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一种中磁场层状阳极溅射离子泵
被引量:
1
1
作者
刘宝湘
杨萍
+1 位作者
沈志唯
丛力人
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第1期38-40,共3页
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构...
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构,是提高其抽气性能的重要途径。
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关键词
溅射离子泵
抽气设备
阳极电压
科学仪器厂
IONIC
抽气速率
南京工学院
网格式
孔板
比例系数
下载PDF
职称材料
题名
一种中磁场层状阳极溅射离子泵
被引量:
1
1
作者
刘宝湘
杨萍
沈志唯
丛力人
机构
中国科学院科学仪器厂
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第1期38-40,共3页
文摘
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构,是提高其抽气性能的重要途径。
关键词
溅射离子泵
抽气设备
阳极电压
科学仪器厂
IONIC
抽气速率
南京工学院
网格式
孔板
比例系数
分类号
TB7-55 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种中磁场层状阳极溅射离子泵
刘宝湘
杨萍
沈志唯
丛力人
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990
1
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