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基于MEMS技术的集成温湿传感器研制 被引量:1
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作者 方震 武宇 +1 位作者 赵湛 张博军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z3期123-125,共3页
基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法... 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能。 展开更多
关键词 MEMS技术 集成温湿传感器
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海马神经细胞网络传感器及其记录5-HT对网络活动的作用 被引量:2
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作者 胡靓 秦臻 +2 位作者 王琴 李蓉 王平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期947-952,共6页
海马神经网络活动在调节记忆和学习等行为中具有重要作用,而五羟色胺是调节此类行为的重要神经递质。目前,某些研究手段揭示了5-HT对海马神经元活动的作用,但是这些手段并没有直观展示海马神经元网络的电生理活动。因此,为了研究5-HT在... 海马神经网络活动在调节记忆和学习等行为中具有重要作用,而五羟色胺是调节此类行为的重要神经递质。目前,某些研究手段揭示了5-HT对海马神经元活动的作用,但是这些手段并没有直观展示海马神经元网络的电生理活动。因此,为了研究5-HT在体外海马神经元网络活动中的作用,本实验建立了微电极阵列(Microelectrode Array,MEA)的检测平台。利用60通道MEA芯片,可以实时无损地记录5-HT作用前后的多位点信号,实验结果证明5-HT对海马神经元的动作电位有抑制作用,但是对低频振荡没有明显变化。该实验表明,这种海马神经元网络传感器可以对神经元进行无损、长时间的记录。上述研究结果表明,这种新的细胞网络传感器有望成为神经元网络活动研究中的一种重要手段。 展开更多
关键词 生物传感器 海马神经元网络 微电极阵列(MEA) 神经元网络活动 5羟色胺 网络振荡
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新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究 被引量:3
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作者 董林玺 焦继伟 +1 位作者 颜海霞 孙玲玲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1053-1057,共5页
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器... 增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器,通过电磁驱动器,传感器的静态测试电容可以大幅增加,在梳齿电容上刻蚀阻尼槽后,其机械噪声达到0.61μg每根号赫兹,仿真其共振频率为598Hz,静态位移灵敏度为0.7μm每重力加速度,基于硅-玻璃键合工艺,制作了栅形条电容式惯性传感器,并用电磁驱动的方式测试其品质因子达到715,从而验证了制作工艺的可行性和电磁驱动器改变传感器初始静态测试电容的可行性. 展开更多
关键词 电容式加速度计 惯性传感器 高精度 深度粒子反应刻蚀
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现场快速检测大田软海绵酸的传感器与仪器的研究
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作者 邱先鑫 苏凯麒 +4 位作者 田玉兰 邹瞿超 方佳如 李蓉 王平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期633-636,共4页
研究并建立针对大田软海绵酸OA(okadaic acid)快速、有效的酶联免疫吸附试验ELISA(Enzyme-Linked ImmunosorbentAssay)定量检测方法,制备了定量检测试剂盒-生物酶传感器,并研发配套的现场快速检测仪器-仿生电子眼(Bionic e-Eye),实现对O... 研究并建立针对大田软海绵酸OA(okadaic acid)快速、有效的酶联免疫吸附试验ELISA(Enzyme-Linked ImmunosorbentAssay)定量检测方法,制备了定量检测试剂盒-生物酶传感器,并研发配套的现场快速检测仪器-仿生电子眼(Bionic e-Eye),实现对OA的快速检测。对标准样品的参数进行测定,该OA试剂盒的检测限为0.19μg/L,检测范围为0.2μg/L^5μg/L;样品回收率为75%~125%,精密度在±15%以内。将Bionic e-Eye的检测结果和酶标仪及高效液相色谱HPLC(high performance liquid chromatog-raphy)所测数据的结果进行了比较,结果表明,Bionic e-Eye的性能与酶标仪的检测结果一致。此外,该仪器可以直接得出检测结果,不需要人工计算处理,适用于现场的快速检测,将是一种新的现场快速定量检测OA的技术手段。 展开更多
关键词 生物传感器 大田软海绵酸 仿生电子眼 试剂盒 ELISA
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微结构气敏传感器制造工艺的研究
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作者 王利 祁志美 崔大付 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 1998年第3期10-13,共4页
本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术,例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备WO3敏感薄膜。文中还给出WO3薄膜的XRD和SEM表面分析图。对结构和表面形貌进行了分析... 本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术,例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备WO3敏感薄膜。文中还给出WO3薄膜的XRD和SEM表面分析图。对结构和表面形貌进行了分析,并给出传感器的气敏特性曲线。最后对存在的问题进行了简单的讨论。 展开更多
关键词 气敏传感器 微机械 溶胶-凝胶 微结构
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衬底对PECVD法生长氢化纳米硅薄膜的影响 被引量:4
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作者 王权 胡然 +1 位作者 丁建宁 何宇亮 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期267-271,共5页
用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法,在玻璃和单晶Si衬底上分别制备了氢化纳米硅薄膜,对在相同工艺条件下的薄膜进行了对比研究,即用Raman散射谱研究了薄膜的晶粒平均大小和晶态比;用台阶仪测试了薄膜厚度;用X射线衍射谱和原子力显微... 用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法,在玻璃和单晶Si衬底上分别制备了氢化纳米硅薄膜,对在相同工艺条件下的薄膜进行了对比研究,即用Raman散射谱研究了薄膜的晶粒平均大小和晶态比;用台阶仪测试了薄膜厚度;用X射线衍射谱和原子力显微镜对薄膜微结构和形貌进行了对比研究,发现所制备薄膜的微观结构有很大的差异。相同工艺条件下,在玻璃衬底上生长的薄膜,表面粗糙度小于单晶Si衬底上的薄膜,而晶化程度低于单晶Si衬底。掺杂使微结构发生了变化,掺P促进晶化,掺B促进非晶化,对此实验结果给出了定性的分析。 展开更多
关键词 纳米硅薄膜 RAMAN光谱 表面粗糙度 晶态比
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微流控光纤芯片的研究 被引量:2
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作者 苏波 崔大付 +1 位作者 耿照新 陈兴 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第5期8-10,共3页
微流控光纤芯片是一种把光纤植入到芯片中以方便检测的新型生物分析芯片,它利用光纤传输激发光,使激发光斑的直径大大减小,省去了光学会聚装置,缩小了检测系统的体积,提高了检测灵敏度。另外,它具有试剂消耗少、处理速度快、制作成本低... 微流控光纤芯片是一种把光纤植入到芯片中以方便检测的新型生物分析芯片,它利用光纤传输激发光,使激发光斑的直径大大减小,省去了光学会聚装置,缩小了检测系统的体积,提高了检测灵敏度。另外,它具有试剂消耗少、处理速度快、制作成本低、制作方法简单等优点,成为微全分析系统(μ-TAS)研究的热点。结合目前带光纤微流控芯片的发展状况,综述了两种类型芯片的制作方法及其所需材料,介绍了每种芯片的检测原理、结构及分类,分析了每种芯片的优点与不足,并探讨了其发展趋势。 展开更多
关键词 光纤 微流控芯片 聚二甲基硅氧烷 光纤植入
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砷注入碲镉汞光电二极管及其电学特性的等效分析
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作者 李向阳 赵军 +2 位作者 陆慧庆 胡晓宁 方家熊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期176-179,共4页
通过对碲镉汞材料进行As注入以及退火,成功地制备了P-on-N型光伏器件。器件的截止波长为5.5,黑体探测率D(500K,1K,100)可达2.1×10cmHzW通过对器件的变温电流-电压关系的测量,利用等效电路... 通过对碲镉汞材料进行As注入以及退火,成功地制备了P-on-N型光伏器件。器件的截止波长为5.5,黑体探测率D(500K,1K,100)可达2.1×10cmHzW通过对器件的变温电流-电压关系的测量,利用等效电路进行拟合后,我们发现,限制器件优质因子R。A的主要因素是并联电阻。估计此并联电阻可能由表面漏电和体缺陷引起。 展开更多
关键词 碲镉汞光电二极管 砷注入及退火 电流电压特性
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低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构影响的研究 被引量:2
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作者 邓海君 王权 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第2期9-13,共5页
运用低温氧等离子体对化学气相沉积法生长的单层石墨烯进行处理,通过拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪来表征处理前后的变化,重点探讨了低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构的影响。在拉曼光谱中,处理后的石墨烯出现了明显的D峰和D′... 运用低温氧等离子体对化学气相沉积法生长的单层石墨烯进行处理,通过拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪来表征处理前后的变化,重点探讨了低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构的影响。在拉曼光谱中,处理后的石墨烯出现了明显的D峰和D′峰,同时G峰和2D峰也出现了明显的退化,而G峰峰位右移,2D峰峰位左移。通过X射线光电子能谱表征,表明处理后向石墨烯中引入了较多的官能团。利用原子力显微镜研究了处理前后SiO_2/Si基底上石墨烯的表面形貌,发现低温氧等离子体处理后石墨烯表面高度明显增加,同时褶皱减少。 展开更多
关键词 低温氧等离子体 化学气相沉积 石墨烯 拉曼光谱 XPS 原子力显微镜
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一种制备γ-Fe_(2)O_(3)薄膜的新方法
10
作者 祁志美 张耀华 唐红霖 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期393-394,共2页
采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了γ-Fe_2O_3薄膜。该工艺分3步完成:首先利用Fe(NO_3)_3酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备α-Fe_2O_3薄膜,其次α-Fe_2O_3薄膜在氢气流中、3... 采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了γ-Fe_2O_3薄膜。该工艺分3步完成:首先利用Fe(NO_3)_3酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备α-Fe_2O_3薄膜,其次α-Fe_2O_3薄膜在氢气流中、320~350℃之间热处理30min被还原为Fe_3O_4薄膜,最后Fe_3O_4薄膜在空气中250℃左右热处理30min被氧化为γ-Fe_2O_3薄膜。XRD和SEM分析结果表明该γ-Fe_2O_3薄膜呈尖晶石物相和自由取向,晶粒为针形,具有疏松多孔的微结构。 展开更多
关键词 γ-Fe_(2)O_(3) 半导体薄膜技术 氧化物半导体
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