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Effects of surface roughness of substrate on properties of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings 被引量:6
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作者 林松盛 周克崧 +6 位作者 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期451-456,共6页
Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-s... Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-sectional morphology of the obtained multilayer coatings were investigated. The results show that the Vickers hardness of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating, with a film thickness of 11.37 μm, is 29.36 GPa. The erosion and salt spray resistance performance of Cr_17Ni_2 steel substrates can be evidently improved by Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating. The surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates plays an important role in determining the mechanical and erosion performances of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings. Overall, a low value of the surface roughness of substrates corresponds to an improved performance of erosion and salt spray resistance of multilayer coatings. The optimized performance of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings can be achieved provided that the surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates is lower than 0.4μm. 展开更多
关键词 Ti/TiN/Zr/zrn multilayer coatings surface roughness sand erosion resistance corrosion resistance vacuum cathodicarc deposition TIN zrn
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NdFeB基体ZrN涂层的耐腐蚀性能 被引量:11
2
作者 杜军 张平 +2 位作者 赵军军 蔡志海 田飞 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期40-44,49,共6页
采用离子镀技术在NdFeB基体上沉积ZrN、ZrN/Zr多层和TiN/Ti多层涂层,考察了其耐腐蚀性能,分析了腐蚀过程。采用静态全浸腐蚀试验(20%NaCl,20℃)测定其失重曲线,扫描电子显微镜(SEM)分析腐蚀前、后的涂层表面形貌变化及腐蚀... 采用离子镀技术在NdFeB基体上沉积ZrN、ZrN/Zr多层和TiN/Ti多层涂层,考察了其耐腐蚀性能,分析了腐蚀过程。采用静态全浸腐蚀试验(20%NaCl,20℃)测定其失重曲线,扫描电子显微镜(SEM)分析腐蚀前、后的涂层表面形貌变化及腐蚀过程,用CH1600B系列电化学分析仪测试极化电位。试验发现:未镀层NdFeB基体在4h后明显失重,随时间延长失重速率增加。施加涂层基体10h后失重,随时问失重速率增加,但小于未镀层试样。NdFeB基体的自腐蚀电位约-1.037V,腐蚀电流1.69×10^-3A/cm^2;施加涂层后自腐蚀电位向正向移动0.131V(TiN/Ti)-0.258V(ZrN),腐蚀电流10^-5~10^-6A/cm^2;ZrN/Zr涂层由7层增加到14层后,腐蚀电位提高0.037V,腐蚀电流降低。结果说明:离子镀沉积ZrN系列涂层显著提高NdFeB耐腐蚀性能。增加ZrN/Zr周期能够提高耐蚀性能。腐蚀源首先在涂层表面缺陷与基体结合部位形成。一旦形成腐蚀源,NaCl晶体即在基体上结晶并生长,随着此过程进行,涂层逐步腐蚀。 展开更多
关键词 zrn涂层 NDFEB 耐腐蚀 多弧离子镀
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离子辅助电弧沉积ZrN梯度涂层抗固体粒子冲蚀行为研究 被引量:18
3
作者 刘道新 奚运涛 +1 位作者 韩栋 张晓化 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期31-37,共7页
为有效提高2Cr13不锈钢表面大攻角固体粒子冲蚀(SPE)抗力,利用离子辅助电弧沉积技术在氮化预处理的2Cr13钢表面制备了不同结构、不同厚度的ZrN梯度涂层,研究了涂层结构和厚度对膜基结合强度、涂层显微硬度、韧性、动静态承载能力以及抗... 为有效提高2Cr13不锈钢表面大攻角固体粒子冲蚀(SPE)抗力,利用离子辅助电弧沉积技术在氮化预处理的2Cr13钢表面制备了不同结构、不同厚度的ZrN梯度涂层,研究了涂层结构和厚度对膜基结合强度、涂层显微硬度、韧性、动静态承载能力以及抗固体粒子冲蚀行为的影响。结果表明:将合理结构的ZrN梯度涂层与离子氮化有机复合,能够获得承载能力高、界面应力应变协调性好、结合强度高、强韧性配合合理,抗多冲疲劳和抗塑性流变性能优的复合改性层,其90°大攻角SPE抗力显著高于2Cr13不锈钢基材。ZrN梯度涂层的SPE抗力同时与涂层厚度密切相关,当ZrN梯度涂层较薄时,其协调变形能力及承载能力较低,在冲击载荷作用下容易出现脱层失效,因而SPE抗力较低;当ZrN梯度涂层太厚时,涂层韧性和内聚强度降低,内部残余应力较大,受外界冲击载荷作用时容易出现局部脱层,因此SPE抗力亦不高。 展开更多
关键词 zrn梯度涂层 固体粒子冲蚀 离子氮化 2Cr13不锈钢
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磁控溅射温度与时间对ZrN薄膜附着力的影响 被引量:9
4
作者 孙维连 李颖 +3 位作者 赵亚玲 王会强 孙铂 李新领 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期121-124,共4页
采用非平衡磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备了ZrN薄膜。用SEM、EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,用光电轮廓仪测量了膜层厚度。并采用划格法测试不同溅射时间和温度制备的薄膜附着力大小。分析不同溅射时间和温度对薄膜附着... 采用非平衡磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备了ZrN薄膜。用SEM、EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,用光电轮廓仪测量了膜层厚度。并采用划格法测试不同溅射时间和温度制备的薄膜附着力大小。分析不同溅射时间和温度对薄膜附着力的影响规律。结果表明,通过调节磁控溅射时间和温度可以得到具有一定厚度,成分稳定,结构致密的ZrN薄膜,且溅射时间在1~20 min范围内时间越长薄膜附着力越大,溅射时间超过20 min,附着力趋于稳定;溅射温度在30~90℃范围内温度越高薄膜附着力越大,超过90℃溅射温度继续升高附着力减小。 展开更多
关键词 zrn薄膜 附着力 溅射时间 溅射温度
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Fabrication of β-Sialon/ZrN/ZrON composites using fly ash and zircon 被引量:6
5
作者 马北越 孙明刚 +2 位作者 丁玉石 闫晨 厉英 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期2638-2643,共6页
β-Sialon/ZrN/ZrON composites were successfully fabricated by an in-situ carbothermal reduction?nitridation process with fly ash, zircon and active carbon as raw materials. The effects of raw materials composition an... β-Sialon/ZrN/ZrON composites were successfully fabricated by an in-situ carbothermal reduction?nitridation process with fly ash, zircon and active carbon as raw materials. The effects of raw materials composition and holding time on synthesis process were investigated, and the formation process of the composites was also discussed. The phase composition and microstructure of the composites were characterized by means of XRD and SEM. It was found that increasing carbon content in a sample and holding time could promote the formation of β-Sialon, ZrN and ZrON. The proper processing parameters to synthesize β-Sialon/ZrN/ZrON composites were mass ratio of zircon to fly ash to active carbon of 49:100:100, synthesis temperature of 1550 °C and holding time of 15 h. The average grain size ofβ-Sialon and ZrN(ZrON) synthesized at 1550 °C for 15 h reached about 2 and 1μm, respectively. The fabrication process ofβ-Sialon/ZrN/ZrON composites included the formation ofβ-Sialon and ZrO2 as well as the conversion of ZrO2 to ZrN and ZrON. 展开更多
关键词 SIALON zrn ZrON in-situ synthesis carbothermal reduction-nitridation process fly ash ZIRCON
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调制周期对CrAlN/ZrN纳米多层膜韧性的影响 被引量:10
6
作者 张文勇 孙德恩 +2 位作者 裴晨蕊 张世宏 黄佳木 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期55-61,共7页
目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期(Λ为6,8,10,20 nm)的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测... 目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期(Λ为6,8,10,20 nm)的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测薄膜表面粗糙度。用Agilent Technologies G200纳米压痕仪检测涂层的硬度和弹性模量。用划痕仪测薄膜/基材的结合力,同时,引入抗裂纹扩展系数(CPR)表征纳米多层膜的韧性。结果 CrAlN/ZrN纳米多层膜断面皆为穿晶柱状结构,调制周期为20 nm时,多层膜层与层之间的界面清晰;多层膜表面呈致密的花椰菜状,厚度均约为2μm。调制周期为8 nm时,硬度为20.4 GPa,进一步增大调制周期,硬度下降。调制周期为8 nm的多层膜临界载荷L_(c2)为18 N,CPR值为73.2,L_(c2)与CPR值均高于其他调制周期的多层膜。在临界载荷L_(c2)处,裂纹扩展导致薄膜发生了严重的片状剥落,露出了亮白的热轧钢基底,薄膜失去了保护作用。结论实验表明,在多层膜厚度、调制比不变的条件下,改变调制周期能够改变多层膜的韧性。随着调制周期的增大,韧性呈先上升、后下降的趋势。调制周期为8 nm时,纳米多层膜的硬度最高,韧性最好,综合性能良好。 展开更多
关键词 CrAlN/zrn纳米多层膜 磁控溅射 调制周期 硬度 韧性
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真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 被引量:9
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作者 李福球 洪瑞江 +2 位作者 余志明 代明江 林松盛 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期17-19,共3页
过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计... 过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜/基结合力,并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能。结果表明:制备的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小;膜/基结合力大于70 N,显微硬度达28 GPa;多层膜比单层TiN膜在提高1Cr11Ni2W2MoV基体的抗腐蚀能力方面具有更显著的作用。 展开更多
关键词 离子镀 Ti/TiN/Zr/zrn多层膜 显微结构 耐腐蚀性
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固体颗粒冲蚀对钛合金ZrN涂层抗冲蚀性能的影响 被引量:11
8
作者 吴小梅 李伟光 陆峰 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2006年第6期26-29,共4页
采用真空电弧镀在TC11钛合金上沉积ZrN涂层,固体颗粒冲蚀实验研究不同冲蚀颗粒、冲蚀速度、冲蚀角度对涂层抗冲蚀性能的影响,并用SEM观察表面及断面形貌。结果表明,在相同冲蚀条件下,ZrN涂层冲蚀率随冲蚀颗粒硬度、冲击角度及冲蚀颗粒... 采用真空电弧镀在TC11钛合金上沉积ZrN涂层,固体颗粒冲蚀实验研究不同冲蚀颗粒、冲蚀速度、冲蚀角度对涂层抗冲蚀性能的影响,并用SEM观察表面及断面形貌。结果表明,在相同冲蚀条件下,ZrN涂层冲蚀率随冲蚀颗粒硬度、冲击角度及冲蚀颗粒速度的增加而增加,冲蚀角度为90°时,ZrN涂层冲蚀速率最大,ZrN涂层提高了TC11钛合金的抗冲蚀性能。 展开更多
关键词 TC11钛合金 zrn涂层 固体颗粒 冲蚀角度 冲蚀颗粒速度
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ZrN/TiN复合涂层刀具的制备及切削性能 被引量:6
9
作者 刘建华 张卧波 +2 位作者 邓建新 赵金龙 李友生 《山东大学学报(工学版)》 CAS 2006年第6期14-18,共5页
采用中频磁控溅射和电弧离子镀2种方法组合,在YG6硬质合金基体上沉积ZrN/TiN复合涂层.研究了复合涂层刀具的制备工艺,并对复合涂层刀具的性能参数进行了测试.通过切削试验研究了ZrN/TiN涂层对硬质合金刀具切削性能的影响,并与未涂层刀... 采用中频磁控溅射和电弧离子镀2种方法组合,在YG6硬质合金基体上沉积ZrN/TiN复合涂层.研究了复合涂层刀具的制备工艺,并对复合涂层刀具的性能参数进行了测试.通过切削试验研究了ZrN/TiN涂层对硬质合金刀具切削性能的影响,并与未涂层刀具的切削效果做了对比.结果表明:ZrN/TiN涂层提高了硬质合金刀具的硬度,降低了涂层刀具的切削力,提高了涂层刀具的耐磨损能力. 展开更多
关键词 zrn/TiN 磁控溅射 涂层 切削性能
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磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响 被引量:4
10
作者 孙维连 安广 +2 位作者 孙铂 王会强 李新领 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期47-49,78,共4页
采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度。用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜... 采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度。用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜层厚度低于63.7nm时,随着膜层厚度的增加,L*和a*值无变化,b*值呈线性递增,且颜色逐渐趋于金黄色;膜层厚度高于63.7nm时,随着膜层厚度的增加,薄膜颜色坐标未有明显变化,颜色为稳定的金黄色。 展开更多
关键词 沉积速率 膜层厚度 zrn薄膜 色度
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离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:5
11
作者 曹猛 李强 +2 位作者 杨莹 邓湘云 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期29-32,共4页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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ZrN单层、多层、梯度层及复合处理层对不锈钢固体粒子冲蚀行为的影响 被引量:6
12
作者 奚运涛 刘道新 韩栋 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期293-298,共6页
对比研究了离子镀ZrN单层、多层、梯度层及其与离子渗氮复合处理对2Cr13马氏体不锈钢抗大小攻角固体粒子冲蚀性能的影响规律,通过硬度、韧性、结合强度、动静态承载能力等特性的综合测试与分析,探讨了表面处理层对不锈钢固体粒子冲蚀行... 对比研究了离子镀ZrN单层、多层、梯度层及其与离子渗氮复合处理对2Cr13马氏体不锈钢抗大小攻角固体粒子冲蚀性能的影响规律,通过硬度、韧性、结合强度、动静态承载能力等特性的综合测试与分析,探讨了表面处理层对不锈钢固体粒子冲蚀行为的作用机制.结果表明,上述4种表面改性层均显著提高了2Cr13不锈钢表面的硬度和抗微切削能力,因而有效改善了2Cr13钢抗30°小攻角固体粒子冲蚀性能.经离子渗氮层上沉积ZrN梯度层的复合处理后,其硬度由表面至基材呈梯度分布,界面应力分布连续性好,承载能力和抗塑性变形能力高,多冲疲劳性能优,能够显著提高基材抗90°大攻角固体粒子的冲蚀能力.然而,ZrN单层、多层、梯度层的抗多冲疲劳性能较差,其抗大攻角固体粒子的冲蚀能力反而不及2Cr13基材. 展开更多
关键词 固体粒子冲蚀 离子镀 离子渗氮 zrn 梯度层 复合处理
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ZrN系列薄膜的研究进展 被引量:8
13
作者 李宇恒 胡社军 +1 位作者 曾鹏 吴健 《工具技术》 北大核心 2007年第7期7-12,共6页
综述了近年来ZrN系列薄膜的研究现状,描述了ZrN薄膜的重要性质,介绍了以ZrN薄膜为基础的多层膜和复合膜的研究状况,分析了制备方法及工艺条件对薄膜的影响,并展望了ZrN薄膜未来的研究方向。
关键词 zrn 薄膜 多层 复合
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氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响 被引量:3
14
作者 李新领 周志男 +3 位作者 孙维连 孙铂 王会强 安广 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期13-15,41,共4页
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5... 采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10~3.5×10-10m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10~3.5×10-10m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密。 展开更多
关键词 氮气流量 zrn Zr薄膜 色度 沉积速率 中频孪生靶
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沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响 被引量:3
15
作者 黄若轩 祁正兵 +2 位作者 孙鹏 朱芳萍 王周成 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期654-658,共5页
利用磁控溅射方法通过改变沉积温度(Ts)制备一系列纳米ZrN涂层.采用X射线衍射、扫描电镜及CSM纳米力学综合测试系统表征了纳米ZrN涂层的物相结构、截面形貌及综合力学性能,系统研究了沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响.实验结果表... 利用磁控溅射方法通过改变沉积温度(Ts)制备一系列纳米ZrN涂层.采用X射线衍射、扫描电镜及CSM纳米力学综合测试系统表征了纳米ZrN涂层的物相结构、截面形貌及综合力学性能,系统研究了沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响.实验结果表明:随着沉积温度的增加,涂层择优取向由(111)变为(200),而在600℃时结晶度很低;涂层择优取向的变化是由涂层沉积过程中原子迁移能力和不同取向表面能的差异所决定的.纳米ZrN涂层在Ts=450℃及以下温度区间为柱状结构,并随沉积温度增加柱状晶逐渐变宽,在Ts=600℃时,由于生长方式的改变使涂层变为非柱状等轴结构.纳米ZrN涂层的硬度在Ts=450℃及以下温度区间没有明显变化,但在Ts=600℃时,由于涂层结晶度以及位错密度降低导致涂层硬度下降.随沉积温度的增加,涂层与基体间结合力先减小后增大.纳米ZrN涂层的磨损率由硬度和膜基结合力共同作用决定. 展开更多
关键词 zrn 涂层 取向性 力学性能
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常压烧结制备ZrN(ZrON)-SiAlON复合陶瓷 被引量:5
16
作者 马北越 厉英 +1 位作者 卢忠鑫 于景坤 《耐火材料》 CAS 北大核心 2014年第3期166-169,共4页
以粉煤灰(≤74μm)、锆英石(≤44μm)和活性炭为原料,采用碳热还原氮化法在1 550℃保温6 h合成了ZrN-SiAlON复合材料。以加工成的ZrN-SiAlON复合微粉为主原料,加入聚乙烯醇结合剂,分别在1 450、1 500和1 550℃下埋炭粉常压烧结1 h制备Zr... 以粉煤灰(≤74μm)、锆英石(≤44μm)和活性炭为原料,采用碳热还原氮化法在1 550℃保温6 h合成了ZrN-SiAlON复合材料。以加工成的ZrN-SiAlON复合微粉为主原料,加入聚乙烯醇结合剂,分别在1 450、1 500和1 550℃下埋炭粉常压烧结1 h制备ZrN(ZrON)-SiAlON复合陶瓷,研究了烧成温度对复合陶瓷相组成、显微结构和烧结性能的影响。结果表明:1)控制烧成温度可以制备出不同组成的β-SiAlON基复合陶瓷;在1 550℃保温1 h制备的复合陶瓷的主晶相为ZrN、ZrON和β-SiAlON(z=2,Si4Al2O2N6);2)从不同温度烧后试样的微观结构中均能观察到ZrN(ZrON)、β-SiAlON和一种铁硅系化合物存在,且ZrN(ZrON)颗粒均匀地分布于β-SiAlON基质中;3)提高烧成温度会使复合陶瓷的收缩率增大,当烧成温度由1 450℃升至1 550℃时,试样的体积收缩率由19.4%增加至40.3%。 展开更多
关键词 zrn(ZrON)-SiAlON 复合陶瓷 常压烧结法 粉煤灰 锆英石
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ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能研究 被引量:3
17
作者 郑伟 李伟 +5 位作者 孟佳 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期1038-1042,共5页
采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与TiSi复合靶成功制备了不同TiSiN层厚度的ZrN/TiSiN纳米多层膜。利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕仪研究了不同TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜的... 采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与TiSi复合靶成功制备了不同TiSiN层厚度的ZrN/TiSiN纳米多层膜。利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕仪研究了不同TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明,ZrN/TiSiN纳米多层膜主要由面心立方的ZrN相组成,随着TiSiN层厚度的增加,纳米多层膜的结晶程度先增加后降低,其硬度和弹性模量也先升高后降低。当TiSiN层厚度为0.7nm时,纳米多层膜具有最高的硬度和弹性模量,分别为28.7和301.1GPa,远超过ZrN单层膜。ZrN/TiSiN纳米多层膜的强化效果可由交变应力场和模量差理论进行解释。 展开更多
关键词 zrn/TiSiN纳米多层膜 微观结构 力学性能 共格外延生长
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离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:4
18
作者 曹猛 李强 +1 位作者 邓湘云 李德军 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期627-631,共5页
使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的... 使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高(30.6 GPa),弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善. 展开更多
关键词 无机非金属材料 离子束辅助沉积(IBAD) zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 辅助轰击能量
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钛合金及其表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的冲蚀行为 被引量:4
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作者 蓝恩辉 代明江 +2 位作者 胡芳 林松盛 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期29-33,共5页
采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角... 采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角下,冲蚀砂量为70g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为21.88μm,TC11钛合金基材为269.9μm。90°攻角下,冲蚀砂量为20g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为8.95μm,TC11钛合金基材为46.96μm。30°攻角下,钛合金的冲蚀以微切削为主,多层膜以微切削和微断裂为主。在90°攻角下,钛合金的冲蚀以点坑冲蚀为主,多层膜以裂纹萌生扩展和点坑冲蚀的混合冲蚀为主。 展开更多
关键词 TC11钛合金 Ti/TiN/Zr/zrn多层膜 冲蚀机理
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调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响 被引量:6
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作者 徐晓明 辛萍 +2 位作者 王娟 赵阳 张庆瑜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期23-27,31,共6页
利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表明:调制结构影响着薄膜的择优生长取向、... 利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表明:调制结构影响着薄膜的择优生长取向、沉积速率和表面形貌;在调制周期为7nm~26nm的范围内,随调制周期的增加,TiN/ZrN多层膜的织构取向有从(100)面向(111)面转变的趋势;TiN和ZrN层的沉积速率随调制周期的变化而变化.在调制周期为15nm左右时,表面粗糙度最小,减小和增加调制周期均导致粗糙度的增加.力学性能分析表明:TiN/ZrN多层膜的硬度和弹性模量均高于单一TiN和ZrN的硬度和弹性模量,且随着调制周期的减小有逐渐增加的趋势.此外,根据调制结构和力学性能的分析结果,讨论了TiN/ZrN纳米多层膜的硬化机制. 展开更多
关键词 TiN/zrn多层膜 表面形貌 生长行为 力学性能
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