射频电感性耦合等离子体调谐基片自偏压特性

采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在一定放电参数区域内,调谐基片射频自偏压随调谐电容的变化曲线呈现跳变、双稳、迟滞现象。

新生代农民工体育发展模式研究

运用文献资料、问卷调查等方法,通过对新生代农民工现状调研,发现新生代农民工的体育参与度较低,能够参与体育锻炼人数比例为30.96%,经常参加体育锻炼的比例仅为10.14%。目前,新生代农民工体育的开展主要表现为"政府<企业"和"民间<个人"两种发展模式。

微波电子回旋共振等离子体刻蚀研究

研究了线圈、多极混合磁位形ECR等离子体及刻蚀特性。静电探针测量结果表明，在φ200mm，φ100mm范围内等离子体离子流强径向不均匀性为±21．5％，±5．3％。4英寸片片内刻蚀不均匀性≤±0．5％，0．25μm线宽刻蚀方向性为0．75。并结合等离子体特性及刻蚀机理，对有关结果进行了分析。

新生代农民工体育的发展策略研究

运用问卷调查、访谈等研究方法,评述了新生代农民工体育的发展过程,并调查了新生代农民工的参加体育锻炼情况,分析认为新生代农民工体育的发展策略主要有:1)加强对新生代农民工体育宣传;2)合理的引导新生代农民工的体育锻炼需求;3)丰富新生代农民工体育的内容和形式;4)加强新生代农民工体育场地设施的建设;5)保障新生代农民工参与体育健身的权利。

热电子与热离子共存时的电荷裸露效应

本文采用简晰的平板模型，在局域近似下讨论了热电子、热离子共存时它们对低频交换模的影响。

等离子体高频不稳定性的高阻抗探针测量

采用高阻抗探针，测量了热电子等离子体的高频扰动。扰动频率与外磁场的关系及爆发区域的实验观察表明。

微波电子回旋共振等离子体刻蚀技术

本文介绍各种类型ＥＣＲ等离子体源和工艺研究，以及由此发展形成的几种新型刻蚀技术。

我国农民体育健身工程的现状与发展策略

本文通过文献资料、访谈、问卷调查、逻辑分析和数理统计等研究方法对我国农民体育健身工程的现状进行了调查和分析,在掌握了大量一手资料的基础上,分析了我国目前在实施农民体育健身工程中所面临的困难和问题,并结合实际情况提出了发展策略。

Si_3N_4薄膜的表面微观特性

利用偏心静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度的空间分布；在不同的工艺条件下制备了 Ｓｉ３Ｎ４薄膜；由ＳＴＭ和 Ｔｅｌｙｓｔｅｐ－Ｈｏｂｂｓｏ轮廓仪研究了 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３ Ｎ４薄膜的表面微观特性，分析了沉积温度对ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜表面平整度特性影响的物理机理，结果表明ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的薄膜是一种表面均匀致密的纳米Ｓｉ３ Ｎ４薄膜。

普通高校体育课程内容新体系的构建——课内外一体化体育俱乐部探索

本文通过文献资料、教学实验、问卷调查与比较分析的方法,对当前我国普通高校体育俱乐部教学状况进行了深入的分析。在"以人为本"的体育课程观指导下,以"健康第一"、"终身体育"为基本出发点,从体育教学俱乐部、课外体育活动和运动训练、竞赛几个方面进行了比较、分析、归纳和总结,认为课内外一体化体育俱乐部教学模式是适合高校体育课程改革的一种教学模式,是培养大学生体育锻炼习惯和建立终身体育意识的有效途径,也是今后我国高校体育教学发展的方向。

ECR－PECVD制备Si_3N_4薄膜的特性及其应用的研究

本文利用ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ技术在不同沉积温度下制备了Ｓｉ３Ｎ４薄膜，利用Ｓｉ３Ｎ４薄膜的透射光强度曲线计算了Ｓｉ３Ｎ４薄膜的折射率和膜厚，计算结果与实测值符合较好。结果表明，随着沉积温度的提高，Ｓｉ３Ｎ４薄膜的折射率增大，致密性提高，Ｓｉ３Ｎ４薄膜厚度在６０ｍｍ直径范围内不均匀度小于５％。测定了Ｓｉ３Ｎ４薄膜的显微硬度。利用荧光分光光度计测定了Ｓｉ３Ｎ４薄膜的光致发光效应。初步进行了Ｓｉ３Ｎ４薄膜的超高频大功率晶体管器件中作为钝化膜的应用研究。

脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究

通过测量脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积系统中的基片台悬浮电位,发现了弧源接地方式对基片台悬浮电位与等离子体电位影响很大。当阳极接地时基片台悬浮电位可达-60V,而弧源悬浮时却只有-5V。因此,要获得相似沉积条件的沉积薄膜,弧源接地方式不同,给基片施加偏压也应有所不同。

ECR-PECVD制备Si_3N_4薄膜的光学特性研究

本文研究了ECR－PECVD制备的Si3N4薄膜的光学特性．得到的Si3N4薄膜具有光致发光效应，在280℃沉积制备的Si3N4薄膜的光致发光波长为400nm，具有较好的单色性．测试分析了Si3N4薄膜对可见光、红外光具有较高的透射性能，Si3N4薄膜可作为红外光的增速减反射膜．

竞技能力网络结构特征

以复杂性科学为研究的方法论,着重应用复杂网络具体方法,构建了竞技能力网络结构的理论模型,在此基础上推演了竞技能力网络结构的部分统计学特征。主要结论:应用复杂性科学方法对竞技能力结构及其特征的揭示,拓展了研究视野和研究路径;竞技能力网络结构源于"点",成于"边","点"是构成竞技能力网络结构的基本组分,"边"是竞技能力网络结构演化升级的驱动力,"加点"、"加边"、"减点"、"减边"、"权重"和"点强"是竞技能力网络演化的重要机制;从统计学特征看,竞技能力网络属于无标度网络,具有小世界现象;竞技能力网络结构演化升级过程中,会呈现增长性、异质性、鲁棒性、高聚集性和较短路径等特征。

空气污染对我国粮食安全的冲击——以冬小麦为例

随着中国工业化和城市化进程的迅速推进,煤炭、石油等能源消耗不断增加,空气污染愈加严重,不仅影响居民日常生活、人身健康,且对粮食安全造成了严重的负外部性。在环境外部性理论的基础上,利用2014—2015年99个冬小麦主产区（地级市）的生产及环境数据,通过构建超越对数的冬小麦产量模型,分析空气污染对冬小麦单产的影响。研究发现：空气污染已对我国粮食作物的生产造成巨大威胁,且不同月份南北方空气污染对冬小麦单产影响程度有显著差异。机械动力和地区经济水平对冬小麦单产产生显著的正向影响。基于此,文章提出相应的农业生产和环境政策,以期减少空气污染对粮食生产安全的不利影响。

农民体育健身工程实施效果研究

运用文献资料、访谈、问卷调查和数理统计等研究方法,对我国农民体育健身工程的实施现状进行调查。调查发现,农民体育健身工程都在有计划、有步骤地进行实施,其中部分省、市如北京、江苏等已经提前超额完成任务。结合目前各地农民体育健身工程的实施现状和农民参与体育活动的现状,提出实施农民体育健身工程的发展策略。

纳米碳管对MWPCVD过程增强金刚石形核的影响

利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积 ( MWPCVD)实验装置 ,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜 ( SEM)形貌分析结果显示 ,纳米碳管处理能够促进金刚石形核。对非研磨基体而言 ,这是一种有效的增强金刚石形核的表面预处理方式。

基片位置对MWPCVD制备金刚石薄膜的影响

在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明 ,对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜而言 ,基片位置处于近等离子体球下游区域将有利于改善金刚石薄膜沉积质量。

CVD和PVD超硬涂层的研究进展

综述了金刚石、类金刚石碳、立方氮化硼以及碳－ 氮超硬涂层的一些新的研究进展，并着重对４ 种超硬涂层的制备研究作介绍。

电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究

一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成 ,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节。介绍了电源的结构和关键技术 ,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析 ,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配 。