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高纯气体中痕量金属杂质的测定
被引量:
7
1
作者
崔仙航
徐学敏
+1 位作者
严性天
郎文卉
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第12期945-951,共7页
本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光...
本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光谱法测定ng·g^(-1)量级的杂质,方法灵敏,简便,对生产及研制工艺将起积极的指导作用.
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关键词
高纯气体
痕量金属
杂质
测定
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职称材料
题名
高纯气体中痕量金属杂质的测定
被引量:
7
1
作者
崔仙航
徐学敏
严性天
郎文卉
机构
中国科学院半导体研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第12期945-951,共7页
基金
国家自然科学基金
文摘
本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光谱法测定ng·g^(-1)量级的杂质,方法灵敏,简便,对生产及研制工艺将起积极的指导作用.
关键词
高纯气体
痕量金属
杂质
测定
Keywords
Determinaton of trace metallic impurites
High-purity gases
Flameless atomic absorption spectrometry
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高纯气体中痕量金属杂质的测定
崔仙航
徐学敏
严性天
郎文卉
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989
7
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