1996年10月15~18日在美国Texas州Austin会议中心举行了由SPIE(光学工程国际协会)主办的关于微机械加工和微型制造(Micromachining and Microfabrication)的国际学术会议。会议代表来自16个国家和地区,约220人。会上发表134篇论文,分4...1996年10月15~18日在美国Texas州Austin会议中心举行了由SPIE(光学工程国际协会)主办的关于微机械加工和微型制造(Micromachining and Microfabrication)的国际学术会议。会议代表来自16个国家和地区,约220人。会上发表134篇论文,分4个专题(分会场):①微机械加工和微型制造工艺技术;②微机械加工的微光刻和计量技术;③微机械加工的器件和元件;④光信号处理的微电子结构和MEMS.本人主要参加了第一个专题的讨论。展开更多
文摘1996年10月15~18日在美国Texas州Austin会议中心举行了由SPIE(光学工程国际协会)主办的关于微机械加工和微型制造(Micromachining and Microfabrication)的国际学术会议。会议代表来自16个国家和地区,约220人。会上发表134篇论文,分4个专题(分会场):①微机械加工和微型制造工艺技术;②微机械加工的微光刻和计量技术;③微机械加工的器件和元件;④光信号处理的微电子结构和MEMS.本人主要参加了第一个专题的讨论。