基于MEMS工艺W频段高效功率合成器的设计

传统W波段功率合成器因为尺寸大很难与其他平面电路集成,限制了其在小尺寸平台上的应用。为了解决这个问题,开展高效率、小型化功率合成器的研究。提出了一种新型2路波导空间功率合成器结构,基于硅材料,使用MEMS工艺和晶圆键合三维堆叠技术,在硅基上开展多路功率合成,实现W频段高效率、小型化的功率合成。极大提升加工精度,使得整体性能更好、尺寸更小、更易于集成。仿真结果显示,整体结构在90~96 GHz频率范围内,回波损耗低于-22.5 dB,插入损耗优于-0.22 dB,整体功率合成效率优于95%。