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题名用相位偏移干涉法精确测量量块长度
被引量:3
- 1
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作者
朱振宇
牛立新
严歆
张富根
任冬梅
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机构
中国航空长城计量测试技术研究所
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出处
《航空计测技术》
2001年第1期20-25,共6页
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文摘
讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。
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关键词
相位偏移干涉技术
量块
小数重合法
检定装置
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Keywords
Phase\|stepping interferometry,Gauge block,Measurement,Decimal coincidence
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分类号
TG812
[金属学及工艺—公差测量技术]
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题名接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析
被引量:2
- 2
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作者
严歆
赵静
王飞
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机构
中国航空长城计量测试技术研究所
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出处
《航空计测技术》
2000年第4期22-25,共4页
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文摘
分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量 ,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。
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关键词
不确定度
量块测量
量块干涉仪
接触定位式激光干涉仪
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Keywords
Uncertainty,Gauge block measurement,Interferometer
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分类号
TG812
[金属学及工艺—公差测量技术]
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题名一种平面干涉系统的误差分离技术
被引量:1
- 3
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作者
严家骅
任冬梅
牛立新
严歆
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机构
长城计量测试技术研究所
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出处
《航空计测技术》
1996年第4期29-31,共3页
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文摘
给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型,用于分离仪器的系统误差,以提高面形和长度测量的精度。
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关键词
平面检测
干涉仪
误差分离
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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