沸石转轮系统焖烧风险防控

随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。

芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件，直接影响系统对VOCs的治理效果。本文以中芯国际集成电路制造（上海）有限公司为调查主体，对其有机废气成分进行分析，从分子大小、极性、沸点和吸附质浓度等方面探讨了沸石分子筛的选型要求，研究沸石分子筛的吸附性能。为国内芯片制造业在沸石分子筛选型方面提供方案和建议。

解读排污许可证制度

排污许可证制度,是我国现行环境管理制度的重要一环,是强化事中事后监管的重要举措,同时也是建设项目实施落地后环境监管的重要保证。2016 年 12 月 23 日,环境保护部印发《排污许可证管理暂行规定》(环水体〔2016〕186),至此,在全国范围内开始全面实施排污许可证制度。该项制度已推行三年有余,本文对实施中的一些问题展开了讨论。