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Review of the fabrication and application of porous materials from silicon-rich industrial solid waste 被引量:17
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作者 Chao Miao Lixing Liang +5 位作者 Fan Zhang Shumei Chen Kaixuan Shang Jinlong Jiang Yi Zhang Jing Ouyang 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第3期424-438,共15页
Porous materials have promise as sound insulation, heat barrier, vibration attenuation, and catalysts. Most industrial solid wastes, such as tailings, coal gangue, and fly ash are rich in silicon. Additionally, a high... Porous materials have promise as sound insulation, heat barrier, vibration attenuation, and catalysts. Most industrial solid wastes, such as tailings, coal gangue, and fly ash are rich in silicon. Additionally, a high silicon content waste is a potential raw material for the syn- thesis of silicon-based, multi-porous materials such as zeolites, mesoporous silica, glass-ceramics, and geopolymer foams. Representative sil- icon-rich industrial solid wastes (SRISWs) are the focus of this mini review of the processing and application of porous silicon materials with respect to the physical and chemical properties of the SRISW. The transformation methods of preparing porous materials from SRISWs are summarized, and their research status in micro-, meso-, and macro-scale porous materials are described. Possible problems in the application of SRISWs and in the preparation of functional porous materials are analyzed, and their development prospects are discussed. This review should provide a typical reference for the recycling and use of industrial solid wastes to develop sustainable “green materials.” 展开更多
关键词 silicon-rich industrial solid waste porous materials physicochemical properties material utilization of solid wastes
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Reaction behavior of silicon-rich diasporic bauxite with ammonium sulfate during roasting 被引量:1
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作者 XU Yu-jun XIN Hai-xia +4 位作者 DUAN Hua-mei LI Yan-dong WU Yan LIN Jie ZHAI Yu-chun 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第1期22-31,共10页
The separation of Al from the silicon-rich diasporic bauxite is of great significance in alumina production.Herein,we proposed a low-temperature ammonium sulfate roasting-water leaching process to extract aluminum fro... The separation of Al from the silicon-rich diasporic bauxite is of great significance in alumina production.Herein,we proposed a low-temperature ammonium sulfate roasting-water leaching process to extract aluminum from silicon-rich diasporic bauxite.Parameters including roasting temperature,dosage of ammonium sulfate,roasting time,and particle size of ore were investigated.Under the condition of roasting temperature of 400℃,roasting time of 5 h,ammonium sulfate dosage of 2.5 times of the theoretical value and ore particle size of 80−96μm,more than 98%leaching rate of aluminum was obtained.The phase transformation and mechanism during the roasting process were revealed by using X-ray diffraction,thermogravimetric analysis,differential thermal analysis,and scanning electron microscope methods.The diaspore and kaolinite phases in the silicon-rich diasporic bauxite could react with ammonium sulfate to form corresponding sulfates(NH_(4))_(3)Al(SO_(4))_(3) Al(SO_(4))_(2) and Al_(2)(SO_(4))_(3).The proposed technology could provide an effective method for the direct and separation of aluminum from silicon-rich diasporic bauxite. 展开更多
关键词 silicon-rich diasporic bauxite ammonium sulfate ROASTING SEPARATION
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Annealing Temperature dependence of Photoluminescence from Silicon-rich silica Films 被引量:1
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作者 吴雪梅 诸葛兰剑 +3 位作者 汤乃云 叶春暖 宁兆元 姚伟国 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第4期891-895,共5页
The silicon-rich silica films were prepared by a dual-ion-beam co-sputtering method from a composite Target in an argon atmosphere. The structure of the films studied by the aid of TEM and XRD is amorphous. The photol... The silicon-rich silica films were prepared by a dual-ion-beam co-sputtering method from a composite Target in an argon atmosphere. The structure of the films studied by the aid of TEM and XRD is amorphous. The photoluminescence (PL) spectra were found to have a 4- luminescent band peak at 320 nm, 410 nm, 560 nm, and 630 nm, respectively, at room temperature. The intensity and the wavelength position of PL are dependent on annealing temperature (Ta), and the luminescent mechanism is analyzed. 展开更多
关键词 Annealing Temperature dependence of Photoluminescence from silicon-rich silica Films SIO
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富Ce稀土对多元Al-Si活塞合金凝固组织的影响
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作者 刘铁羽 董雄博 +4 位作者 段洪波 夏峰 杨伟 王建利 李建平 《热加工工艺》 北大核心 2024年第9期95-100,共6页
采用DSC以及光学显微镜与扫描电镜研究了富Ce稀土(0.1wt%,0.3wt%,0.5wt%)对多元近共晶Al-11.5Si-4Cu-2Ni-1Mg-0.5Fe(wt%)活塞合金凝固组织的影响。发现富Ce稀土加入对该合金的共晶硅和多种第二相的凝固温度、形态与体积分数均有明显影... 采用DSC以及光学显微镜与扫描电镜研究了富Ce稀土(0.1wt%,0.3wt%,0.5wt%)对多元近共晶Al-11.5Si-4Cu-2Ni-1Mg-0.5Fe(wt%)活塞合金凝固组织的影响。发现富Ce稀土加入对该合金的共晶硅和多种第二相的凝固温度、形态与体积分数均有明显影响。富Ce稀土的加入,使Al-Si共晶温度降低,T-Al_(9)FeNi相和δ-Al_(3)CuNi相析出温度升高。富Ce稀土加入量0.3wt%时,共晶硅变质效果最佳,T-Al_(9)FeNi相由初始的板条状转变为小块状,体积分数减小到3.22vol%,δ-Al_(3)CuNi相由初始的片状转化为鱼骨状,体积分数增加到6.47vol%。富Ce稀土中La、Ce原子在凝固过程中富集在固液界面前沿,增大了成分过冷,细化共晶组织。当富Ce稀土含量为0.5wt%时,合金中出现长针状富稀土相。 展开更多
关键词 铝-硅活塞合金 变质 共晶硅 富铈稀土
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虎峪沟长城系底部富硅火山岩、火山碎屑岩及其中富铁钛熔体包裹体的发现
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作者 孙嘉婧 谢玉玲 +2 位作者 于超 曲云伟 夏加明 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1235-1250,共16页
元古宙是地球演化的关键时期,对该时期岩石记录的研究为理解前寒武纪地球演化提供了重要依据。对岩石成因的正确解读是岩石大地构造研究的基础,也是基于岩石记录揭示地球环境变化的前提。华北克拉通长城系底部普遍发育一套富硅的层状岩... 元古宙是地球演化的关键时期,对该时期岩石记录的研究为理解前寒武纪地球演化提供了重要依据。对岩石成因的正确解读是岩石大地构造研究的基础,也是基于岩石记录揭示地球环境变化的前提。华北克拉通长城系底部普遍发育一套富硅的层状岩石,被认为是一套由裂谷沉积形成的海相石英砂岩和硅质岩浅变质而成。本文以北京昌平虎峪沟出露的长城系底部常州沟组富硅层状岩石为研究对象,通过详细的野外地质观察,典型样品的岩矿相、SEM/EDS(扫描电镜/X射线能谱)分析、CL(显微阴极发光)成像分析、石英原位LA-ICP-MS(电感耦合等离子质谱)分析以及石英中熔体包裹体的岩相学、显微测温、马弗炉加温-淬火实验和包裹体成分的SEM/EDS、EPMA(电子探针)、LRM(显微激光拉曼光谱)分析等,提出了长城系底部富硅层状岩石的火山成因新认识。研究结果表明,长城系底部富硅层状岩石包括碎屑结构(前人定义的石英砂岩)和镶嵌结构(前人定义的石英岩)两类,其矿物组成主要为石英和钾长石,另外还含有少量锆石、金红石等。碎屑结构岩石中石英、钾长石碎屑可见棱角-次棱角状,且钾长石未见黏土化的边缘。两类岩石中石英的CL多显示蓝紫色的发光特征。另外,据石英钛饱和温度计估算的形成温度集中在550~650℃之间,也显示了高温石英的特征。两类岩石中的石英和钾长石中均发育有富铁钛的两相熔体包裹体。熔体包裹体显微测温结果表明,熔体包裹体在加温过程中至1000℃后,不混溶两相的成分持续变化,并在1050℃发生颜色深浅的反转,在约1350℃左右临界均一。马弗炉加温淬火实验也证实,在加温至1350℃淬火后的样品中的两相熔体包裹体发生了均一。SEM/EDS和EPMA结果表明,熔体包裹体的主要成分为铁、钛的氧化物,暗色部分相对富铁,而浅色部分相对富钛,熔体包裹体两相的Fe/Ti值变化较大。LRM分析结果表明,熔体包裹体的两相均为非晶质。综合岩石的结构特征、石英的CL发光特征、石英的形成温度估算和石英中熔体包裹体的显微测温结果等,笔者认为,长城系底部的富硅层状岩石应为富硅的火山岩和火山碎屑岩,表明古元古代华北克拉通曾存在与哥伦比亚超大陆裂解有关的大规模富硅火山活动。这一发现为华北克拉通元古宙地质演化提供了新证据。石英中富铁钛熔体包裹体的发现也为解释前寒武纪岩浆成因铁矿床、铁钛矿床的形成,特别是岩浆过程中铁、钛的富集机理提供了新的思路。 展开更多
关键词 华北克拉通 长城系 富硅火山岩 熔体包裹体 熔体不混溶
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低磷富硅淡水系统磷酸盐氧同位素测试的前处理方法改进
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作者 吴可迪 魏海珍 阮晓红 《高校地质学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期526-540,共15页
磷是大多数淡水生境营养状态的限制元素,其来源识别是水体磷污染控制及其富营养化防治的关键。磷酸盐氧同位素比值(δ^(18)OP)示踪法可有效甄别磷来源,然而淡水生境的磷含量低且水质成分复杂,如硅酸盐岩分布区水体常具有低磷富硅特征,... 磷是大多数淡水生境营养状态的限制元素,其来源识别是水体磷污染控制及其富营养化防治的关键。磷酸盐氧同位素比值(δ^(18)OP)示踪法可有效甄别磷来源,然而淡水生境的磷含量低且水质成分复杂,如硅酸盐岩分布区水体常具有低磷富硅特征,由于无定形硅易析出并吸附PO_(4)^(3-),通过现有的前处理步骤难以获得有效的δ^(18)OP测试数据。文章针对淡水低磷富硅、沉积物及土壤贫磷砂质特征,基于广泛使用的Mclaughlin前处理方法做出了如下改进:对低磷富硅水体,(1)降低PO_(4)^(3-)富集步骤投加试剂比例;(2)CePO_(4)沉淀前分级调节pH;(3)多步细孔过滤降低硅含量;(4)树脂柱动态交换去除阳离子。对贫磷砂质沉积物及土壤,则增大样品用量和提取液浓度,结合淡水样品的纯化方法,获取足量纯净Ag_(3)PO_(4)用于δ^(18)OP测定。改进优化后的δ^(18)OP前处理方法,沉淀及离子交换的关键步骤回收率均高于80%,重复测量精度为±0.6‰(n=6),通过对比加标回收与KH_(2)PO_(4)试剂直接生成Ag_(3)PO_(4)的δ^(18)OP,验证了改进流程分析的准确性。该前处理方法成功应用于丹江口水库汇流区的水体、沉积物及土壤的δ^(18)OP测定,为其磷的溯源提供了技术支撑。 展开更多
关键词 磷酸盐氧同位素比值(δ^(18)OP) 前处理方法 低磷富硅生境 磷溯源
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Nonlinear optics on silicon-rich nitride--a high nonlinear figure of merit CMOS platform[Invited] 被引量:9
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作者 D.T.H.TAN K.J.A.OoI D.K.T.NG 《Photonics Research》 SCIE EI 2018年第5期I0075-I0091,共17页
CMOS platforms with a high nonlinear figure of merit are highly sought after for high photonic quantum efficiencies, enabling functionalities not possible from purely linear effects and ease of integration with CMOS e... CMOS platforms with a high nonlinear figure of merit are highly sought after for high photonic quantum efficiencies, enabling functionalities not possible from purely linear effects and ease of integration with CMOS electronics. Silicon-based platforms have been prolific amongst the suite of advanced nonlinear optical signal processes demonstrated to date. These include crystalline silicon, amorphous silicon, Hydex glass, and stoichio- metric silicon nitride. Residing between stoichiometric silicon nitride and amorphous silicon in composition, silicon-rich nitride films of various formulations have emerged recently as promising nonlinear platforms for high nonlinear figure of merit nonlinear optics. Silicon-rich nitride films are compositionally engineered to create bandgaps that are sufficiently large to eliminate two-photon absorption at telecommunications wavelengths while enabling much larger nonlinear waveguide parameters (5x-500x) than those in stoichiometric silicon uitride. This paper reviews recent developments in the field of nonlinear optics using silicon-rich nitride platforms, as well as the outlook and future opportunities in this burgeoning field. 展开更多
关键词 Nonlinear optics silicon-rich nitride a high Nonlinear figure of merit CMOS platform
原文传递
Intermodal frequency generation in silicon-rich silicon nitride waveguides 被引量:3
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作者 C.LACAVA T.DOMINGUEZ BUCIO +6 位作者 A.Z.KHOKHAR P.HORAK Y.JUNG F.Y.GARDES D.J.RICHARDSON P.PETROPOULOS F.PARMIGIANI 《Photonics Research》 SCIE EI CSCD 2019年第6期615-621,共7页
Dispersion engineering in optical waveguides allows applications relying on the precise control of phase matching conditions to be implemented. Although extremely effective over relatively narrow band spectral regions... Dispersion engineering in optical waveguides allows applications relying on the precise control of phase matching conditions to be implemented. Although extremely effective over relatively narrow band spectral regions,dispersion control becomes increasingly challenging as the bandwidth of the process of interest increases.Phase matching can also be achieved by exploiting the propagation characteristics of waves exciting different spatial modes of the same waveguide. Phase matching control in this case relies on achieving very similar propagation characteristics across two, and even more, waveguide modes over the wavelengths of interest, which may be rather far from one another. We demonstrate here that broadband(>40 nm) four-wave mixing can be achieved between pump waves and a signal located in different bands of the communications spectrum(separated by50 nm) by exploiting interband nonlinearities. Our demonstration is carried out in the silicon-rich silicon nitride material platform, which allows flexible device engineering, allowing for strong effective nonlinearity at telecommunications wavelengths without deleterious nonlinear-loss effects. 展开更多
关键词 Intermodal FREQUENCY silicon-rich silicon NITRIDE WAVEGUIDES
原文传递
粉末压片-X射线荧光光谱法测定富硅土壤和沉积物样品中的5种重金属元素
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作者 陈春霏 卢秋 +4 位作者 姚苏芝 梁晓曦 洪欣 李丽和 韦江慧 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2024年第5期513-520,共8页
X射线荧光光谱法测定土壤和沉积物中的重金属具有简便、快速、准确等优点,但现有的环境行业标准方法不适用于SiO 2含量大于80%的土壤和沉积物的测定。为提高X射线荧光光谱法测定土壤和沉积物中的重金属在环境监测领域中的适用性,建立基... X射线荧光光谱法测定土壤和沉积物中的重金属具有简便、快速、准确等优点,但现有的环境行业标准方法不适用于SiO 2含量大于80%的土壤和沉积物的测定。为提高X射线荧光光谱法测定土壤和沉积物中的重金属在环境监测领域中的适用性,建立基于粉末压片-X射线荧光光谱法测定富硅土壤和沉积物中重金属的分析方法。通过选取富硅的土壤和沉积物标准物质提高校准曲线的测量范围以及优化各元素的测量条件,探讨基体效应和谱线重叠干扰、研究压片制样的最佳压力等途径,测定富硅土壤和沉积物中的Pb、Cr、Cu、Ni、Zn。结果表明,在已优化的测定条件下,通过延长校准曲线的测量上限,保证待测元素含量在校准曲线范围内,同时采用经验系数法和康普顿散射内标法校正基体效应,可进一步提高方法的准确度和精密度。方法比对结果显示,X射线荧光光谱法的测定结果与原子吸收光谱法的测定结果无显著性差异。选用2种不同的富硅标准物质进一步验证方法的精密度和准确度,Pb、Cr、Cu、Ni、Zn的测定结果与标准物质认定值的对数误差为0.002~0.08,相对标准偏差为1.0%~4.6%。方法的精密度和正确度满足土壤和水系沉积物环境监测分析的技术要求,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 X射线荧光光谱法 富硅土壤和沉积物 重金属元素 粉末压片法
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高比能锂离子电池电解液配方分析改善 被引量:1
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作者 马怡晖 王思敏 +1 位作者 刘恋 周江 《电源技术》 CAS 北大核心 2024年第1期56-59,共4页
针对300 Wh/kg高比能锂离子动力电池在不同循环寿命状态下的电解液进行残余成分分析,其中正极材料为三元高镍材料NCM811,负极材料为石墨和氧化亚硅混合材料。研究结果表明:电解液添加剂VC及DTD主要作用于化成阶段及循环前期的SEI膜形成;... 针对300 Wh/kg高比能锂离子动力电池在不同循环寿命状态下的电解液进行残余成分分析,其中正极材料为三元高镍材料NCM811,负极材料为石墨和氧化亚硅混合材料。研究结果表明:电解液添加剂VC及DTD主要作用于化成阶段及循环前期的SEI膜形成;FEC在化成阶段几乎不消耗,主要作用在循环后期,修补由于硅负极膨胀导致的SEI膜破裂;PS则在常温循环中消耗较少。此研究明确揭示了各添加剂的作用阶段及消耗量,同时以电池中残液组成成分随不同循环寿命的变化规律作为电解液配方技术精准调控方法。 展开更多
关键词 高比能锂离子电池 电解液 添加剂 高镍三元材料 硅碳负极
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铝硅合金阳极氧化表面黑斑缺陷形成机制研究
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作者 葛瑞超 徐勇 +1 位作者 甘信柱 汪文洋 《山东建筑大学学报》 2024年第1期91-97,共7页
研究铝硅合金阳极氧化表面黑斑缺陷的形成机制,可以为铝硅合金阳极氧化工艺的调控提供一定的理论和实践依据。文章采用扫描电子显微镜、光学显微镜、能谱分析和X射线衍射等测试技术,分析了铝硅合金工件阳极氧化过程中出现的黑斑缺陷。... 研究铝硅合金阳极氧化表面黑斑缺陷的形成机制,可以为铝硅合金阳极氧化工艺的调控提供一定的理论和实践依据。文章采用扫描电子显微镜、光学显微镜、能谱分析和X射线衍射等测试技术,分析了铝硅合金工件阳极氧化过程中出现的黑斑缺陷。结果表明:与正常区域组织相比,铝硅合金工件黑斑缺陷区域的组织形貌、相分布和体积分数发生了明显的变化;正常区域组织中的针片状化合物和缺陷区域组织中鱼骨状化合物主要相成分为二元铁铝化合物,黑斑缺陷区域的富铁相发生共晶转变会使其形态复杂化;而由相转变产生的黑斑缺陷与阳极氧化过程中的电化学工艺有关。 展开更多
关键词 铝硅合金 阳极氧化 富铁相 相变反应
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富水粉细砂层盾构接收端头补充注浆加固技术研究及实践
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作者 孙思施 李乔斌 +1 位作者 钟久安 臧鹏 《钻探工程》 2024年第5期163-168,共6页
华北平原某地铁区间风井盾构接收端头所处地层从上到下主要为粉质粘土、粘质粉土、粉细砂,且地下水位高,流动性强。接收端头经高压旋喷注浆加固后水平探孔发现仍然存在涌水涌砂风险,盾构机刀盘在破除洞门时极易发生洞门间隙处涌水涌砂... 华北平原某地铁区间风井盾构接收端头所处地层从上到下主要为粉质粘土、粘质粉土、粉细砂,且地下水位高,流动性强。接收端头经高压旋喷注浆加固后水平探孔发现仍然存在涌水涌砂风险,盾构机刀盘在破除洞门时极易发生洞门间隙处涌水涌砂。为保证盾构机顺利贯通出洞,采取地表袖阀管注浆的方式,采用GX改性硅灌浆料固结粉细砂,对区间风井接收端头富水粉细砂地层进行针对性的补强注浆加固。经过处理后盾构顺利出洞,未发生涌水涌砂。 展开更多
关键词 地铁盾构 接收端头 袖阀管注浆 GX改性硅灌浆料 补强加固 富水粉细砂层
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单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因 被引量:1
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作者 杜大艳 袁有录 +2 位作者 焦文艺 黄梦元 李运杨 《腐蚀与防护》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期107-112,共6页
通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时... 通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时间的延长逐渐累积,从而造成管道的腐蚀。通过吸附剂吸附、去离子水吸收以及优化管道的材质和壁厚解决了管道腐蚀问题。 展开更多
关键词 单晶硅拉晶炉 富氩尾气 管道腐蚀 润滑油
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铁尾矿粉的活性及在混凝土中的增强效应 被引量:32
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作者 陈梦义 李北星 +1 位作者 王威 朱志刚 《金属矿山》 CAS 北大核心 2013年第5期164-168,共5页
进行了掺磨细铁尾矿粉的水泥标准胶砂试验,引入活性指标、强度贡献值、强度贡献率等概念对富硅铁尾矿粉在不同养护条件下的活性及在混凝土中的增强效应进行了表征。结果表明:铁尾矿粉比表面积的增加对铁尾矿活性影响较小,而养护条件对... 进行了掺磨细铁尾矿粉的水泥标准胶砂试验,引入活性指标、强度贡献值、强度贡献率等概念对富硅铁尾矿粉在不同养护条件下的活性及在混凝土中的增强效应进行了表征。结果表明:铁尾矿粉比表面积的增加对铁尾矿活性影响较小,而养护条件对其活性影响显著;铁尾矿粉在标准养护、90℃热水养护及200℃高温养护下基本不具备火山灰活性,对混凝土的增强效应以微集料填充效应为主;蒸压养护条件下具备明显的反应活性,对混凝土的增强效应显著,比表面积为751 m2/kg、掺量为20%的铁尾矿粉3、28、56 d的强度贡献率分别达到23.5%、27.3%、30.9%;铁尾矿粉的比表面积根据构件养护条件的不同以500~750 m2/kg为宜,对水泥的替代量以20%为佳。 展开更多
关键词 富硅铁尾矿粉 反应活性 养护条件 增强效应
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氢流量对富硅-氮化硅薄膜键结构及光学性质的影响 被引量:4
15
作者 乌仁图雅 周炳卿 +2 位作者 张林睿 高爱明 张娜 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3449-3454,共6页
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和H_2为反应气体,通过改变氢流量来制备富硅-氮化硅薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱、紫外-可见光透射光谱、X射线衍射谱和光致发光谱对薄膜的结构与性质进行表征。实验发现,适当地增加H... 采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和H_2为反应气体,通过改变氢流量来制备富硅-氮化硅薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱、紫外-可见光透射光谱、X射线衍射谱和光致发光谱对薄膜的结构与性质进行表征。实验发现,适当地增加H2流量,可以提高反应过程中H离子与Si、N悬挂键的键合几率,从而起到钝化薄膜悬键的作用。当H_2流量从10 sccm变化到20 sccm时,H主要起到钝化薄膜悬挂键作用,因而缺陷态减少,缺陷态发光减弱,薄膜的光学带隙缓慢展宽。继续增加H_2流量,薄膜中的氮原子持续增加,伴随着缺陷态再次增多,辐射加强,并导致光学带隙迅速展宽。当H_2流量达到30 sccm时,薄膜中的氮化硅晶粒增大,数目增多,缺陷态发光消失,出现了氮化硅中由非晶硅量子点团簇引起的发光现象,说明薄膜中出现了非晶硅量子点团簇。因此,适量的增加氢流量能够对薄膜起到钝化的作用,并实现从富硅-氮化硅向Si_3N_4相转变的过程中形成氮化硅基质包埋的非晶硅量子点团簇结构。 展开更多
关键词 等离子增强化学气相沉积 富硅-氮化硅薄膜 非晶硅量子点 光致发光
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氧化硅中纳米晶硅薄膜的低温沉积及其键合特性研究 被引量:2
16
作者 于威 王建涛 +3 位作者 李云 郭少刚 朱海荣 傅广生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1035-1040,共6页
以Ar和H2为溅射气体,采用Si和SiO2双靶活性溅射技术实现了镶嵌纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜的300℃低温生长,并分析了氢气掺入对薄膜微观结构及键合特性的影响。结果表明,氢气流量比的增加导致纳米硅粒子尺寸增加,而生长速率... 以Ar和H2为溅射气体,采用Si和SiO2双靶活性溅射技术实现了镶嵌纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜的300℃低温生长,并分析了氢气掺入对薄膜微观结构及键合特性的影响。结果表明,氢气流量比的增加导致纳米硅粒子尺寸增加,而生长速率逐渐减小。薄膜中Si-O键合结构以Si(O4)键为主,随H2流量比的增加,Si-O4-nSin(n=0,1)键密度减小,Si-O4-nSin(n=2,3)和SiH2键密度持续增加,而所对应Si-H键密度呈现先减小后增加趋势,该结果可解释为等离子体内氢原子对反应前驱物中氧的去除效应增强和氢原子与表面氧的解吸附反应几率的增加。 展开更多
关键词 纳米晶硅 富硅氧化硅 低温沉积 微结构
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富硅软锰矿强磁选-碱浸脱硅工艺 被引量:3
17
作者 冯雅丽 李斌 李浩然 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1175-1181,共7页
对硅锰质量比为3.5:1的富硅软锰矿采用强磁选-碱浸工艺脱硅,通过单因素和正交试验研究强磁选试验中磨矿细度和磁场强度,碱浸试验中反应温度、反应时间、NaOH浓度和液固比对硅脱除率的影响,利用"减缩核模型"研究碱浸过程中反... 对硅锰质量比为3.5:1的富硅软锰矿采用强磁选-碱浸工艺脱硅,通过单因素和正交试验研究强磁选试验中磨矿细度和磁场强度,碱浸试验中反应温度、反应时间、NaOH浓度和液固比对硅脱除率的影响,利用"减缩核模型"研究碱浸过程中反应温度对硅脱除率影响的动力学,并得到相应的动力学方程。研究结果表明:在矿石入选粒度为小于74μm占75%、磁场强度为1273.2kA/m、碱浸反应温度为120℃、反应时间为5.5h、NaOH浓度为16mol/L、液固比(mL/g)为5:1的条件下,得到碱浸渣中硅锰质量比为0.3:1,硅脱除率为81%。碱浸过程受化学反应控制,表观反应活化能为67.77kJ/mol。 展开更多
关键词 富硅软锰矿 磁选 碱浸 脱硅
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钡对共晶铝硅合金组织和性能的影响 被引量:5
18
作者 李伟 盛险峰 +2 位作者 家齐 胡永沙 徐进 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1995年第6期27-29,共3页
用含钡合金对共晶铝硅合金(ZL109)进行变质处理,观察了初的加入量、变质作用时间以及重熔次数等对合金组织和性能的影响。结果表明:钡在一定剂量范围(0.025%~0125%)内对共晶硅有良好的变质作用,同时具有良好的... 用含钡合金对共晶铝硅合金(ZL109)进行变质处理,观察了初的加入量、变质作用时间以及重熔次数等对合金组织和性能的影响。结果表明:钡在一定剂量范围(0.025%~0125%)内对共晶硅有良好的变质作用,同时具有良好的抗变质衰退能力和重熔特性,变质后的合金可获得较高的强度。借助扫描电镜和波谱仪对钡变质共晶硅的空间形貌和钡元素的分布状况进行了观察,并以此讨论钡的变质作用机制。 展开更多
关键词 共晶硅 钡合金 变质处理 组织 性能
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射频功率对富硅-氮化硅薄膜结构及性质影响 被引量:2
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作者 乌仁图雅 周炳卿 +2 位作者 高爱明 部芯芯 丁德松 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2322-2325,共4页
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和N_2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料。利用傅里叶变换红外吸收光谱,紫外-可见光透射光谱,扫描电镜等对薄膜材料结构与性质进行表征。实验表明,随着射频功率的逐渐增... 采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和N_2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料。利用傅里叶变换红外吸收光谱,紫外-可见光透射光谱,扫描电镜等对薄膜材料结构与性质进行表征。实验表明,随着射频功率的逐渐增加,薄膜光学带隙缓慢减小、有序度增加,薄膜材料中的Si-H键、N-H键缓慢减小,Si-N键增多。分析结果发现,适量的增加射频功率有利于提高样品反应速率,使薄膜有序度增加,致密性增强,提高薄膜质量,但过高的射频功率会使薄膜质量变差。 展开更多
关键词 富硅-氮化硅薄膜 等离子增强化学气相沉积 射频功率 沉积速率
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PECVD制备富硅氮化硅薄膜的工艺条件及其性质的研究 被引量:10
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作者 张龙龙 周炳卿 +1 位作者 张林睿 高玉伟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期757-763,共7页
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)以SiH4和N2为反应气体,分别在射频功率、硅烷稀释度[SiH4/N2]、衬底温度为变量的情况下制备了富硅氮化硅薄膜材料,利用X射线衍射谱(XRD)、傅里叶变换红外谱(FTIR)、紫外-可见光吸收谱(UV-Vis)对... 采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)以SiH4和N2为反应气体,分别在射频功率、硅烷稀释度[SiH4/N2]、衬底温度为变量的情况下制备了富硅氮化硅薄膜材料,利用X射线衍射谱(XRD)、傅里叶变换红外谱(FTIR)、紫外-可见光吸收谱(UV-Vis)对薄膜材料进行了表征,并研究了薄膜材料的微结构和晶化状况、光学特性等。实验结果表明,所沉积薄膜都为富硅的非晶氮化硅材料,改变射频功率、硅烷稀释度和衬底温度可以控制氮化硅薄膜中N元素的含量、光学带隙的大小和薄膜的折射率,并制备出最适宜富硅氮化硅薄膜,为进一步退火析出硅量子点奠定了基础。 展开更多
关键词 PECVD 富硅氮化硅薄膜 非晶结构 光学带隙
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