AlN-Mo复合陶瓷的导热性能研究

微波衰减材料广泛的应用在微波电真空器件和微波测量系统。国内大多数将BeO陶瓷基体的渗碳多孔陶瓷作为微波衰减材料,但因其本身具有毒性,所以安全防护很难达到要求。但是AlN无毒,AlN和BeO两种基体的热导率相近,AlN具有好的化学和热稳定性和很高的电阻率等。研究发现将导电颗粒Mo作为微波衰减剂,Mo和AlN具有相近的热膨胀系数和较高的热导率。本文以CaF_2、CaCO_3为烧结助剂,分别采用热压烧结和放电等离子烧结法制备了AlN-Mo复合材料,讨论烧结助剂和Mo含量对该材料热导率的影响。