等离子体技术净化CF_4及其生成物机理的探讨

讨论了利用等离子体技术净化CF4 及其生成物的方法 ,分析了净化机理。由四极质谱仪的分析结果发现 ,CF4 等生成物的谱峰强度随射频 (RF)功率的增加几乎线性地减小。RF功率达到 1.8kW时 ,已检测不到CF4 及其生产物对应的各个谱峰。在净化装置中放置CaO作为吸附剂 ,在室温下CaO对F有明显的净化作用。

掺杂对SnO_2超微粒薄膜湿敏特性的影响

本文对ＳｎＯ２和掺有３％Ｂｉ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品，其结果并不一样。ＳｎＯ２膜的感湿特性差，而掺杂的ＳｎＯ２膜具有较好的感湿特性，而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。实验结果表明，只要在ＳｎＯ２中加入少量的Ｂｉ２Ｏ３，就能制成在常温下具有较好线性和稳定性的薄膜湿敏元件。

气敏酞菁锌薄膜透射光谱特性

采用真空升华方法制备了酞菁锌（ＺｎＰｃ）薄膜，并分别测量薄膜在不同浓度的乙醇和ＮＨ３气体中的透射光谱。结果发现，波长为３５０ｎｍ时有强的吸收峰，波长为４６０ｎｍ时光透射率最大；薄膜在乙醇气体中的透射率随浓度的增加而下降；ＮＨ３浓度的变化对薄膜的光透射率基本无影响。这说明Ｚｎ－Ｐｃ薄膜有良好的气敏光谱特性。

酞菁锌薄膜气敏透射光谱研究

研究了用真空升华方法制备的酞菁锌(ZnPc)薄膜在不同浓度的酒精和氨气中的透射光谱以及处理温度对光透射率的影响．结果发现,ZnPc薄膜对氨不敏感,但对酒精很敏感,而且光透射率随气体浓度增加而下降．在大气中退火处理的薄膜,其透射率随酒精浓度的增加而显著下降,特别是在330℃处理1 h后、波长为470 nm时,在体积分数为0%～15%的气体中薄膜透射率变化的绝对值达30%．

酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究

用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性能 ,而使膜片对NH3 的响应变差。

掺杂的SnO_2超微粒膜感湿特性的研究

介绍掺有３％Ｂｉ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒膜的感湿特性。这种薄膜材料的阻湿特性曲线具有较好的线性，湿滞回差小，并有较好的重复性和长期稳定性．

原子层沉积技术及应用发展概况

首先回顾了原子层沉积(ALD)发展历史,介绍了ALD的基本工艺和ALD薄膜具有的优良特性,并与传统的薄膜制备工艺进行了对比研究.重点阐述了ALD在微电子技术、微电子机械系统以及光学工程中的几个应用研究现状.分析了ALD目前存在的问题,并对ALD未来的发展进行了展望.

汽车前挡风玻璃用ITO薄膜的隔热及节能实验研究

通过两个隔热实验和一个节能实验 ,深入分析了 ITO薄膜用于汽车前挡风玻璃的可能性。结果表明 :ITO薄膜可以应用于汽车前挡风玻璃 ,既能保证超过 73%的可见光透过率 ,又能在炎热的夏季降低驾驶室的温度约 5℃ (上午 )或 2 .5℃ (中午 ) ,节约能耗达 34 %。

实时光学薄膜膜厚监控系统研究

在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。

十二指肠损伤48例诊治的分析

作者20年来共收治48例十二指肠损伤，其中开放性损伤14例，闭合性损伤34例。手术后并发症发生率为28％，死亡率为10．4％。作者强调重视术前辅助检查,减少漏诊。掌握好探查指征，合理选择术式以进一步降低并发症及死亡率。

等离子体刻蚀的数学模型

介绍了等离子体刻蚀中的三种主要的数学模型 ,即 :物理模型、反应表面模型、神经网络模型。简要地叙述了它们的原理和优缺点。

质点网格法电感耦合等离子体数学模型

建立了一个研究电感耦合等离子体源 (ICPS)特性的数学模型 ,叙述了质点网格 (PIC)法的原理。给出了PIC法的计算方法 ,指出PIC法必须与蒙特卡罗碰撞 (MCC)模型和鞘层模型相结合 ,才能更准确地对ICPS进行模拟。文中讨论了不同参数 (天线的位置和匝数 ,反应室高宽比等 )对等离子体密度分布和电场强度分布的影响。根据模拟的结果 ,提出了改善等离子体均匀性的方法 ,这对高密度平面等离子体源的设计具有重要意义。

冰柜门玻璃用低辐射薄膜的防结露性能的理论和实验研究

通过模拟二个无限大平行平面之间的热交换方式 ,深入研究了可视冰柜单层门玻璃内外表面之间的热交换过程。分析了低辐射薄膜防止可视冰柜门玻璃表面结露的性能并进行了实验研究。提出了低辐射薄膜的置向原则和其发射率的适宜取值范围。

高密度等离子体源的新发展

介绍了几种高密度等离子体源，重点叙述了新近出现的电感耦合等离子体源ＩＣＰＳ。说明了ＩＣＰＳ的基本原理、结构特点、电磁场分布的数学模型等。还简单介绍了其应用前景和目前存在的问题。

基于宽光谱扫描法的光学膜厚监控系统的研究

简要介绍了光学滤光片的制造与使用状况,讨论了获得高质量的光学滤光片的条件,简单分析常用方法中光电极值法的固有缺陷,提出一种基于宽光谱扫描法的膜厚控制系统,重点介绍其监控原理、硬件系统及其控制流程,并对其性能进行分析和讨论。

MVIS型血液流变仪定量进样针及控制电路改进

目的:改进电阻抗血液流变仪定量进样的精确度和重复性。方法:对早期生产的MVIS型血液流变仪定量进样控制电路和进样针结构分别进行改进,并对进样量进行参量分析。结果:改进控制电路和进样针后,取样误差明显减小(<±3%),定量进样准确。结论:确保了血液流变仪定量进样的精确度和重复性。

反应室几何结构对电场强度和电子密度分布的影响

建立了电感耦合等离子体源的电磁场模型、电离模型和双极扩散模型，并进行模拟计算。计算结果表明，在天线结构和反应室内径不变的情况下，随着反应室高度的下降，电场强度逐渐升高，电子密度也升高。反应室高度从１２ｃｍ降到５ｃｍ时，峰值电子密度增加６０％。

平面天线结构对电场强度分布的影响

建立电感耦合等离子体源（ＩＣＰＳ）平面天线的电磁场模型，并进行模拟计算。计算结果表明，天线环数较多时，电场强度分布较均匀，基片上离子流密度分布较均匀。若由平面形改为螺旋帽形，能改善电场强度分布，从而改善基片上离子流密度分布的均匀性。还讨论了天线结构对电场强度的影响。

中温电热膜在输油换热系统中的应用

报道了最新研制的中温电热膜的性能特点 ,并给出了中温电热膜在石油管道传输热交换系统中的应用实例。

摩托车后视镜反射率测量系统研究

由系统的测量原理及设计要求研究分析了采用光积分球时影响测量精度的主要因素,研制的摩托车后视镜反射率测量系统测量稳定性可控制在±3％。