声表面波气体传感器器件的设计

论述了声表面波气体传感器器件的结构设计及设计参数的选择,设计了ST和AT不同切向的石英晶体材料做压电基片材料的3种振荡器,通过电性能参数的测试,比较了3种振荡器的性能优劣。

旋涂法制备声表面波化学传感器膜的研究

声表面波化学传感器因高灵敏、便携而快速等优点被用来检测有毒有害气体。聚合物在声表面波敏感器件表面的旋涂技术是研究的热点。用旋涂法把溶于丙酮的氟硅氧烷聚合物溶液在声表面波器件表面制备成膜。通过网络分析仪,对在基片不同的旋涂区域和不同聚合物粘度对敏感芯片的品质因数和插入损耗的差异的分析、对比,确定环基片中心区为成膜的最佳旋涂区域,聚合物溶液增比粘度小于0.34时对成膜质量影响较小。

氟聚物对有机磷的声表面波检测研究

声表面波传感技术是发展小型、敏感的化学战剂探测的最新技术,其核心问题是覆盖在声表面波化学战剂传感器上的敏感材料。我们在双通道谐振器型信号处理器上涂敷氟聚物作为有机磷气体的敏感材料,通过IR表征确定其特征官能团;设计了检测流程,对有机磷进行了检测。实验表明,我们制作的氟聚物双通道谐振器型传感器基线稳定、灵敏度高、响应快、重现性好。

声表面波技术在舰船防化监测中的应用及进展

快速探测无色而剧毒的化学战剂是化学防护的重要组成部分,声表面波传感技术因体积小、灵敏度高,是近年来毒剂气体探测的一项最新技术。通过对外军在声表面波技术用于舰船化学战剂监测方面的研究及应用的回顾,重点阐述了其工作原理及声表面波振荡器结构、双通道声表面波振荡回路、声表面波阵列和敏感膜材料等关键技术,并对发展趋势进行了展望。