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一种中磁场层状阳极溅射离子泵 被引量:1
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作者 刘宝湘 杨萍 +1 位作者 沈志唯 丛力人 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期38-40,共3页
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构... 一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构,是提高其抽气性能的重要途径。 展开更多
关键词 溅射离子泵 抽气设备 阳极电压 科学仪器厂 IONIC 抽气速率 南京工学院 网格式 孔板 比例系数
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