硅芯清洗工艺的改进

硅芯清洗是为了清除加工过程中形成的沾污,以保证硅芯进入还原炉时的洁净度。通过对沾污的类型以及清洗原理进行分析探讨,并采取相应的工艺改进措施;达到节约费用,减少排放,改善清洗质量的目的。