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题名临沂物流发展研究
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作者
付锦超
董彬
尉海东
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机构
临沂大学资源环境学院
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出处
《科技视界》
2012年第21期41-42,共2页
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文摘
临沂物流闻名于世,本文从临沂市商贸物流业发展现状入手,分析了临沂物流发展的现状,优势和存在的问题,并重点从临沂的实际情况出发,提出了实现临沂市现代物流大发展的建议,以期对临沂市的现代物流业发展有所裨益,希望能给政府决策和企业发展建设提供一些参考。
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关键词
临沂
物流
现状
优势
问题
建议
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Keywords
Linyi
Logistics
Current situation
Advantage
Problem
Advice
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分类号
F252
[经济管理—国民经济]
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题名基于Petri网的可重入双臂组合设备故障响应策略
被引量:3
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作者
潘春荣
付锦超
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机构
江西理工大学机电工程学院
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出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2019年第12期3235-3246,共12页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51665018)~~
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文摘
在半导体制造中,组合设备出现故障模块是晶圆质量受损的因素之一。考虑到晶圆重入加工工艺更复杂,研究了可重入双臂组合设备并行模块出现一个模块故障后的有效调度问题。建立了相应Petri网模型,描述了具有逗留时间约束和并行模块的双臂组合设备重入加工过程,并分析了系统稳态调度和暂态调度的时间特性,提出了系统稳态调度的有效算法;采用了虚拟晶圆的方式,提出了系统故障前稳态调度过渡至故障后稳态调度的有效运行控制策略,使系统稳态调度能够满足严格逗留时间约束;通过实例验证了该控制策略的可行性,证实了该策略能满足系统故障后的稳态调度,且晶圆损失降至最小。
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关键词
晶圆制造
PETRI网
故障响应
组合设备
重入加工
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Keywords
wafer fabrication
Petri nets
failure response
cluster tools
revisiting processing
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分类号
TP278
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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