电子束曝光机激光工件台系统研制

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。

电子束曝光系统中精密工件台的测量系统

介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出装置信号处理方法。在此基础上,对研制的电子束曝光系统精密工件台进行了直线性和垂直性实验测试,其测量分辨率达到0.6nm,测量重复性精度达到±0.06μm,测量绝对误差达到0.011μm。结果表明,采用双频激光测量系统可确保工件台系统测量和定位准确性。

电子束曝光机激光工件台测量系统研究

由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法。

电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性。论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标。

电子束曝光机传输片机械手研制

以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位。研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高。介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程。

设备全过程检验监造实践

应用全过程质量管理方法进行设备监造,是保证项目设备尤其是关键设备达到质量和进度要求行之有效的方式。文章以PLTU 1 Jawa Barat 3X330MW电厂项目监造实践为基础,从项目全局出发简要分析了监造策划、组织、实施、监控、收尾的整个流程与方法。

羊配种技术

介绍了羊的生殖特点,分析并阐述了羊配种的时机选择、配种方法、繁殖率改善等技术措施的内容要点,以期为羊的配种提供参考。

如何做好海外项目钢结构的储运管理

钢结构的储运管理在整个项目材料储运管理中占有相当重要的地位,但又极其容易被忽视。对钢结构在交货顺序控制、运输过程的监控及现场接收保管等各个过程环节的控制与管理将对保障项目有序、顺利的实施起着至关重要的作用。如果一个项目的钢结构储运管理状态不是可控的,这将对项目管理将造成巨大的障碍。尤其是在涉外钢结构工程投资大、工期长、涉及主体多等特点,钢结构的储运管理就尤为重要,它将关系到整个工程项目的工程质量、进度、成本是否能够顺利实施的关键因素。

太谷县两年婴儿死因监测结果分析

婴儿死亡率是衡量一个国家和地区儿童状况和社会经济发展状况最重要的指标，特别在发展中国家，婴儿死亡率是制订和评价卫生政策与计划，考核卫生措施效果和反映妇幼保健水平的重要参考依据．为此，我们对本管辖区内1992和1993年两年的婴儿死亡进行了监测，现报告如下：

三级医院产后返岗护士共同养育感知与工作适应性相关性分析

了解某三级医院产后返岗护士共同养育感知与工作适应性的现状,并探讨两者间的关系。方法:采用便利抽样的方法,对某三级医院符合标准的212例产后返岗护士,采用自行设计的一般情况调查表、简易共同养育感知量表(Brief CRS)和返岗适应性问卷,对其开展调研。结果:212例产后返岗护士共同养育感知的总分为(59.88±16.31)分,产后返岗护士工作适应性的总分为(61.41±19.78)分,产后返岗护士共同养育感知与工作适应性相关性两者之间呈正相关(r=0.547,P<0.05)。结论:三级医院护理管理者可通过提高产后返岗护士的共同养育感知,从而提高其工作的适应性。

国际电力工程索赔实践

国际工程索赔在竞争日益激烈的国际市场条件下已经成为承包商能否取得预期经济效益的关键问题之一。介绍了国际工程索赔的基本概念,并以印尼某电力项目索赔实践为基础,分析和总结了国际工程工期和费用索赔的主要内容和计算方式,为今后的国际工程索赔工作提供一定的参考和借鉴。

太谷县农村小儿生长监测效果评价

为探讨小儿生长监测工作在本地实施的可行性和有效性，作者于1993年5月至6月对太谷县小儿生长监测工作进行了调查，经分析认为生长监测有利于提高小儿生长发育水平，降低常见病患病率，提高家庭的自我保健能力。

印尼电力投资项目可融资性结合电价机制浅析

为适应国际市场形势的不断变化和升级,工程承包企业进行业务战略转型、探索投建营模式是企业实现业务结构升级和可持续发展的战略需要。阐述了电力项目购电协议在项目可融资性判断中的重要地位和影响,介绍了印尼传统电力项目和垃圾发电项目购电协议的基本情况、电价结构和支付机制,从而为工程承包企业在向电力项目投资业务转型发展的过程中了解电力项目的收益结构、判断项目未来现金流和可融资性方面提供一定的参考和借鉴。