数字示波器宽带探头系统的校准研究

微波射频芯片进行时域测量时,数字示波器的宽带探头是测试芯片的一个关键子系统,为准确测量芯片,必须要清楚示波器探头系统的传输性能。为此,设计了一种包含接地共面波导的数字示波器宽带探头校准系统,依据校准系统的信号传输特性,用反卷积求出数字示波器宽带探头系统的频率响应,并计算其带宽,以实现对该探头系统的校准。之后用该方法对Keysight Infiniimax高频差分有源探头系统进行了校准,得到其带宽数值约为12 GHz与标称带宽12 GHz相符,表明设计的校准系统合理可行。

宽带接地共面波导的时域测量方法研究

宽带接地共面波导是校准示波器宽带探头的核心器件。为了准确测量示波器探头的带宽指标,获得宽带接地共面波导传输特性成为实现高精度校准的关键。运用时域自动网络分析仪的测量原理,基于飞秒激光激励皮秒电脉冲技术,采用二次测量法,构建了接地共面波导二次时域测量系统,通过两次测量的方式解算出宽带接地共面波导的冲激响应,从而得到频域带宽指标。以阵列通孔结构仿真设计接地共面波导,采用二次测量法测量加工样品,3 dB带宽达54.2 GHz,与仿真结果相比具有较好的一致性。定标后的宽带接地共面波导可以作为标准器件,用于示波器宽带探头的校准,其测量结果可有效溯源至脉冲波形参数国家基准。