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触针式光电三维微位移测量系统设计及标定
被引量:
9
1
作者
于唤唤
张宏伟
+1 位作者
张晓杰
刘敏
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012年第7期616-623,共8页
提出了一种触针式微位移测量系统的设计方法。该系统通过悬臂梁探针感知微位移变化,通过光学方法对微位移进行放大,并根据微位移测量系统的光路建立了该系统的数学模型,并对数学模型中的系统参数的标定方法进行了分析。完成了微位移测...
提出了一种触针式微位移测量系统的设计方法。该系统通过悬臂梁探针感知微位移变化,通过光学方法对微位移进行放大,并根据微位移测量系统的光路建立了该系统的数学模型,并对数学模型中的系统参数的标定方法进行了分析。完成了微位移测量系统中铍青铜材料低弹性系数的悬臂梁和耐磨探针的设计,最后搭建了系统的实验平台,并在此硬件的基础上完成了参数标定实验和量块及圆柱样件的测量实验,并对圆柱测量数据进行了测头半径补偿,系统测量曲面的精度达到了7 m。实验表明该系统能够很好地应用于微纳测量实验中。
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关键词
微位移测量
悬臂梁
参数标定
半径补偿
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职称材料
题名
触针式光电三维微位移测量系统设计及标定
被引量:
9
1
作者
于唤唤
张宏伟
张晓杰
刘敏
机构
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012年第7期616-623,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(NO.51005165)
天津大学本科实验教学改革资助项目
文摘
提出了一种触针式微位移测量系统的设计方法。该系统通过悬臂梁探针感知微位移变化,通过光学方法对微位移进行放大,并根据微位移测量系统的光路建立了该系统的数学模型,并对数学模型中的系统参数的标定方法进行了分析。完成了微位移测量系统中铍青铜材料低弹性系数的悬臂梁和耐磨探针的设计,最后搭建了系统的实验平台,并在此硬件的基础上完成了参数标定实验和量块及圆柱样件的测量实验,并对圆柱测量数据进行了测头半径补偿,系统测量曲面的精度达到了7 m。实验表明该系统能够很好地应用于微纳测量实验中。
关键词
微位移测量
悬臂梁
参数标定
半径补偿
Keywords
micro-displacement measurement
cantilever
parameters calibration
radius compensation
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
TN99 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
触针式光电三维微位移测量系统设计及标定
于唤唤
张宏伟
张晓杰
刘敏
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012
9
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