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超快激光光束整形原理与方法及其在功能性微结构制造中的应用 被引量:13
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作者 丁铠文 王聪 +2 位作者 罗志 梁会勇 段吉安 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期53-66,共14页
随着功能性微结构的制造品质要求不断推向新的极端,超快激光微纳制造迎来了新的挑战,如更高的加工效率、跨尺度加工、选择性加工及可控性加工等。因传统超快激光高斯光束的空间和时间能量分布在加工中的局限性,以单点聚焦扫描为主的加... 随着功能性微结构的制造品质要求不断推向新的极端,超快激光微纳制造迎来了新的挑战,如更高的加工效率、跨尺度加工、选择性加工及可控性加工等。因传统超快激光高斯光束的空间和时间能量分布在加工中的局限性,以单点聚焦扫描为主的加工方法难以满足新的制造精度、效率和跨尺度加工要求。基于此,研究者将目光聚焦到超快激光光束整形的制造方法上。本文从传统超快激光光束的特点及其加工局限性角度出发,分空域光束整形、时域光束整形和时空域协同光束整形,介绍了超快激光光束整形技术的基本原理和主要实现途径;阐述了这些技术在功能性微结构制造方面的典型应用和研究进展;最后,总结和讨论了超快激光光束整形技术应用于功能性微结构制造中存在的问题和发展前景。 展开更多
关键词 激光光学 超快激光 光束整形 功能性微结构 高效制造
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Controllable annulus micro-/nanostructures on copper fabricated by femtosecond laser with spatial doughnut distribution 被引量:6
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作者 Biwei Wu Cong Wang +4 位作者 Zhi Luo Junhui Li Shu Man Kaiwen Ding Ji’an Duan 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第1期100-104,共5页
In this study,we propose an effective method for the fabrication of annulus micro-/nanostructures by a femtosecond laser doughnut beam.Compared with the traditional Bessel annulus beam shaping system,this method great... In this study,we propose an effective method for the fabrication of annulus micro-/nanostructures by a femtosecond laser doughnut beam.Compared with the traditional Bessel annulus beam shaping system,this method greatly compresses the light propagation path.It is theoretically and experimentally demonstrated that the obtained axial section of the peak envelope in the processing area is two waists of the isosceles triangle.By moving the relative position of the sample,annulus microstructures with different diameters on copper sheet could be fabricated.In addition,laser induced periodic surface structures with controllable direction are fabricated by this optical system. 展开更多
关键词 FEMTOSECOND LASER pulse SHAPING doughnut beam LASER induced periodic surface structures
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飞秒激光直写掩模制作硅表面微柱阵列 被引量:3
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作者 田亚湘 张帆 +2 位作者 丁铠文 满姝 吴碧微 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第18期261-266,共6页
提出了一种使用飞秒激光直写掩模加工微柱阵列的方法。利用高重复频率飞秒激光的热氧化效应在硅表面制作出二氧化硅点阵列,然后经氢氧化钾刻蚀得到微柱阵列。相比于传统的制作微柱阵列的方法,使用飞秒激光直写掩模制作微柱阵列的方法工... 提出了一种使用飞秒激光直写掩模加工微柱阵列的方法。利用高重复频率飞秒激光的热氧化效应在硅表面制作出二氧化硅点阵列,然后经氢氧化钾刻蚀得到微柱阵列。相比于传统的制作微柱阵列的方法,使用飞秒激光直写掩模制作微柱阵列的方法工艺简单,成本更低。此外,探究了激光功率、曝光时间和氢氟酸蚀刻对掩模尺寸的影响。这种微柱阵列在减反、传感等领域具有很好的应用价值。 展开更多
关键词 超快光学 热氧化效应 微柱阵列 氢氧化钾 掩模
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Fabrication of microholes array on titanium foil by a femtosecond laser and a surface's wettability switching 被引量:3
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作者 Cong Wang Bo Liu +2 位作者 Zhi Luo Kaiwen Ding Ji’an Duan 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第8期79-83,共5页
In this study, an effective method is proposed for controlling a titanium foil surface's wettability. A microholes array series is fabricated on the surface of titanium foil by a femtosecond laser under different ... In this study, an effective method is proposed for controlling a titanium foil surface's wettability. A microholes array series is fabricated on the surface of titanium foil by a femtosecond laser under different laser energy and pulse number. The changes of the titanium surface's morphology are characterized. When placed in a darkroom with high-temperature treatment and immersed in alcohol under UV irradiation, respectively, the femtosecond laser treated surfaces display switchable wettability. It is demonstrated that the changing between Ti-OH and Ti-O prompts the transformation between superhydrophilic and superhydrophobic. Compared with existing reports, the switchable wetting cycle is shortened to 1.5 h. The functional surfaces with switchable wettability have potential applications in oil–water separation and water mist collection. 展开更多
关键词 femtosecond laser titanium foil microholes array switchable wettability
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