用相位偏移干涉法精确测量量块长度

讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量 ,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。

一种平面干涉系统的误差分离技术

给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型，用于分离仪器的系统误差，以提高面形和长度测量的精度。