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电化学刻蚀多孔硅阵列的形貌研究 被引量:1
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作者 陈婷婷 顾牡 +2 位作者 于怀娜 刘小林 黄世明 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第11期48-52,共5页
采用电化学刻蚀法在P型硅中制备多孔阵列结构。通过实验研究和理论分析,分别讨论硅片电阻率、电流密度、电解液组分对多孔硅形貌的影响。结果表明,在P型硅中电阻率决定了孔洞能否形成;改变电流密度,可以有效调控孔径大小;在电阻率3... 采用电化学刻蚀法在P型硅中制备多孔阵列结构。通过实验研究和理论分析,分别讨论硅片电阻率、电流密度、电解液组分对多孔硅形貌的影响。结果表明,在P型硅中电阻率决定了孔洞能否形成;改变电流密度,可以有效调控孔径大小;在电阻率30~50Ω&#183;cm、电流密度20×10^–3A/cm^2的条件下,可以得到最优化多孔硅结构。通过模板引导法制备了高度有序的多孔硅阵列,孔径2.5μm,周期4μm。在电解液中添加十六烷基三甲基氯化铵(CTAC),反应生成的气泡更容易逸出,有利于改善多孔硅阵列形貌。研究成果为基于硅孔洞填充的像素化X射线闪烁转换屏的研制提供了必要的基础。 展开更多
关键词 电化学刻蚀 多孔硅阵列 形貌 孔径调控 模板引导 X射线转换屏
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Latest advances in soft X-ray spectromicroscopy at SSRF 被引量:4
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作者 张立娟 许子健 +10 位作者 张祥志 于怀娜 邹鹰 郭智 甄香君 曹杰峰 孟祥雨 李俊琴 陈振华 王勇 邰仁忠 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2015年第4期1-11,共11页
The BL08U1 A beamline is established as a sophisticated platform at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF), taking advantage of its high spatial resolution(< 30 nm) and high energy resolving power(>10 000... The BL08U1 A beamline is established as a sophisticated platform at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF), taking advantage of its high spatial resolution(< 30 nm) and high energy resolving power(>10 000),for studying properties of solid, liquid, gas, film and other forms of materials at sub-micron scale. In this paper,we present a review on newly implemented techniques, such as total electron yield(TEY), dual energy contrast imaging, nano-CT, soft X-ray excited optical luminance(SXEOL), and coherent diffraction imaging(CDI)under development. Several research cases in nanomaterials, environmental science and biology are presented to demonstrate capabilities of the beamline. 展开更多
关键词 软X射线 上海同步辐射装置 测试 谱学 高能量分辨率 高空间分辨率 纳米材料 衍射成像
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软X射线激发稳态瞬态发光探测系统研制
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作者 于怀娜 邹鹰 +3 位作者 张招红 孟祥雨 王勇 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期13-19,共7页
在上海同步辐射光源软X射线显微谱学光束线站BL08U1A搭建了软X射线激发稳态瞬态发光探测系统,可探测紫外到近红外波段的光子(200~900 nm),实现了常规软X射线激发发光光谱(X-ray Excited Optical Luminescence,XEOL)和时间分辨XEOL(Time-... 在上海同步辐射光源软X射线显微谱学光束线站BL08U1A搭建了软X射线激发稳态瞬态发光探测系统,可探测紫外到近红外波段的光子(200~900 nm),实现了常规软X射线激发发光光谱(X-ray Excited Optical Luminescence,XEOL)和时间分辨XEOL(Time-resolved XEOL,TRXEOL)光谱探测。通过将光谱仪数据采集程序与该实验站原有的数据采集软件集成,实现了不同X射线能量激发下XEOL和全电子产额谱(Total Electron Yield,TEY)的同时检测。基于该探测平台,获得了CsPbI3亚微米线样品在Cs元素M4,5边的二维XANES-XEOL谱图,并研究了光子晶体对闪烁体光输出的影响。基于TRXEOL探测平台,成功获得了ZnO样品在不同时间窗下的XEOL谱和发光衰减曲线。实验结果表明:BL08U1A实验站具备XEOL和TRXEOL探测能力,为研究材料的发光机制和发光动力学过程提供了很好的技术手段。 展开更多
关键词 XEOL 时间分辨XEOL 同步辐射 软X射线
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光子晶体制备方法对同步辐射闪烁体探测器成像分辨率的影响 被引量:3
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作者 陈媚 于怀娜 +5 位作者 赵俊 王连升 杜国浩 谢红兰 吴衍青 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1-6,共6页
探测效率和空间分辨率是成像探测器的重要性能。采用光子晶体,可提高闪烁体的光提取效率和增加光输出,进而提高基于闪烁体的同步辐射X射线成像探测器的探测效率并缩短成像时间。探究光子晶体对于成像探测器分辨率的影响具有重要应用意... 探测效率和空间分辨率是成像探测器的重要性能。采用光子晶体,可提高闪烁体的光提取效率和增加光输出,进而提高基于闪烁体的同步辐射X射线成像探测器的探测效率并缩短成像时间。探究光子晶体对于成像探测器分辨率的影响具有重要应用意义。在闪烁体上添加三种典型的光子晶体,在上海光源BL13W1线站进行探测器有无光子晶体的成像实验,对比分辨率靶成像效果以及衬度比的量化结果,得到影响分辨率的因素。结果表明,均匀有序、三角构型的光子晶体具有最佳的成像效果,对于光子晶体在成像探测器领域的应用研究具有指导意义。 展开更多
关键词 光子晶体 闪烁体 同步辐射成像 探测器 空间分辨率
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软X射线光子关联谱装置设计
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作者 屈斯诗 郭智 +3 位作者 邰仁忠 张祥志 刘海岗 于怀娜 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期11-18,共8页
X射线光子关联谱技术(X-ray Photon Correlation Spectroscopy,XPCS)是一种利用相干X光散射的二次相干,研究凝聚态物质在小尺度范围弛豫动力学的新技术,对入射光的相干性有较高要求。上海同步辐射光源BL08U干涉光刻分支线站(X-ray Inter... X射线光子关联谱技术(X-ray Photon Correlation Spectroscopy,XPCS)是一种利用相干X光散射的二次相干,研究凝聚态物质在小尺度范围弛豫动力学的新技术,对入射光的相干性有较高要求。上海同步辐射光源BL08U干涉光刻分支线站(X-ray Interference Lithograph,XIL)采用椭圆偏振波荡器作为光源,具有很好的相干性,光子通量高,适合铁电体、磁性材料中介观尺度电极性或磁性微区的动力学研究。由此设计一套基于软X射线的光子关联谱装置,采用软X射线为入射相干光,对二次相干光采集、转换、放大处理之后进行自相关运算。该装置测量的样品周期尺度范围为10~60 nm。该装置的研制设计为更好地分析材料动力学信息提供了一种技术途径,是硬X射线的有效补充。 展开更多
关键词 软X射线 光子关联谱 强度关联 动力学
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Improving FRET efficiency measurement in confocal microscopy imaging
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作者 于怀娜 陈同生 屈军乐 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期947-949,共3页
Spectral bleedthrough (SBT) ratio is dependent on the level of fluorescence intensity in confocal imaging. Precision Frster resonance energy transfer (FRET) algorithm corrects SBT ratio according to fluorescence i... Spectral bleedthrough (SBT) ratio is dependent on the level of fluorescence intensity in confocal imaging. Precision Frster resonance energy transfer (FRET) algorithm corrects SBT ratio according to fluorescence intensity and avoids over-or under-estimation of SBT ratio. In this letter, we propose a new method to accurately measure the FRET efficiency of FRET plasmid in single living cells by combining the calculation of SBT in precision FRET algorithm with E-FRET formulae. We also use this method to measure the FRET efficiency of FRET-Bid, and find that in healthy A549 cells it is about 15%, which is verified by FRET acceptor photobleaching method. 展开更多
关键词 Confocal microscopy Energy transfer Photobleaching
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