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激光电离飞行时间质谱法研究Al原子与卤代甲烷气相化学反应 被引量:1
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作者 梁彬勇 宁西京 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1998年第2期109-113,共5页
利用分子束和飞行时间质谱技术研究了激光烧蚀金属Al原子与4种不同的卤代甲烷:CCl4、CF3Cl。CF3Br、CF4的气相反应。由激光电离飞行时间质谱检测的结果表明,Al与CF3Cl反应生成AlCl,而与CF3Br反... 利用分子束和飞行时间质谱技术研究了激光烧蚀金属Al原子与4种不同的卤代甲烷:CCl4、CF3Cl。CF3Br、CF4的气相反应。由激光电离飞行时间质谱检测的结果表明,Al与CF3Cl反应生成AlCl,而与CF3Br反应生成AlBr,与CCl4及CF4反应分别生成AlCl及AlF。可以认为此类反应是一步完成的,反应势垒的主要来源是活性原子与中心C原子的Coulomb引力。 展开更多
关键词 卤代甲烷 飞行时间质谱 铝原子 气相反应
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溶胶-凝胶法制备LiCo_xMn_(2-x)O_4及电化学性能研究 被引量:7
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作者 蔡羽 赵胜利 +1 位作者 文九巴 刘文元 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期38-41,共4页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了颗粒较小(100-300nm)、分布均匀的尖晶石LiCoxMn2-xO4粉体,研究了不同掺杂水平对其结构及电化学性能的影响。结果表明,掺杂少量Co于LiMn2O4中并不改变材料的尖晶石结构;随着Co掺杂量增加,材料结构稳... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了颗粒较小(100-300nm)、分布均匀的尖晶石LiCoxMn2-xO4粉体,研究了不同掺杂水平对其结构及电化学性能的影响。结果表明,掺杂少量Co于LiMn2O4中并不改变材料的尖晶石结构;随着Co掺杂量增加,材料结构稳定性提高,极化降低,首次放电比容量逐渐减小,但充放电循环性能却明显改善;在低温(500℃)条件下退火6h后,LiCoxMn2-xO4粉体的放电比容量稍有增加,但对循环性能影响不大;在电流密度0.1mA/cm^2和截止电压3.5-4.4V时,LiCo0.1Mn1.9O4粉体首次放电比容量达123mAh/g,20次循环后的稳定放电比容量为106mAh/g,具有较好的电化学性能。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(sol-gel)法 LiCoxMn2-xO4粉体 掺杂 电化学性质
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Li_2O-V_2O_5-SiO_2薄膜结构与电化学性能研究 被引量:1
3
作者 蔡羽 赵胜利 +1 位作者 文九巴 刘先年 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1413-1415,1419,共4页
采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法以Li6.16V0.61Si0.39O5.36为靶制备了Li2O-V2O5-SiO2薄膜。由X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、表面轮廓、交流阻抗(ACI)、直流极化(DCP)等方法对薄膜的形貌、结构及电化学性能进行表征... 采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法以Li6.16V0.61Si0.39O5.36为靶制备了Li2O-V2O5-SiO2薄膜。由X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、表面轮廓、交流阻抗(ACI)、直流极化(DCP)等方法对薄膜的形貌、结构及电化学性能进行表征,讨论了Li2O-V2O5-SiO2薄膜电化学性能与其结构的关系。结果表明,该薄膜是一种元针孔和裂缝、厚度均匀、组成致密的非晶态结构;Li2O-V2O5-SiO2薄膜离子电导率与温度符合Arrhenius关系,离子迁移数接近1.0(tion〉99.999%),是一种性能良好的离子导体材料;Li2O-V2O5-SiO2薄膜室温时离子电导率达4.0×10^-7S/cm,而电子电导率仅为10^-11~10^-12S/cm,可作为电解质材料用于全固态薄膜锂电池。 展开更多
关键词 无机非金属材料 Li2O-V2O5-SiO2 脉冲激光沉积 薄膜 结构 电化学性质
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激光烧蚀金属氯化物的发光光谱和飞行时间质谱研究
4
作者 周鸣飞 王朝辉 +1 位作者 施世明 秦启宗 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期286-289,共4页
测定了355nm紫外线光烧蚀AgCl,CuCl和CuCl2产生的等离子体发光光谱顺300~500nm范围内的发光谱线可归属为激光态金属原子的发射线,飞行时间质谱测定表明激光烧蚀产生的正,负离子主要有Ag,Cu,Cu2... 测定了355nm紫外线光烧蚀AgCl,CuCl和CuCl2产生的等离子体发光光谱顺300~500nm范围内的发光谱线可归属为激光态金属原子的发射线,飞行时间质谱测定表明激光烧蚀产生的正,负离子主要有Ag,Cu,Cu2Cl^+,Cu2Cl2^+,Cu3Cl2及Cl,AgCl,AgCl2,Ag2Cl3,CuCl,CuCl2,Cu2Cl3等,对激光烧蚀机理也进行了讨论。 展开更多
关键词 激光烧蚀 金属氯化物 发光光谱 质谱
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紫外脉冲激光烧蚀沉积Ta_2O_5薄膜过程的研究
5
作者 傅正文 周鸣飞 +1 位作者 韩镇辉 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1997年第6期487-491,共5页
对355nm激光烧蚀沉积Ta2O5薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ta2O5产生的正离子有Ta+、O+、TaO+和TaO+2,中性粒子有O、Ta、TaO和TaIO2,并测定了它们的飞行时间(TOF)谱... 对355nm激光烧蚀沉积Ta2O5薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ta2O5产生的正离子有Ta+、O+、TaO+和TaO+2,中性粒子有O、Ta、TaO和TaIO2,并测定了它们的飞行时间(TOF)谱。在不同压强的O2气氛下,由测得的时间分辨发光光谱表明,烧蚀产物在向基片飞行过程在发生了氧化反应。对沉积薄膜的组成分析表明,钽及其氧化物在基片上存在进一步氧化过程。 展开更多
关键词 超大集成电路 脉冲激光沉积 PLD 五氧化二钽薄膜
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激光烧蚀La_2O_3产生的等离子体的发光光谱研究
6
作者 党海军 周鸣飞 秦启宗 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第5期516-521,共6页
用发光光谱法研究了355nm脉冲激光在真空和O_2气氛中烧蚀La_2O_3产生的等离子体的组成和形成过程.对等离子体中La^+离子和LaO的空间和时间分辨发光光谱分析表明,在O_2气氛中LaO有两个生成通道:一是在靶附近的等离子体内直接生成的,另一... 用发光光谱法研究了355nm脉冲激光在真空和O_2气氛中烧蚀La_2O_3产生的等离子体的组成和形成过程.对等离子体中La^+离子和LaO的空间和时间分辨发光光谱分析表明,在O_2气氛中LaO有两个生成通道:一是在靶附近的等离子体内直接生成的,另一是由La,La^+与O_2发生氧化反应而生成的.测定了激光能量密度,离靶表面的距离和O_2压力对产物发光的延迟时间和发光强度的影响.此外,还讨论了激光烧蚀La_2O_3诱导产生等离子体的形成和演化机理. 展开更多
关键词 等离子体 氧化镧 激光烧蚀 镧离子 发光光谱
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细胞色素C的基体辅助激光脱附/电离质谱研究
7
作者 王雪峰 秦启宗 +3 位作者 郑成法 李海洋 马晨生 白吉玲 《量子电子学》 CSCD 1996年第3期220-223,共4页
采用基体辅助激光脱附和电离法,分别以肉桂酸和2;5-二羟基苯甲酸作为基体,在飞行时间质谱中测得细胞色素C的相对分子质量为12780u;并观察到它的多聚体离子。实验结果表明,肉桂酸是比较理想的基体,同时还考察了Na+离... 采用基体辅助激光脱附和电离法,分别以肉桂酸和2;5-二羟基苯甲酸作为基体,在飞行时间质谱中测得细胞色素C的相对分子质量为12780u;并观察到它的多聚体离子。实验结果表明,肉桂酸是比较理想的基体,同时还考察了Na+离子存在对测定结果的影响。 展开更多
关键词 MALDI 飞行时间质谱 细胞色素C
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几种芳香烃的激光电离飞行时间质谱研究
8
作者 王雪峰 王志磷 +3 位作者 秦启宗 李海洋 马晨生 白吉玲 《感光科学与光化学》 CSCD 1995年第2期117-121,共5页
利用一步紫外激光脱附和电离的飞行时间质谱法,测定了几种芳香烃分子:苯并[e]芘、荧蒽、肉桂酸和2,5-二羟基苯甲酸的质谱。实验结果发现,苯并[e]芘发生有效的“软”电离,属于双光子电离过程。而荧蒽需吸收三个光子才能电... 利用一步紫外激光脱附和电离的飞行时间质谱法,测定了几种芳香烃分子:苯并[e]芘、荧蒽、肉桂酸和2,5-二羟基苯甲酸的质谱。实验结果发现,苯并[e]芘发生有效的“软”电离,属于双光子电离过程。而荧蒽需吸收三个光子才能电离。对2,5-二羟基苯甲酸和肉桂酸,在紫外脉冲激发作用下除了自身电离外,还发生了分子离子反应。 展开更多
关键词 芳香烃 激光电离 大气污染 大气监测 质谱分析
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脉冲激光沉积Ta_2O_5薄膜的Al/Ta_2O_5/n-Si结构的C-V和DLTS研究
9
作者 张胜坤 付正文 +3 位作者 柯炼 秦启宗 陆昉 王迅 《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》 1998年第3期364-370,共7页
Ta_2O_5是一种性能优良的绝缘体材料,相对于传统MOS工艺中的SiO_2,Si_3N_4而言,它具有很高的介电常数(ε_(Ta_2O_5)=25,ε_(SiO_2)=4,ε(Si_3N_4)=7),高阻抗,低内应力,及耐高压等优点。因此,它在未来的Si集成电路工艺中具有潜在的应用... Ta_2O_5是一种性能优良的绝缘体材料,相对于传统MOS工艺中的SiO_2,Si_3N_4而言,它具有很高的介电常数(ε_(Ta_2O_5)=25,ε_(SiO_2)=4,ε(Si_3N_4)=7),高阻抗,低内应力,及耐高压等优点。因此,它在未来的Si集成电路工艺中具有潜在的应用前景。迄今为止,人们尝试了用许多方法来制备Ta_2O_5薄膜,其中包括反应性溅射沉积,低压化学气相沉积(LPCVD),等离子体增强化学气相沉积(PECVD),光诱导化学气相沉积等,并对薄膜的结构和电学特性做了大量的研究工作。然而,对脉冲激光沉积的Ta_2O_5薄膜的电学性质的研究还未见报道。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 五氧化二钽 薄膜 电学性质 DLTS
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巨磁阻氧化物Pr_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3的激光烧蚀产物研究
10
作者 党海军 唐永新 +2 位作者 刘先年 秦启宗 熊光成 《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》 1998年第5期627-630,共4页
采用角分辨和时间分辨四极质谱技术研究了巨磁阻氧化物Pr_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3在355nm激光辐照下烧蚀产物的质量,速度和空间角分布,除了金属Pr,Sr和Mn的离子和中性产物之外,还测得它们的一氧化物。上述金属离子具有高平动能达7.4±... 采用角分辨和时间分辨四极质谱技术研究了巨磁阻氧化物Pr_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3在355nm激光辐照下烧蚀产物的质量,速度和空间角分布,除了金属Pr,Sr和Mn的离子和中性产物之外,还测得它们的一氧化物。上述金属离子具有高平动能达7.4±0.5eV。Pr^+,Sr^+和Mn^+离子的角分布很陡,可由cos^nθ函数(n=5或9)拟合。它们的生成机理主要属于非热的光激发和解离过程。 展开更多
关键词 激光烧蚀 时间分辨质谱 巨磁阻氧化物 锰氧化物
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脉冲激光沉积LiMn_2O_4薄膜的研究 被引量:6
11
作者 杨海军 周鸣飞 +2 位作者 秦启宗 蔡润良 吴浩青 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第9期1462-1466,共5页
在氧气氛下采用355nm脉冲激光烧蚀制备了LiMn2O4薄膜,并用四极质谱和发光光谱技术考察了脉冲激光烧蚀过程及环境氧气对薄膜沉积过程的影响.质谱测定结果表明,355nm激光烧蚀LiMn2O4的产物主要有Li+、Mn... 在氧气氛下采用355nm脉冲激光烧蚀制备了LiMn2O4薄膜,并用四极质谱和发光光谱技术考察了脉冲激光烧蚀过程及环境氧气对薄膜沉积过程的影响.质谱测定结果表明,355nm激光烧蚀LiMn2O4的产物主要有Li+、Mn+等离子和O2、O、LiO2、LiMnO、MnO及锂原子的多聚体等中性产物.不同氧气压下测定的发光光谱表明烧蚀原子在环境氧气氛中存在氧化过程.用循环伏安法和X射线衍射法对薄膜进行了表征. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 LIMN2O4 薄膜 烧蚀 锂锰氧化物
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角分辨飞行时间法研究紫外激光烧蚀Ta_2O_5的反应 被引量:4
12
作者 韩镇辉 陆建江 +2 位作者 党海军 戴自国 秦启宗 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第2期140-145,共6页
利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta,Tao和TaO2中性碎片外,在较高激光能量密度时还有O+,Ta+,TaO+,TaO离子碎片。它们的飞行时间(TOF)谱可以用多组分带质心速度的Maxwe... 利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta,Tao和TaO2中性碎片外,在较高激光能量密度时还有O+,Ta+,TaO+,TaO离子碎片。它们的飞行时间(TOF)谱可以用多组分带质心速度的Maxwell-Bolztmaun分布函数较好地拟合,原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关.烧蚀产物中原生离子和中性粒子的角分布可以分别用αcosnθ(n≈26)和αcosθ+bcosnθ(n≈27)函数拟合。此外,对紫外脉冲激光烧触Ta2O5的机理进行了讨论. 展开更多
关键词 激光烧蚀 飞行时间谱 角分布 氧化钽 薄膜
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532nm激光烧蚀金属Ta与CO_2反应产物的基质隔离红外光谱研究
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作者 陈末华 王雪峰 +1 位作者 张鲁凝 秦启宗 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期1619-1621,共3页
nm pulsed laser\|ablated Ta atoms react with carbon dioxide to form products TaCO, OTaCO and O\-2Ta(CO)\-2, which have been isolated in argon matrices and identified by their FTIR spectra and a comparison of the spect... nm pulsed laser\|ablated Ta atoms react with carbon dioxide to form products TaCO, OTaCO and O\-2Ta(CO)\-2, which have been isolated in argon matrices and identified by their FTIR spectra and a comparison of the spectra of O\-\%x\%W(CO)\-\%y\%. Annealing of matrix isolated sample results in the growth of OTaCO and O\-2Ta(CO)\-2, and further 266 nm laser irradiation leads to the increase of OTaCO as well as the formation of O\-2TaCO. 展开更多
关键词 激光烧蚀 配合物 二氧化碳 回收 催化剂 利用
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低温Ar基质中CF_3I激光光氧化反应中间体研究
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作者 陈末华 王雪峰 +2 位作者 余敏 秦启宗 郑企克 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1998年第1期37-42,共6页
研究了10KAr基质中CF3I与O2经266nm脉冲激光辐照的光氧化反应,利用低温基质隔离技术和付里叶变换红外光谱法检测反应过程中产生的中间体有CF3OOI、CF3OO、CF3O和CF3OI。通过量子化学从头算,对C... 研究了10KAr基质中CF3I与O2经266nm脉冲激光辐照的光氧化反应,利用低温基质隔离技术和付里叶变换红外光谱法检测反应过程中产生的中间体有CF3OOI、CF3OO、CF3O和CF3OI。通过量子化学从头算,对CF3OOI的结构和振动频率进行计算,并对观察到的3个吸收峰进行了归属,首次确证CF3OOI为新的中间体。根据CF3OO、CF3OOI、CF3O、CF3OI随光照时间的生长和衰减,提出了CF3I在低温基质中的光氧化机理。 展开更多
关键词 CF3I 激光光氧化 低温基质隔离 光氧化 中间体
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四极质谱法研究激光烧蚀Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)产物的分布
15
作者 唐永新 党海军 +1 位作者 章壮健 秦启宗 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期286-288,共3页
采用空间和时间分辨的四极质谱法研究了355nm脉冲激光烧蚀高Tc超导体Y1Ba2Cu3O7-δ的产物分布.对于同一金属元素(Y、Ba和Cu)的原子和离子,它们的飞行时间(TOF)谱具有比较接近的形状,而对于O原子,则... 采用空间和时间分辨的四极质谱法研究了355nm脉冲激光烧蚀高Tc超导体Y1Ba2Cu3O7-δ的产物分布.对于同一金属元素(Y、Ba和Cu)的原子和离子,它们的飞行时间(TOF)谱具有比较接近的形状,而对于O原子,则有很大的差异.激光能量密度的变化并不影响各产物粒子的平动能. 展开更多
关键词 脉冲激光烧蚀 四极质谱 YBCO 超导体 产物分布
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激光化学气相沉积法制备铜膜的性能与形态分析
16
作者 茅敦民 连志睿 +1 位作者 金忠 秦启宗 《量子电子学》 CSCD 1995年第2期169-173,共5页
本文对以二(乙酸丙酮根)合铜(Ⅱ)和二(三甲基乙酰三氟代丙酮根)合铜(Ⅱ)为母体的化合物,用10.6μm和280nm激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪、扫描电子显微镜和四探针法进行了分析,观察到紫外激光... 本文对以二(乙酸丙酮根)合铜(Ⅱ)和二(三甲基乙酰三氟代丙酮根)合铜(Ⅱ)为母体的化合物,用10.6μm和280nm激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪、扫描电子显微镜和四探针法进行了分析,观察到紫外激光生成铜膜中具有环状周期性图案的现象。 展开更多
关键词 激光 化学气相沉积 铜膜 金属有机化合物
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时间分辨质谱法研究激光烧蚀氯化铜的动力学
17
作者 茅敦民 刘兆详 +1 位作者 李润君 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1996年第2期92-97,共6页
本文采用时间分辨质谱法研究了355nm激光烧蚀氯化铜的动力学.由四极质谱测得各生成产物离子的飞行时间(TOF)谱可用不同形式的Maxwell速度分布公式拟合,由获得主要的烧蚀中性产物为CuCl,CuCl_2,Cu_3Cl_3和Cu_4Cl_2.当激光能量密度增加时... 本文采用时间分辨质谱法研究了355nm激光烧蚀氯化铜的动力学.由四极质谱测得各生成产物离子的飞行时间(TOF)谱可用不同形式的Maxwell速度分布公式拟合,由获得主要的烧蚀中性产物为CuCl,CuCl_2,Cu_3Cl_3和Cu_4Cl_2.当激光能量密度增加时,不同产物相对产率的变化并不相同,表明各产物的生成机理存在差异.此外,还对紫外激光烧蚀机理进行了探讨. 展开更多
关键词 氯化铜 激光烧蚀 质谱 烧蚀机理
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全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5|LiPON|Li的制备及电化学性能 被引量:6
18
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 祝要民 秦启宗 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期91-94,共4页
采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技... 采用紫外脉冲激光沉积(PLD)法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5|LiPON|Li薄膜电池。由扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技术考察了薄膜电池的电化学性能。结果表明,采用PLD方法在O2气氛和N2气氛中分别获得了表面均匀、无针孔、无裂缝、具有非晶态结构的0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜。在电压1.0-4.0V,充放电速率2C时,以厚度100nm的0.3Ag-V2O5薄膜为阴极组装的液态电解质电池循环1000次后稳定容量仍为260mAh/g,表现出良好的循环性能。PLD沉积的Li-PON电解质薄膜具有很好的锂离子导电能力,室温离子电导率为1.6×10^-6S/cm,电子电导率〈10^-14S/cm。在电流密度7μA/cm^2,电压1.0-3.5V条件下全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5│LiPON│Li的循环性能良好,100次循环后的体积比容量达40μAh/(μm.cm^2)。 展开更多
关键词 全固态 薄膜锂电池 0.3Ag-V2O5薄膜 LiPON薄膜 PLD
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离子阱阵列的理论模拟研究 被引量:12
19
作者 罗婵 丁传凡 《分析化学》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第7期989-995,共7页
采用电脑模拟的方法对一种新型的离子阱质量分析器———离子阱阵列进行了电极结构的优化。该离子阱质量分析器为一种多通道质量分析器,可以同时对不同的离子进行储存和质量分析。本实验主要研究了该离子阱质量分析器的性能和电极结构... 采用电脑模拟的方法对一种新型的离子阱质量分析器———离子阱阵列进行了电极结构的优化。该离子阱质量分析器为一种多通道质量分析器,可以同时对不同的离子进行储存和质量分析。本实验主要研究了该离子阱质量分析器的性能和电极结构之间的关系。通过对离子运动轨迹的计算分析,可以得到模拟的离子质谱峰。通过对模拟离子质谱峰的分析,可以区分出使得离子阱性能较优的电极结构。在对模拟质谱峰的分析中,峰形和离子弹出效率都作为性能指标被考虑。有部分模拟的数据与实验结果进行了对比。 展开更多
关键词 质谱 离子阱阵列 模拟 优化
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NiO阳极薄膜制备与电化学性能 被引量:4
20
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 祝要民 秦启宗 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期494-497,共4页
采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了NiO电极薄膜,考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的影响. 结果表明,在600~700 ℃氧化温度下制备的NiO薄膜由颗粒大小为56~81 nm的纳晶组成. NiO薄膜的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大,循环性... 采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了NiO电极薄膜,考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的影响. 结果表明,在600~700 ℃氧化温度下制备的NiO薄膜由颗粒大小为56~81 nm的纳晶组成. NiO薄膜的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大,循环性能却略有降低. 在600 ℃氧化2 h时制得的NiO薄膜具有较高的放电容量和很好的循环性能. 展开更多
关键词 NiO薄膜 真空蒸发 热氧化
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