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沸石转轮系统焖烧风险防控 被引量:11
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作者 付笃 杨晓春 +1 位作者 严晨圆 陈娟 《科技创新导报》 2016年第31期27-29,31,共4页
随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附... 随着VOCs治理的要求日趋严格,适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来越广泛。然而,在实际应用过程中,可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础,从降低VOCs残留、提高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面,为国内芯片制造企业提供加强风险防控的建议。 展开更多
关键词 芯片制造业 沸石转轮 VOC治理 风险防范
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集成电路制造行业挥发性有机物(VOCs)减排措施研究
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作者 付笃 《科技风》 2017年第24期106-107,共2页
研究集成电路制造行业主要的挥发性有机物(VOCs)排放源及VOCs主要成分,并针对VOCs源头、过程控制与末端治理,提出切实有效的减排措施建议,为集成电路生产企业VOCs治理研究提供参考。
关键词 集成电路制造行业 挥发性有机物%VOCs源头控制 生产过程控制 末端治理控制
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焚烧法去除VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献
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作者 王诗蕙 王孟璇 付笃 《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》 2022年第7期138-142,共5页
本文从上海市环境空气质量二氧化氮部分区存在超标的背景出发,结合目前双碳背景,尝试从机理及案例两方面分析焚烧法去除挥发性有机物VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献,列举了典型的汽车及电子行业的实际数据,量化说明焚烧法去除VOC... 本文从上海市环境空气质量二氧化氮部分区存在超标的背景出发,结合目前双碳背景,尝试从机理及案例两方面分析焚烧法去除挥发性有机物VOCs对氮氧化物、二氧化碳排放的贡献,列举了典型的汽车及电子行业的实际数据,量化说明焚烧法去除VOC过程使用天然气的情况、非甲烷总烃去除情况及氮氧化物排放及二氧化碳产生的情况,并对氮氧化物、二氧化碳减排提出建议。 展开更多
关键词 挥发性有机物 二氧化碳 焚烧法
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