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RF MEMS开关的发展现状
被引量:
6
1
作者
严春早
许高斌
叶刘晓
《微纳电子技术》
CAS
2008年第11期647-653,共7页
RF MEMS开关是其各种组件、系统级应用中最基本的器件之一,具有低损耗、低功耗、线性化好、尺寸小及易集成等特点。对各种开关驱动机制的特点进行了比较,指出具体驱动机制的选取应符合实际应用的需求;在和传统pin开关、FET开关相比较的...
RF MEMS开关是其各种组件、系统级应用中最基本的器件之一,具有低损耗、低功耗、线性化好、尺寸小及易集成等特点。对各种开关驱动机制的特点进行了比较,指出具体驱动机制的选取应符合实际应用的需求;在和传统pin开关、FET开关相比较的基础上,总结了RF MEMS开关的优缺点,概述了其目前的应用领域以及面临的主要问题;最后介绍了目前国内外RFMEMS开关研究状况。通过对国内外一些经典RF MEMS开关范例的简述,展望了RFMEMS开关未来的发展趋势。
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关键词
射频微机电系统
开关
驱动机制
可靠性
发展趋势
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职称材料
题名
RF MEMS开关的发展现状
被引量:
6
1
作者
严春早
许高斌
叶刘晓
机构
合肥工业大学应用物理系
出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第11期647-653,共7页
基金
安徽省高校自然科学重点科研计划项目(2006KJ026A)
文摘
RF MEMS开关是其各种组件、系统级应用中最基本的器件之一,具有低损耗、低功耗、线性化好、尺寸小及易集成等特点。对各种开关驱动机制的特点进行了比较,指出具体驱动机制的选取应符合实际应用的需求;在和传统pin开关、FET开关相比较的基础上,总结了RF MEMS开关的优缺点,概述了其目前的应用领域以及面临的主要问题;最后介绍了目前国内外RFMEMS开关研究状况。通过对国内外一些经典RF MEMS开关范例的简述,展望了RFMEMS开关未来的发展趋势。
关键词
射频微机电系统
开关
驱动机制
可靠性
发展趋势
Keywords
RF MEMS
switch
driving mechanism
reliability
development trend
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TM504 [电气工程—电器]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
RF MEMS开关的发展现状
严春早
许高斌
叶刘晓
《微纳电子技术》
CAS
2008
6
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