微棱镜阵列型定向反射器特性

介绍了微棱镜阵列型定向反射器的材料折射率对入射孔径角的限制，定向反射率随入射角的变化关系，特别是提出了单元有效反射面积的计算方法，并进行了计算机模拟和实验。

根据信道特性优化OCDMA码片波形

提出一种根据信道特性优化码片波形的方法.该方法将全光信道视为滤波器,用回转椭球函数为基元函数展开表达滤波器的透过率函数,以功率谱密度(PSD)均匀为条件旨在取得最小干扰.采用Lagrange乘子法,求取用回转椭球波函数线性叠加表达的码片最优波形的解析表达.给出了系统模型及推导步骤,用K-L展开讨论其适用范围.

基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统

为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ芯片为核心的信号处理系统。以ZYNQ芯片的片上ARM用作参数设定、驱动控制以及前端显示,以可编程逻辑资源用于实现光谱数据的小波处理和互相关解调。系统以分布并行结构运行,大大提高了测量速度,并实现了对掩模-基片间隙的实时测量。最后为了确定测量精度,搭建了激光干涉仪精度测试平台。测试实验表明,间隙测量的重复测量精度为4.4 nm,位移测量精度为6.7 nm,满足间隙测量性能稳定和精度高等要求。