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Al_2O_3膜钝化晶体管的快中子辐照效应
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作者 唐方元 丁大沛 +1 位作者 林理彬 周永 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1989年第1期115-117,共3页
由于Al_2O_3钝化膜具有密度大,对Na^+离子的阻挡能力强,介电常数约为SiO_2的二倍等优点,因此,我们采用直流反应溅射法对3CK和3CG型小功率管进行了Al_2O_3膜的钝化处理,将钝化了的和未钝化的晶体管进行高能电子,快中子辐照.电子辐照结果... 由于Al_2O_3钝化膜具有密度大,对Na^+离子的阻挡能力强,介电常数约为SiO_2的二倍等优点,因此,我们采用直流反应溅射法对3CK和3CG型小功率管进行了Al_2O_3膜的钝化处理,将钝化了的和未钝化的晶体管进行高能电子,快中子辐照.电子辐照结果表明:钝化晶体管比未钝化晶体管抗辐射能力提高了近半个数量级. 展开更多
关键词 晶体管 三氧化二铝 膜 钝化 快中子
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