纳米级二维激光外差干涉仪的设计

提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。

纳米级二维激光外差干涉仪的设计

纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目，而预先研究的关键技术之一，即激光外差干涉测量仪...

两米光栅—线纹自动测量仪测量不确定度的评定(一)

以不确定度的概念对两米光栅—线纹自动测量仪的测量质量、水平进行了评定，给出了该仪器测量光栅尺和线纹尺的不确定度指标。

两米光栅—线纹自动测量仪(一)

描述了一台能够对长度达1m的线织尺和长度达2m的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉议设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条纹计数原理，对光栅尺和线组尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。

计算机在光栅和线纹检测中的应用

介绍了一个将PC机和8031单片机组成的计算机系统应用于光栅尺、线纹尺检测的实例。