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VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究
1
作者
艾家辛
万洪平
+1 位作者
钱俊兵
韦华
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第5期781-791,共11页
磷化铟(InP)是一种重要的化合物半导体,在通信、航空航天和人工智能等领域具有广泛的应用。InP单晶生长质量的优劣取决于其生长炉内热场的稳定与温控。InP晶体工业生产中广泛采用的垂直梯度凝固(VGF)法是在磷化铟单晶生长炉中构建高温...
磷化铟(InP)是一种重要的化合物半导体,在通信、航空航天和人工智能等领域具有广泛的应用。InP单晶生长质量的优劣取决于其生长炉内热场的稳定与温控。InP晶体工业生产中广泛采用的垂直梯度凝固(VGF)法是在磷化铟单晶生长炉中构建高温、封闭、稳定及可控的热场,但因炉内缺乏直接观测和完整的参数监测手段,利用计算机数值仿真对炉内晶体生长的温度场进行科学分析,以获取最佳的生长温控条件,俨然成为有效且重要的方法。本文基于ANSYS有限元软件及炉内元件实测参数,建立了InP单晶生长系统热场三维物理和数学模型,基于磷化铟单晶生长过程中的温度离散数据,对所建模型对比和验证,获得了与实际生产温度数据吻合良好的效果(温度偏差控制在3%以内),验证了所建模型的有效性。基于此模型,本文对生产条件下四段加热器温度波动对热场分布影响进行了探讨,并对炉内四段加热器的温度波动对炉内低温区、高温区及料管中心温度影响规律进行了研究,所得结论对揭示工业生产过程中InP单晶炉热场的分布规律及调节方法具有一定的指导意义。
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关键词
磷化铟单晶
垂直梯度凝固法
热场
数值模拟
半导体
晶体生长
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职称材料
搞活大中型企业的问题及对策
2
作者
万洪平
《冶金经济与管理》
1990年第4期15-17,共3页
当前,大中型冶金企业在面临国家紧缩银根、市场销售不景气的严峻形势下,企业在复杂多变的外部环境影响下,能否具有自主经营、自负盈亏、自我发展、自我约束的能力,这是检验大中型冶金企业是否真正具有活力的客观标准.现以四川乐山冶金...
当前,大中型冶金企业在面临国家紧缩银根、市场销售不景气的严峻形势下,企业在复杂多变的外部环境影响下,能否具有自主经营、自负盈亏、自我发展、自我约束的能力,这是检验大中型冶金企业是否真正具有活力的客观标准.现以四川乐山冶金机械轧辊厂(以下简称乐轧厂)为解剖对象,试就搞活大中型冶金企业面临的主要内部问题及其治理对策,谈点笔者肤浅的认识.
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关键词
企业竞争
外部环境影响
内部问题
紧缩银根
冶金机械
资金短缺
基础管理工作
自我发展
四川乐山
废品损失率
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职称材料
有效的管理方法——激励
3
作者
万洪平
《冶金经济与管理》
1989年第5期35-34,共2页
采用不同的激励方式来调动企业职工的积极性,实践已证明其行之有效,笔者认为激励方式主要有:一、民主激励方式要让职工有积极性,必须切实保障职工主人翁地位,实行民主管理,使职工有权参加组织重大事情的决策与建议,对领导者进行监督和质...
采用不同的激励方式来调动企业职工的积极性,实践已证明其行之有效,笔者认为激励方式主要有:一、民主激励方式要让职工有积极性,必须切实保障职工主人翁地位,实行民主管理,使职工有权参加组织重大事情的决策与建议,对领导者进行监督和质询,维护职工的合法权益,以调动职工的积极性.职工参与民主管理的主要方式是通过职工代表大会制度,因此要充分发挥职代会的职能.
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关键词
主人翁地位
合理化建议
管理方法
示范效应
企业组织
发扬民主
行为激励
社会心理学研究
精神需要
目标激励
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职称材料
搞好合理化建议活动的几点意见
4
作者
万洪平
《冶金管理》
1991年第5期47-47,共1页
目前,全国各行各业都在广泛开展职工提合理化建议的群众性活动。实践证明,这对加强民主管理增强企业职工的主人翁意识,提高其参政议政的能力,密切干群关系,提高经济效益是十分必要的。特别是在今年全国开展“质量品种效益年”活动中,如...
目前,全国各行各业都在广泛开展职工提合理化建议的群众性活动。实践证明,这对加强民主管理增强企业职工的主人翁意识,提高其参政议政的能力,密切干群关系,提高经济效益是十分必要的。特别是在今年全国开展“质量品种效益年”活动中,如何围绕上质量、增品种、降消耗、创效益开展合理化建议活动,更具有重要的现实意义。笔者拟结合当前大中型企业开展合理化建议活动的情况以及存在的问题,谈几点个人的认识或意见,不对之处,请指正。
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关键词
合理化建议活动
群众性活动
上质量
主人翁意识
实践证明
组织机构
目标管理
平均主义分配
管理规章制度
时冷时热
原文传递
题名
VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究
1
作者
艾家辛
万洪平
钱俊兵
韦华
机构
昆明理工大学民航与航空学院
中国广核新能源控股有限公司云南分公司
云南鑫耀半导体材料有限公司
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第5期781-791,共11页
基金
云南省省市一体化专项(202202AH080009)。
文摘
磷化铟(InP)是一种重要的化合物半导体,在通信、航空航天和人工智能等领域具有广泛的应用。InP单晶生长质量的优劣取决于其生长炉内热场的稳定与温控。InP晶体工业生产中广泛采用的垂直梯度凝固(VGF)法是在磷化铟单晶生长炉中构建高温、封闭、稳定及可控的热场,但因炉内缺乏直接观测和完整的参数监测手段,利用计算机数值仿真对炉内晶体生长的温度场进行科学分析,以获取最佳的生长温控条件,俨然成为有效且重要的方法。本文基于ANSYS有限元软件及炉内元件实测参数,建立了InP单晶生长系统热场三维物理和数学模型,基于磷化铟单晶生长过程中的温度离散数据,对所建模型对比和验证,获得了与实际生产温度数据吻合良好的效果(温度偏差控制在3%以内),验证了所建模型的有效性。基于此模型,本文对生产条件下四段加热器温度波动对热场分布影响进行了探讨,并对炉内四段加热器的温度波动对炉内低温区、高温区及料管中心温度影响规律进行了研究,所得结论对揭示工业生产过程中InP单晶炉热场的分布规律及调节方法具有一定的指导意义。
关键词
磷化铟单晶
垂直梯度凝固法
热场
数值模拟
半导体
晶体生长
Keywords
InP single crystal
vertical gradient freeze method
thermal field
numerical simulation
semiconductor
crystal growth
分类号
O782 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
搞活大中型企业的问题及对策
2
作者
万洪平
机构
四川乐山冶金机械轧辊厂
出处
《冶金经济与管理》
1990年第4期15-17,共3页
文摘
当前,大中型冶金企业在面临国家紧缩银根、市场销售不景气的严峻形势下,企业在复杂多变的外部环境影响下,能否具有自主经营、自负盈亏、自我发展、自我约束的能力,这是检验大中型冶金企业是否真正具有活力的客观标准.现以四川乐山冶金机械轧辊厂(以下简称乐轧厂)为解剖对象,试就搞活大中型冶金企业面临的主要内部问题及其治理对策,谈点笔者肤浅的认识.
关键词
企业竞争
外部环境影响
内部问题
紧缩银根
冶金机械
资金短缺
基础管理工作
自我发展
四川乐山
废品损失率
分类号
F407 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
有效的管理方法——激励
3
作者
万洪平
机构
四川乐山冶金机械轧辊厂
出处
《冶金经济与管理》
1989年第5期35-34,共2页
文摘
采用不同的激励方式来调动企业职工的积极性,实践已证明其行之有效,笔者认为激励方式主要有:一、民主激励方式要让职工有积极性,必须切实保障职工主人翁地位,实行民主管理,使职工有权参加组织重大事情的决策与建议,对领导者进行监督和质询,维护职工的合法权益,以调动职工的积极性.职工参与民主管理的主要方式是通过职工代表大会制度,因此要充分发挥职代会的职能.
关键词
主人翁地位
合理化建议
管理方法
示范效应
企业组织
发扬民主
行为激励
社会心理学研究
精神需要
目标激励
分类号
F407 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
搞好合理化建议活动的几点意见
4
作者
万洪平
机构
四川东山冶金机械轧辊厂
出处
《冶金管理》
1991年第5期47-47,共1页
文摘
目前,全国各行各业都在广泛开展职工提合理化建议的群众性活动。实践证明,这对加强民主管理增强企业职工的主人翁意识,提高其参政议政的能力,密切干群关系,提高经济效益是十分必要的。特别是在今年全国开展“质量品种效益年”活动中,如何围绕上质量、增品种、降消耗、创效益开展合理化建议活动,更具有重要的现实意义。笔者拟结合当前大中型企业开展合理化建议活动的情况以及存在的问题,谈几点个人的认识或意见,不对之处,请指正。
关键词
合理化建议活动
群众性活动
上质量
主人翁意识
实践证明
组织机构
目标管理
平均主义分配
管理规章制度
时冷时热
分类号
F407 [经济管理—产业经济]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究
艾家辛
万洪平
钱俊兵
韦华
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
2
搞活大中型企业的问题及对策
万洪平
《冶金经济与管理》
1990
0
下载PDF
职称材料
3
有效的管理方法——激励
万洪平
《冶金经济与管理》
1989
0
下载PDF
职称材料
4
搞好合理化建议活动的几点意见
万洪平
《冶金管理》
1991
0
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