涤纶膜(PET)表面的氟化处理及其结构的XPS研究

详细描述了用CF4／CH4混合气体等离子体处理涤纶膜（PET）表面的过程。利用X光电子能谱（XPS）研究处理后PET的表面结构、性质以及处理后样品的浸水行为。结果表明，PET经碳氟等离子体处理后，其表面覆盖上一层具有憎水功能的氟化层，氟化层的结构与碳氟混合气体的组成有关；混合气体等离子体在PET表面形成化学组成均匀、交联结构的处理层；纯CF4等离子体的处理结果则以刻蚀作用为主，处理层的化学组成不均匀，含氟基团主要分布在外表面。处理后的样品浸水实验证明了混合气体的处理层更有利于保持憎水特性。