压力传感器封装中波纹膜片的结构优化

对压力传感器隔离封装中的关键部件——波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片。通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性。最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数。

压力传感器引线键合金线的振动疲劳研究

本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究。首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析,并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进,最后给出了实际的结果,证实了模拟和改进工艺的合理性。