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一种新型微波叶尖间隙传感器 被引量:5
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作者 路晓 谭秋林 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第1期49-53,65,共6页
针对恶劣环境下航天发动机、涡轮机等旋转机械对叶尖间隙实时测量的需求,设计了一种用于涡轮发动机叶尖间隙测量的新型微波传感器。该传感器基于多嵌套式分裂环谐振器(NSRR)结构,将铂(Pt)金属浆料组成的闭环电路集成于高温共烧陶瓷(HTCC... 针对恶劣环境下航天发动机、涡轮机等旋转机械对叶尖间隙实时测量的需求,设计了一种用于涡轮发动机叶尖间隙测量的新型微波传感器。该传感器基于多嵌套式分裂环谐振器(NSRR)结构,将铂(Pt)金属浆料组成的闭环电路集成于高温共烧陶瓷(HTCC)中,以此来适应发动机及涡轮机内部的极端测试条件。经过仿真设计,可知传感器的工作频率为2.44 GHz,且在2.5~5 mm仿真间隙范围内最低灵敏度为8.33 dB/mm。通过传统的HTCC工艺及厚膜技术,对设计的传感器进行制备和测试,测试结果验证了仿真结果的正确性,表明该传感器能为所需应用环境提供准确可靠的数据。 展开更多
关键词 微波传感器 叶尖间隙 嵌套式分裂环谐振器(nsrr) 氧化铝陶瓷 谐振频率
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