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沸石转轮系统焖烧风险防控
被引量:
11
1
作者
付笃
杨晓春
+1 位作者
严晨圆
陈娟
《科技创新导报》
2016年第31期27-29,31,共4页
随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附...
随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。
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关键词
芯片制造业
沸石转轮
VOC治理
风险防范
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职称材料
集成电路制造行业挥发性有机物(VOCs)减排措施研究
2
作者
付笃
《科技风》
2017年第24期106-107,共2页
研究集成电路制造行业主要的挥发性有机物(VOCs)排放源及VOCs主要成分,并针对VOCs源头、过程控制与末端治理,提出切实有效的减排措施建议,为集成电路生产企业VOCs治理研究提供参考。
关键词
集成电路制造行业
挥发性有机物%VOCs源头控制
生产过程控制
末端治理控制
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职称材料
焚烧法去除VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献
3
作者
王诗蕙
王孟璇
付笃
《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》
2022年第7期138-142,共5页
本文从上海市环境空气质量二氧化氮部分区存在超标的背景出发,结合目前双碳背景,尝试从机理及案例两方面分析焚烧法去除挥发性有机物VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献,列举了典型的汽车及电子行业的实际数据,量化说明焚烧法去除VOC...
本文从上海市环境空气质量二氧化氮部分区存在超标的背景出发,结合目前双碳背景,尝试从机理及案例两方面分析焚烧法去除挥发性有机物VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献,列举了典型的汽车及电子行业的实际数据,量化说明焚烧法去除VOC过程使用天然气的情况、非甲烷总烃去除情况及氮氧化物排放及二氧化碳产生的情况,并对氮氧化物、二氧化碳减排提出建议。
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关键词
挥发性有机物
二氧化碳
焚烧法
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职称材料
题名
沸石转轮系统焖烧风险防控
被引量:
11
1
作者
付笃
杨晓春
严晨圆
陈娟
机构
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
上海达恩贝拉环境科技发展有限公司
出处
《科技创新导报》
2016年第31期27-29,31,共4页
文摘
随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。
关键词
芯片制造业
沸石转轮
VOC治理
风险防范
分类号
X78 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
集成电路制造行业挥发性有机物(VOCs)减排措施研究
2
作者
付笃
机构
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《科技风》
2017年第24期106-107,共2页
文摘
研究集成电路制造行业主要的挥发性有机物(VOCs)排放源及VOCs主要成分,并针对VOCs源头、过程控制与末端治理,提出切实有效的减排措施建议,为集成电路生产企业VOCs治理研究提供参考。
关键词
集成电路制造行业
挥发性有机物%VOCs源头控制
生产过程控制
末端治理控制
分类号
X511.06 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
焚烧法去除VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献
3
作者
王诗蕙
王孟璇
付笃
机构
上海达恩贝拉环境科技发展有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》
2022年第7期138-142,共5页
文摘
本文从上海市环境空气质量二氧化氮部分区存在超标的背景出发,结合目前双碳背景,尝试从机理及案例两方面分析焚烧法去除挥发性有机物VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献,列举了典型的汽车及电子行业的实际数据,量化说明焚烧法去除VOC过程使用天然气的情况、非甲烷总烃去除情况及氮氧化物排放及二氧化碳产生的情况,并对氮氧化物、二氧化碳减排提出建议。
关键词
挥发性有机物
二氧化碳
焚烧法
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
沸石转轮系统焖烧风险防控
付笃
杨晓春
严晨圆
陈娟
《科技创新导报》
2016
11
下载PDF
职称材料
2
集成电路制造行业挥发性有机物(VOCs)减排措施研究
付笃
《科技风》
2017
0
下载PDF
职称材料
3
焚烧法去除VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献
王诗蕙
王孟璇
付笃
《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》
2022
0
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职称材料
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