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题名沉积温度对Ni辅助合成石墨烯质量的影响
被引量:2
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作者
于成磊
王伟
段赛赛
于龙宇
刘孟杰
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机构
河北工业大学电子信息工程学院
天津市电子材料与器件重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第7期553-557,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61774054)
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文摘
研究了不同沉积温度下借助牺牲层Ni合成石墨烯的质量。在氧化铟锡(ITO)玻璃表面先后蒸镀了厚度分别为120 nm的Ta2O5和50 nm的图形化Ni,采用低温(500,600和700℃)下的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在Ni和绝缘层Ta2O5的界面处获得了大面积的图形化石墨烯薄膜。去除Ni后,将图形化的石墨烯保留在绝缘衬底上,采用原子力显微镜(AFM)和喇曼光谱对3种不同沉积温度下合成的石墨烯薄膜的表面形貌和质量进行了表征,研究了沉积温度对Ni辅助合成石墨烯表面形貌和导电性能的影响。结果表明,借助图形化牺牲层Ni能够在绝缘衬底Ta2O5上直接合成图形化的石墨烯,沉积温度对石墨烯的表面形貌和质量有很大影响,沉积温度在600℃时,制备的石墨烯具有较高的质量和良好的导电性能。
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关键词
石墨烯
沉积温度
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
牺牲层Ni
图形化
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Keywords
graphene
deposition temperature
plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)
sacrificial layer Ni
patterned
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分类号
TQ127.11
[化学工程—无机化工]
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题名注水井深部调剖技术在张渠二区适应性浅析
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作者
马相阳
于成磊
海维晶
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机构
中石油长庆油田公司第一采油厂
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出处
《中国石油和化工标准与质量》
2014年第8期164-164,共1页
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文摘
张渠二区长2底水油藏具有高水饱,储层非均质性强,底水发育的特点,在长期的注水开发过程中,由于油藏的地质特征、储层的各项物性参数和油水界面都在发生变化,平面和剖面上的矛盾日益突出,水驱油效率变差,油井含水大幅度上升等问题大大降低了开发效果。为扩大水波及体积,提高区块开发效果,针对张渠二区地质特征,在该区块开展了注水井深部调剖试验。措施后对其效果进行跟踪分析,综合地质条件和开发动态对调剖效果进行归纳总结,认为该措施对取得了良好的成效。
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关键词
非均质
底水
注水井水驱油效率深部调剖
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分类号
TE357.6
[石油与天然气工程—油气田开发工程]
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