领域得到广泛应用。本文综述了TiAlN薄膜近年来国内外的应用及发展... 硬质TiAlN薄膜作为最有前途的TiN薄膜替代材料,具有比TiN薄膜更高的硬度、低摩擦因数、良好的高温稳定性和耐腐蚀性等优异性能,在石油、刀具、模具、电力、航空发动机等领域得到广泛应用。本文综述了TiAlN薄膜近年来国内外的应用及发展情况,着重阐述了TiAlN薄膜的制备方法,以及工艺参数对TiAlN薄膜性能的影响。同时对TiAlN硬质涂层的结构和性能进行了全面介绍,指出了TiAlN硬质薄膜性能优化的方法,并对TiAlN硬质薄膜的研究以及应用方向进行了展望。TiAlN硬质薄膜会随着科研人员的进一步深入研究以及应用的需求向复合化、多元化、纳米多层结构方向发展。 展开更多
关键词 tialn薄膜 制备方法 结构 性能
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不同黏度合成油下CrN/TiN多层薄膜的摩擦学特性研究
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作者 张全德 陈庆春 +3 位作者 苏桐 赵勤 郭峰 王晓波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期171-180,共10页
目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里... 目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)分别对合成油的运动黏度(40、100℃)、倾点、闪点和表面官能团进行表征。利用反应磁控溅射技术在316不锈钢和单晶硅片基底表面制备CrN/TiN多层薄膜。采用X射线衍射仪和FIB-TEM表征手段对薄膜的微观结构进行分析,并用纳米压痕仪和划痕仪测试了薄膜的力学性能。利用球-盘式摩擦试验机表征薄膜在干摩擦和油润滑条件下的摩擦学性能,利用XPS对摩擦实验后的磨痕元素价态进行表征。结果CrN/TiN薄膜具有典型的面心立方结构(FCC)、异质多层结构,且其硬度可达32.2 GPa。在干摩擦条件下,与裸316基体相比,经表面镀制CrN/TiN薄膜后平均摩擦因数由0.95降至0.71,磨损深度由25.0μm降至16.8μm。在合成油作用下,316不锈钢-GCr15钢球(钢-钢摩擦副)、CrN/TiN多层薄膜-GCr15钢球(CrN/TiN多层薄膜-钢摩擦副)2种摩擦配副的摩擦因数和磨损率随着合成油黏度的增加均呈现降低趋势,且在同一黏度条件下薄膜试样的磨损率更低。结论CrN/TiN多层薄膜在PAO与TME复配获得的一系列不同黏度合成油的作用下,随着合成油黏度的增加,薄膜的磨损率和磨损深度逐渐下降,其减摩抗磨性能得到显著提升。通过磨痕表面的XPS分析可知,合成油中极性的酯基吸附在滑动界面,增强了油膜的承载性能,从而减缓了对偶间的摩擦阻力。 展开更多
关键词 CrN/tin多层薄膜 聚α烯烃 多元醇酯 摩擦学性能 固-液复合润滑
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真空热处理对不锈钢表面TiN薄膜结构及性能的影响
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作者 卢琳琳 刘晨曦 +3 位作者 曹航玮 徐洁 刘禹松 范重庆 《西安工程大学学报》 CAS 2024年第3期32-38,共7页
为提高不锈钢材料在海洋环境中的耐腐蚀能力,采用磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiN薄膜,并在不同温度下对其进行真空热处理,研究热处理温度对TiN薄膜结构及性能的影响。结果表明:适当的真空热处理可提高304不锈钢表面TiN薄膜的结晶... 为提高不锈钢材料在海洋环境中的耐腐蚀能力,采用磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiN薄膜,并在不同温度下对其进行真空热处理,研究热处理温度对TiN薄膜结构及性能的影响。结果表明:适当的真空热处理可提高304不锈钢表面TiN薄膜的结晶度及致密性,缓解其残余应力。与未处理薄膜相比,500℃真空热处理后薄膜内部应力可降低87%,与基底的结合强度提高78%,其腐蚀电流密度由2.42×10^(-6)A/cm^(2)降低到4.43×10^(-7)A/cm^(2),腐蚀电位由-0.247 V提高到-0.044 V,耐腐蚀性能明显提升。 展开更多
关键词 真空热处理 tin薄膜 不锈钢 残余应力 结合强度 耐腐蚀性
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调制周期对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和摩擦性能的影响 被引量:3
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作者 魏永强 刘建伟 +1 位作者 文振华 蒋志强 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2014年第18期151-155,共5页
采用电弧离子镀方法制备了TiN/TiAlN多层薄膜,研究了调制周期对薄膜多层结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:在相同的沉积时间内,随调制周期的增加,多层薄膜的层数减少,每一层的厚度增加,层与层之间的区分更加清晰。摩擦磨损测试结果表... 采用电弧离子镀方法制备了TiN/TiAlN多层薄膜,研究了调制周期对薄膜多层结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:在相同的沉积时间内,随调制周期的增加,多层薄膜的层数减少,每一层的厚度增加,层与层之间的区分更加清晰。摩擦磨损测试结果表明:由于多层薄膜的调制结构,引起薄膜对磨层的变化,当多层薄膜的调制周期为54 nm时,多层薄膜的摩擦系数最小;当调制周期为112 nm时,多层薄膜的摩擦系数最高;当调制周期为164 nm时,多层薄膜的磨痕宽度最小。在摩擦磨损过程中,GCr15钢球的磨损面一直处于快速磨损阶段,对磨痕能谱线扫描结果发现磨屑的主要成分是Fe和FeOx。 展开更多
关键词 电弧离子镀 tin/tialn多层薄膜 调制周期 摩擦磨损
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脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响 被引量:11
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作者 魏永强 张艳霞 +2 位作者 文振华 蒋志强 冯宪章 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,39,共7页
目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律... 目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律。结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制备薄膜的典型生长形貌,随着脉冲偏压占空比的增加,薄膜表面的大颗粒数目明显减少。此外,脉冲偏压占空比的增加还引起多层薄膜中Al/Ti原子比的降低。结论 TiN/TiAlN多层薄膜主要以(111)晶面择优取向生长,此外还含有(311),(222)和(200)晶相结构。5种多层薄膜的纳米硬度均在33GPa以上,当脉冲偏压占空比为20%时,可实现超硬薄膜的制备。 展开更多
关键词 tin tialn 电弧离子镀 纳米硬度 微观结构 脉冲偏压占空比
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电弧离子镀TiN TiAlN薄膜的制备及高温退火研究 被引量:5
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作者 陈光华 杨今漫 +1 位作者 谢二庆 北京工业大学应用物理系 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期44-47,共4页
利用电弧离子镀技术在不锈钢衬底上沉积了TiN,TiAlN薄膜,并对两种样品分别在大气环境下进行了高温退火.退火前后都做了X射线衍射(XRD)谱及硬度测量,发现退火后TiAlN薄膜表面出现Al2O3层,该层的出现使Ti... 利用电弧离子镀技术在不锈钢衬底上沉积了TiN,TiAlN薄膜,并对两种样品分别在大气环境下进行了高温退火.退火前后都做了X射线衍射(XRD)谱及硬度测量,发现退火后TiAlN薄膜表面出现Al2O3层,该层的出现使TiAlN薄膜的高温特性大大好于TiN涂层,在机械工业中将会有广泛的应用前景. 展开更多
关键词 电弧离子镀 tialn 氮化钛 薄膜
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光栅阀角度对电弧离子镀TiN薄膜结构及性能的影响
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作者 赵彦辉 杨文进 《沈阳大学学报(自然科学版)》 CAS 2023年第6期459-463,470,共6页
通过调整光栅阀角度开展对电弧离子镀TiN薄膜结构及力学性能的研究。实验结果表明:光栅阀角度对TiN薄膜的择优取向无明显影响,薄膜均以TiN(200)面择优取向为主;随着光栅阀角度的增加,TiN薄膜中N与Ti原子比均呈欠化学计量比,且先增加而... 通过调整光栅阀角度开展对电弧离子镀TiN薄膜结构及力学性能的研究。实验结果表明:光栅阀角度对TiN薄膜的择优取向无明显影响,薄膜均以TiN(200)面择优取向为主;随着光栅阀角度的增加,TiN薄膜中N与Ti原子比均呈欠化学计量比,且先增加而后降低,在光栅阀角度为10°时N与Ti原子比最高;TiN薄膜表面粗糙度随着光栅阀角度增加整体呈增加趋势;在光栅阀角度为10°时,TiN薄膜呈现出最高硬度和最低磨损率,具有最佳力学和耐磨性能。在电弧离子镀真空镀膜过程中,光栅阀角度通过影响气体流量进而影响薄膜性能,但对于TiN薄膜结构无明显影响,只有选择合适的光栅阀角度才能有助于薄膜综合性能的改善。 展开更多
关键词 电弧离子镀 光栅阀角度 tin薄膜 硬度 耐磨性能
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电弧离子镀TiN和TiAlN薄膜的机械性能研究 被引量:1
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作者 谢婷婷 肖若领 +1 位作者 徐焱良 康剑莉 《温州职业技术学院学报》 2015年第1期55-58,共4页
采用电弧离子镀在高速钢表面沉积TiN和TiAlN薄膜,并比较两种薄膜的机械性能。为模拟实际生产情况,利用对外开展技术服务的机会,沉积薄膜同时在真空腔室内放置近1000支冲棒。基材高速钢经镀2.0μm TiN和1.8μm TiAlN薄膜后硬度分别提高至... 采用电弧离子镀在高速钢表面沉积TiN和TiAlN薄膜,并比较两种薄膜的机械性能。为模拟实际生产情况,利用对外开展技术服务的机会,沉积薄膜同时在真空腔室内放置近1000支冲棒。基材高速钢经镀2.0μm TiN和1.8μm TiAlN薄膜后硬度分别提高至2 661HK、3 570HK左右。由于Al原子的固溶强化作用,镀TiAlN薄膜硬度提高比TiN薄膜更为显著。TiAlN薄膜与基材的结合力明显低于TiN薄膜,适用于受力较小的工作条件,这可能是由于薄膜塑性较差及内应力较大共同影响所致。 展开更多
关键词 电弧离子镀 tin tialn 薄膜 沉积 硬度 结合力
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磁控溅射TiAlN和WTiN薄膜的制备与摩擦性能研究 被引量:7
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作者 李学超 李长生 +3 位作者 晋跃 陈娟 莫超超 朱秉莹 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期43-45,共3页
采用双靶反应磁控溅射的方法在40Cr基体上制备了TiAlN薄膜和WTiN薄膜。用XRD,SEM,AFM等检测手段对薄膜的表面状态及结构等进行了表征,采用UMT-3型多功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对TiAlN和WTiN薄膜的摩擦性能进行了... 采用双靶反应磁控溅射的方法在40Cr基体上制备了TiAlN薄膜和WTiN薄膜。用XRD,SEM,AFM等检测手段对薄膜的表面状态及结构等进行了表征,采用UMT-3型多功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对TiAlN和WTiN薄膜的摩擦性能进行了评价。实验结果表明:TiAlN薄膜出现了两种硬质相TiN与TiAlN共存的物相结构,而WTiN薄膜出现了TiN0.6O0.4,TiN,W2N,WN等多种物相结构;制备的TiAlN、WTiN薄膜表面晶粒均匀细小,生长均以粒状结构为主;摩擦实验数据表明制备的TiAlN和WTiN薄膜均拥有良好的摩擦性能。 展开更多
关键词 双靶磁控溅射 tialn薄膜 Wtin薄膜 摩擦性能
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多弧离子镀制备TiN/TiAlN多层薄膜表面形貌与成分研究 被引量:3
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作者 张桂如 丁龙先 +1 位作者 张弛 王培芬 《真空》 CAS 2014年第6期32-35,共4页
采用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN/TiAlN多层薄膜,用扫描电镜及能谱仪对膜层表面形貌和成分进行了观察与分析,结果表明:随钛靶电流的增大,小液滴的尺寸不仅增大,而且形状更不规则,而无液滴处的Al/Ti原子比呈递减规律;随基体... 采用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN/TiAlN多层薄膜,用扫描电镜及能谱仪对膜层表面形貌和成分进行了观察与分析,结果表明:随钛靶电流的增大,小液滴的尺寸不仅增大,而且形状更不规则,而无液滴处的Al/Ti原子比呈递减规律;随基体偏压的降低,小液滴有减少的趋势,但这一趋势并不明显,而无液滴采集点的Al/Ti原子比也呈递减规律;基体偏压和钛靶电流对较大尺寸的液滴的影响不大。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tin/tialn多层薄膜 表面形貌 成分分析
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牙科合金表面涂镀TiN/TiAlN薄膜的研究进展 被引量:3
11
作者 郑彤 王霄 《现代口腔医学杂志》 CAS CSCD 2016年第5期303-308,共6页
合金材料因具有良好的机械性能、可铸造性能、价格适中等优点,在金属修复体及牙科切削工具中应用广泛。然而口腔复杂生理环境对合金材料的耐腐蚀性、机械性能和生物性能提出了更高的要求。硬质薄膜Ti N尤其是Ti Al N作为新兴的合金表面... 合金材料因具有良好的机械性能、可铸造性能、价格适中等优点,在金属修复体及牙科切削工具中应用广泛。然而口腔复杂生理环境对合金材料的耐腐蚀性、机械性能和生物性能提出了更高的要求。硬质薄膜Ti N尤其是Ti Al N作为新兴的合金表面处理方法之一,在提高牙科合金机械和生物性能方面有积极作用。本文旨在对牙科合金细胞毒性、合金表面涂镀硬质薄膜的机械及生物性能做一综述。 展开更多
关键词 牙科合金 tin/tialn 硬质薄膜 钴铬合金 生物性能 涂镀 氮化钛薄膜 薄膜硬度 耐腐蚀性 生理环境
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多弧离子镀制备TiN/TiAlN多层薄膜性能研究 被引量:1
12
作者 马丽华 丁龙先 张弛 《真空》 CAS 2016年第6期66-69,共4页
采用多弧离子镀技术选取钛靶电流分别为60A、70A、80A和基体偏压分别为-240V、-300V、-360V在高速钢基体上制备Ti N/Ti Al N多层薄膜。使用划痕仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机和马弗炉对膜层的膜基结合力、显微硬度、摩擦磨损性能和热... 采用多弧离子镀技术选取钛靶电流分别为60A、70A、80A和基体偏压分别为-240V、-300V、-360V在高速钢基体上制备Ti N/Ti Al N多层薄膜。使用划痕仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机和马弗炉对膜层的膜基结合力、显微硬度、摩擦磨损性能和热震性能进行检测。结果表明:在钛靶电流为70A和基体偏压为-240V时膜基结合力最高,同时显微硬度也较高;在基体偏压为-300V的条件下,钛靶电流为70A时的摩擦系数最小,其耐磨性能良好;基体偏压为-240V时的抗热震性能良好。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tin/tialn多层薄膜 性能
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不同溅射气压下TiN薄膜的制备及其性能 被引量:3
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作者 徐洁 高淼 +2 位作者 王继允 张旭东 卢琳琳 《西安工程大学学报》 CAS 2023年第2期25-31,共7页
为研究TiN薄膜的性能尤其是红外发射性能,选用Ti靶为溅射靶材,氮气为反应气体,以石英玻璃为基底,在不同溅射气压下(0.1 Pa、0.3 Pa、0.5 Pa、0.7 Pa)采用反应直流磁控溅射技术制备了TiN薄膜,并对其红外发射性能、导电性能、耐腐蚀性能... 为研究TiN薄膜的性能尤其是红外发射性能,选用Ti靶为溅射靶材,氮气为反应气体,以石英玻璃为基底,在不同溅射气压下(0.1 Pa、0.3 Pa、0.5 Pa、0.7 Pa)采用反应直流磁控溅射技术制备了TiN薄膜,并对其红外发射性能、导电性能、耐腐蚀性能等进行了分析。结果表明:所制备的TiN(200)衍射峰都往大角度方向发生偏移,这跟薄膜的N与Ti之比有关。不同的溅射气压使得Ti原子与N原子的结合程度不同,所制备的TiN薄膜是非化学计量比化合物。当溅射气压为0.1 Pa时,溅射颗粒与气体分子的撞击次数少,粒子沉积到基底上仍具有足够的能量扩散、迁移,进行均匀有序的晶格排列,薄膜的结晶质量较高,晶粒尺寸最大,电阻率最低。随着溅射压力的增大,溅射颗粒与气体分子的撞击次数变多,能量损耗较大,颗粒沉积到基质中就不能充分地迁移和生长,从而导致电阻率上升。在低溅射气压下,TiN薄膜表面粗糙度小,具有较低的红外发射率和良好的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 tin薄膜 磁控溅射 溅射气压 红外发射率
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磁控溅射工艺参数对TiAlN薄膜结构和性能影响规律研究 被引量:1
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作者 李昌恒 刘奎仁 +3 位作者 魏世丞 韩庆 王博 王玉江 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期70-76,85,共8页
采用XRD、SEM、纳米压痕仪、纳米划痕仪等分析了磁控溅射工艺参数对TiAlN薄膜物相、微观组织、力学性能及结合力的影响规律。结果表明,所有样品生成相均为面心立方的TiAlN,且在(111)晶面择优生长,薄膜表面形成三棱锥状密排晶粒。选定硬... 采用XRD、SEM、纳米压痕仪、纳米划痕仪等分析了磁控溅射工艺参数对TiAlN薄膜物相、微观组织、力学性能及结合力的影响规律。结果表明,所有样品生成相均为面心立方的TiAlN,且在(111)晶面择优生长,薄膜表面形成三棱锥状密排晶粒。选定硬度与结合力两个指标对TiAlN薄膜进行评价,通过正交实验发现,硬度与结合力的最优工艺参数均为基底偏压-100 V,工作气压0.3 Pa,溅射电流8 A,氮流量40 sccm。 展开更多
关键词 tialn薄膜 磁控溅射 工艺参数 正交实验 硬度 结合力
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面向基因测序芯片应用的TiN电极薄膜制备及性能研究
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作者 王梦晓 徐进 +3 位作者 苏云鹏 顾佳烨 孙纳纳 周大雨 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期1-8,共8页
基因测序技术正处于快速发展阶段,作为灵敏度极高的测序技术——纳米孔测序,对薄膜电极的电阻率和储能特性提出了更高的要求。为了降低薄膜的电阻率并提高储能特性,本文利用反应磁控溅射方法,基于原位生长原理,分别制备了TiO_(x)N_(y)和... 基因测序技术正处于快速发展阶段,作为灵敏度极高的测序技术——纳米孔测序,对薄膜电极的电阻率和储能特性提出了更高的要求。为了降低薄膜的电阻率并提高储能特性,本文利用反应磁控溅射方法,基于原位生长原理,分别制备了TiO_(x)N_(y)和Ti/TiN/TiO_(x)N_(y)电极薄膜。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和电化学工作站对薄膜的微观结构、化学成分及其电化学性能进行研究。结果表明,在TiN高导电性和TiO_(x)N_(y)高比表面积的协同作用下,Ti/TiN/TiO_(x)N_(y)电极薄膜表现出优异的电化学性能。当电流密度为0.15 mA/cm^(2)时获得7.01 mF/cm^(2)的比电容,是TiO_(x)N_(y)电极薄膜比电容值的1.3倍。同时,与TiO_(x)N_(y)单电极相比,Ti/TiN/TiO_(x)N_(y)电极薄膜电阻降低约2个数量级。分析发现:将致密结构的TiN用作集流体引入疏松多孔的TiO_(x)N_(y)单电极中,可以有效降低Ti/TiN/TiO_(x)N_(y)体系内阻,同时保持良好的比电容,可为磁控溅射方法制备高性能基因测序芯片电极提供理论基础。 展开更多
关键词 基因测序 第四代DNA测序技术 磁控溅射 tin电极薄膜 电化学性能
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TiN硬质陶瓷薄膜研究进展
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作者 杨海 陆昆 《山东化工》 CAS 2023年第18期109-111,共3页
TiN薄膜具有优异的综合性能而受到广泛应用和研究。综述了TiN薄膜的多种制备技术,介绍了制备技术和工艺参数对TiN薄膜结构和性能影响,阐述了TiN薄膜应用领域,最后展望了TiN薄膜未来发展方向。
关键词 tin薄膜 制备 性能 应用
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不同工艺参数对TiN薄膜形貌和力学性能的影响
17
作者 于朋 何箐 +2 位作者 袁涛 王世兴 董金全 《新技术新工艺》 2023年第10期59-65,共7页
随着硬质薄膜的快速发展,TiN薄膜已经在诸多领域成功应用。通过采用PVD多功能离子镀膜机在不同工艺参数条件下制备了TiN薄膜,研究不同工艺参数对TiN薄膜表面大颗粒形貌和力学性能的影响。利用扫描电子显微镜对TiN薄膜的表面形貌进行研究... 随着硬质薄膜的快速发展,TiN薄膜已经在诸多领域成功应用。通过采用PVD多功能离子镀膜机在不同工艺参数条件下制备了TiN薄膜,研究不同工艺参数对TiN薄膜表面大颗粒形貌和力学性能的影响。利用扫描电子显微镜对TiN薄膜的表面形貌进行研究,利用球坑仪、划痕仪和显微硬度计对薄膜的力学性能进行分析。研究结果表明,弧电流越大,大颗粒尺寸越大,薄膜厚度及硬度也会显著增加;当沉积温度升高时,TiN表面大颗粒的尺寸与数量显著减小,结合强度出现先增加后减小的趋势;当负偏压增大时,TiN薄膜表面大颗粒出现了先减少后增多的趋势,而薄膜的厚度和硬度也会相应降低。该研究为生产中制备性能优良的TiN薄膜提供了一定的理论依据。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tin薄膜 表面形貌 弧电流 沉积温度 力学性能 负偏压
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多弧离子镀TiN、TiAlN膜层性能的研究 被引量:6
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作者 刘海波 王明明 +2 位作者 张镜斌 刘洲超 魏刚 《热加工工艺》 北大核心 2020年第4期85-87,共3页
采用多弧离子镀技术,在20CrMnSi钢基体上沉积了TiN、TiAlN膜层。使用球坑仪、显微硬度计、划痕仪、磨损实验机和盐雾箱对膜层的厚度、显微硬度、结合力、磨损性能和耐盐雾腐蚀性能进行检测。结果表明:随膜层厚度的增大,两种膜层的硬度... 采用多弧离子镀技术,在20CrMnSi钢基体上沉积了TiN、TiAlN膜层。使用球坑仪、显微硬度计、划痕仪、磨损实验机和盐雾箱对膜层的厚度、显微硬度、结合力、磨损性能和耐盐雾腐蚀性能进行检测。结果表明:随膜层厚度的增大,两种膜层的硬度和耐盐雾腐蚀性升高,结合力降低,耐磨性先升高后降低,且在膜层厚度为9μm时耐磨性最高。二者相比,TiAlN膜层优于TiN膜层。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tin/tialn薄膜 性能
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Microstructure and mechanical properties of TiN/TiAlN multilayer coatings deposited by arc ion plating with separate targets 被引量:13
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作者 魏永强 李春伟 +2 位作者 巩春志 田修波 杨士勤 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期1068-1073,共6页
TiN/TiAlN multilayer coatings were prepared by arc ion plating with separate targets. In order to decrease the unfavorable macroparticles, a straight magnetized filter was used for the low melting aluminium target. Th... TiN/TiAlN multilayer coatings were prepared by arc ion plating with separate targets. In order to decrease the unfavorable macroparticles, a straight magnetized filter was used for the low melting aluminium target. The results show that the output plasmas of titanium target without filter and aluminium target with filter reach the substrate with the same order of magnitude. Meanwhile, the number of macropartieles in TiN/TiAlN multilayer coatings deposited with separate targets is only 1/10-1/3 of that deposited with alloy target reported in literature. Al atom addition may lead to the decrease of peak at (200) lattice plane and strengthening of peak at (111) and (220) lattice planes. The measured hardness of TiN/TiAlN multilayer coatings accords with the mixture principle and the maximum hardness is HV2495. The adhesion strength reaches 75 N. 展开更多
关键词 arc ion plating tin/tialn coatings M2 high speed steel MACROPARTICLES HARDNESS bilayer modulation
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TiN/TiAlN涂层的断裂韧性研究 被引量:10
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作者 郑立允 王玉果 +2 位作者 赵立新 张京军 熊惟皓 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期752-755,共4页
采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基和WC基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN涂层,利用维氏硬度计对涂层进行压痕试验;通过测试压痕周围的裂纹长度和数目,用裂纹密度β来评价涂层的断裂韧性。结果表明,Ti(C,N)基金属陶瓷基体上TiN/TiAlN涂层的... 采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基和WC基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN涂层,利用维氏硬度计对涂层进行压痕试验;通过测试压痕周围的裂纹长度和数目,用裂纹密度β来评价涂层的断裂韧性。结果表明,Ti(C,N)基金属陶瓷基体上TiN/TiAlN涂层的裂纹密度为4558,比WC基金属陶瓷基体上涂层的裂纹密度低。TiN/TiAlN涂层的压痕形貌中,涂层没有剥落,只有沿压痕应力角径向显微裂纹和压痕四周的侧向显微裂纹,不同基体其压痕裂纹特点也不同。Ti(C,N)基金属陶瓷基体上涂层的径向裂纹非常短,并有裂纹偏转现象,侧向裂纹很长。WC基金属陶瓷基体上涂层的径向裂纹很长,非常平直,侧向裂纹很短。 展开更多
关键词 金属陶瓷 多弧离子镀 tin/tialn涂层 压痕试验 断裂韧性
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