电子半导体厂房制程排气系统附着液问题分析

针对制程排气[1]附着液出现的各种问题,为保证工艺机台正常运行不受其影响而进行分析。附着液问题主要包括化学品附着液腐蚀、酸碱处理设备药液腐蚀、风管外壁冷凝液等。以上问题成因,解决措施为今后半导体工程制程排气建造具有指导意义。

用双手托起美好明天

在2013年第9期杂志上，我们刊登了关于“小学生环境保护”征文大赛的通知，如今我们已经收到了同学们的大量投稿，编辑部非常感谢同学们的参与和支持，希望你们再接再厉，向我们投来你最好的作品。在接下来的几期杂志中，我们将选登投稿的优秀作品，与同学们共同学习和进步!