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低阻硅TSV高温工艺中的热力学分析 被引量:7
1
作者 王士伟 严阳阳 +1 位作者 程志强 陈淑芬 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期201-206,共6页
针对低阻硅TSV热力学研究的空白做出了相应的仿真分析.首先介绍了低阻硅TSV转接层的加工工艺,接着基于实验尺寸,在350℃工艺温度下,模拟了低阻硅TSV的涨出高度及应力分布.不同于铜基TSV,低阻硅TSV的涨出区域主要集中在聚合物绝缘层的上... 针对低阻硅TSV热力学研究的空白做出了相应的仿真分析.首先介绍了低阻硅TSV转接层的加工工艺,接着基于实验尺寸,在350℃工艺温度下,模拟了低阻硅TSV的涨出高度及应力分布.不同于铜基TSV,低阻硅TSV的涨出区域主要集中在聚合物绝缘层的上方.为了减小低阻硅TSV的涨出高度及热应力,分别对工艺温度、表面SiO_2厚度、低阻硅TSV的直径、高度、间距和BCB绝缘层厚度进行了变参分析.结果表明,减小BCB绝缘层的厚度及高度以及增加表面SiO_2厚度是抑制低阻硅TSV膨胀高度及减小热应力的有效方法. 展开更多
关键词 三维集成电路 硅通孔 低阻硅 热膨胀
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压电合成射流激励器LEM方法研究 被引量:3
2
作者 严阳阳 周凌峰 +2 位作者 丁英涛 王士伟 苏日娜 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期326-330,共5页
基于线性复合平板理论,将机-电-声等效方法应用于压电合成射流激励器,建立了激励器的集总参数模型(LEM).借助ANSYS软件和Matlab软件提取等效模型的关键参数,并使用Matlab软件对合成射流激励器的LEM模型进行了仿真.仿真结果与实验测试值... 基于线性复合平板理论,将机-电-声等效方法应用于压电合成射流激励器,建立了激励器的集总参数模型(LEM).借助ANSYS软件和Matlab软件提取等效模型的关键参数,并使用Matlab软件对合成射流激励器的LEM模型进行了仿真.仿真结果与实验测试值进行了对比,两者吻合得较好.与传统仿真方法相比,所提出的LEM方法具有操作简单、耗时短、占用资源少和效率高等优点. 展开更多
关键词 压电合成射流 激励器 集总参数模型(LEM) 热线风速仪 频率
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2.5D集成电路中低阻硅通孔的电学性能研究 被引量:2
3
作者 王士伟 刘斌 +2 位作者 卢威 严阳阳 陈淑芬 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期196-200,206,共6页
2.5D集成技术(转接层技术)可以实现不同芯片间的异质集成,基于低阻硅通孔(TSV)的转接层利用了低阻硅的良好导电性,可以代替铜基硅通孔,具有工艺简单、成本低廉的优点.本文对低阻硅通孔进行了电磁学仿真,在1GHz时,回波损耗S_(11)为-24.7... 2.5D集成技术(转接层技术)可以实现不同芯片间的异质集成,基于低阻硅通孔(TSV)的转接层利用了低阻硅的良好导电性,可以代替铜基硅通孔,具有工艺简单、成本低廉的优点.本文对低阻硅通孔进行了电磁学仿真,在1GHz时,回波损耗S_(11)为-24.7dB,插入损耗S_(21)为-0.52dB基本满足传输线的要求.提出了等效电路模型,与电磁仿真结果对比,具有较好的一致性,可以实现在0.1~10GHz带宽内的应用.最后对低阻硅通孔进行了TDT/TDR及眼图仿真,结果表明虽然低阻硅通孔的电阻对压降有较大影响,但是寄生电容的影响相对较小. 展开更多
关键词 三维集成电路 转接层 硅通孔 低阻硅
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面向六部十层电梯的群控算法的研究
4
作者 赵大权 刘桢 +1 位作者 严阳阳 张翔宇 《工业控制计算机》 2023年第11期62-64,67,共4页
在商业大楼和高层写字楼里,基于PLC对电梯进行控制能够实现安全稳定运行。但如何合理调度多部电梯,使得电梯高效运行成为电梯控制研究的热点。基于PLC控制的六部十层电梯系统,研究了电梯的群控算法。首先以模块化方案对单部电梯进行控制... 在商业大楼和高层写字楼里,基于PLC对电梯进行控制能够实现安全稳定运行。但如何合理调度多部电梯,使得电梯高效运行成为电梯控制研究的热点。基于PLC控制的六部十层电梯系统,研究了电梯的群控算法。首先以模块化方案对单部电梯进行控制,在所建立的单部电梯的控制模块基础上,提出了一种基于最短距离的动态响应电梯群控调度算法。通过电梯仿真系统的验证,结果显示该算法可以实现电梯的稳定高效运行,且能够在多种情景模式下高效运行。 展开更多
关键词 电梯群控 最短距离 动态响应
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硅基自屏蔽式MEMS带通滤波器 被引量:3
5
作者 丁英涛 卢威 严阳阳 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期958-963,共6页
基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)加工工艺,并结合耦合系数设计方法,选用终端开路式交指结构,实现了一种应用于C波段的自屏蔽式MEMS带通滤波器.开发了该新型滤... 基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统(micro-electro-mechanical-systems,MEMS)加工工艺,并结合耦合系数设计方法,选用终端开路式交指结构,实现了一种应用于C波段的自屏蔽式MEMS带通滤波器.开发了该新型滤波器工艺加工流程,并基于高阻硅衬底成功实现了滤波器的制造和测试.测试结果表明,所制造的滤波器中心频率为3.96GHz,频率误差为2.6%,通带内插入损耗约4dB,驻波比小于1.2,相对带宽为20.7%,器件整体尺寸为7.0mm×7.8mm×0.8mm,器件质量小于0.1g,具有尺寸小、重量轻、性能高、造价低、可批量生产、易于单片集成等显著优点,适应了微波毫米波电路对于滤波器件小型化、轻质化、集成化发展的应用要求. 展开更多
关键词 MEMS滤波器 微机电系统工艺 C波段 小型化
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高能压电合成射流激励器的实验研究
6
作者 张蕾 严阳阳 +1 位作者 李博 丁英涛 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期981-984,共4页
为有效控制飞行器边界层的流动分离和增强掺混,提出了一种全新的流动控制技术.采用微细加工技术成功地制作了压电合成射流激励器,并对其流场特性进行了测试,得到了激励器的流向和展向射流速度分布规律以及流向速度与频率之间的关系.结... 为有效控制飞行器边界层的流动分离和增强掺混,提出了一种全新的流动控制技术.采用微细加工技术成功地制作了压电合成射流激励器,并对其流场特性进行了测试,得到了激励器的流向和展向射流速度分布规律以及流向速度与频率之间的关系.结合理论分析和数值模拟,验证了实验结果的合理性,对合成射流激励器的优化设计提供了重要参考.从流向速度与频率关系曲线中,获得了Helmholtz频率(fH=425Hz)及压电薄膜的固有频率(fM=850Hz).流向速度分布曲线表明,中心线速度最大值出现在喷口下游. 展开更多
关键词 压电合成射流 激励器 热线 Helmholtz频率
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脉冲无氰电镀在硅基RF-MEMS滤波器中的应用及优化
7
作者 严阳阳 刘斌 +2 位作者 王士伟 卢威 丁英涛 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期68-72,共5页
针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺,基于亚硫酸金盐无氰电镀液,并结合脉冲电镀技术,通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合,实现了所设计的硅基双层自屏蔽式... 针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺,基于亚硫酸金盐无氰电镀液,并结合脉冲电镀技术,通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合,实现了所设计的硅基双层自屏蔽式RF-MEMS带通滤波器制备与测试,也为相关RF-MEMS器件制备提供了工艺指导. 展开更多
关键词 MEMS滤波器 脉冲电镀 亚硫酸金盐 无氰电镀
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基于碳纳米球掩膜工艺的大功率T/R组件散热用金属流道冷板 被引量:1
8
作者 桂进乐 余怀强 +5 位作者 严阳阳 王腾 黄波 田野 蒋创新 汤劲松 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1193-1197,共5页
由于金属流道液冷板仍存在加工工艺复杂、换热性能差等问题,提出了一种基于碳纳米球掩膜工艺的金属流道冷板的加工方法,并据此实现了某型号大功率T/R组件用金属流道冷板的成型.通过数值模拟及实验的方法研究了该金属流道冷板的流动特性... 由于金属流道液冷板仍存在加工工艺复杂、换热性能差等问题,提出了一种基于碳纳米球掩膜工艺的金属流道冷板的加工方法,并据此实现了某型号大功率T/R组件用金属流道冷板的成型.通过数值模拟及实验的方法研究了该金属流道冷板的流动特性和换热性能.当T/R组件热耗为500 W,流量为3.5L/min时,功放器件最高壳温的仿真、实测结果分别为38.7℃和43.7℃.结果表明:所成型的金属流道冷板加工工艺简单、易实现,流动、换热性能好,适应各类大功率电子元器件/组件的散热需求. 展开更多
关键词 碳纳米球 金属流道 液冷 T/R组件 大功率
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Dimension-Controllable and Photo-Responsive Supramolecular Organic Framworks through Cucurbit[8]uril-based Self-Assembly
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作者 Jie Wang You Li +4 位作者 Zi-juan Hai Yang-yang Yan Zan Hua Zhong-kai Wang Guang Yang 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第5期774-782,I0023-I0029,I0012,共17页
Dimension-controllable supramolecular organic frameworks(SOFs)with aggregation-enhanced fluorescence are hierarchically fabricated through the host-guest interactions of cucurbit[8]uril(CB[8])and coumarin-modified tet... Dimension-controllable supramolecular organic frameworks(SOFs)with aggregation-enhanced fluorescence are hierarchically fabricated through the host-guest interactions of cucurbit[8]uril(CB[8])and coumarin-modified tetraphenylethylene derivatives(TPEC).The three-dimensional layered SOFs could be constructed from the further stacking of two-dimensional mono-layered structures via simply regulating the self-assembly conditions including the culturing time and concentration.Upon light irradiation under the wavelength of 365 nm,the photodimerization of coumarin moieties occurred,which resulted in the transformation of the resultant TPECn/CB[8]4n two-dimensional SOFs into robust covalently-connected 2D polymers with molecular thickness.Interestingly,the supramolecular system of TPEC/CB[8]exhibited intriguing multicolor fluorescence emission from yellow to blue in the time range of 0-24 h at 365 nm irradiation,possessing potential applicability for photochromic fluorescence ink. 展开更多
关键词 Supramolecular organic framework Host-guest interaction Dimension-controllability Tunable fluorescence Photo-responsiveness
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