基于光切显微镜的表面粗糙度视觉综合测量方法

针对光切显微镜不能综合测量粗糙度的高度参数和间距参数的问题,提出了基于光切显微镜的视觉测量表面粗糙度方法。通过安装在光切显微镜上的工业相机获取表面粗糙度图像,对图像进行预处理来提高图像对比度,采用最大类间方差法融合形态学算法提取表面粗糙度的光带区域。根据光带区域上下边缘轮廓具有相同的峰谷特点,采用Freeman链码算法提取下边缘轮廓特征,结合边缘轮廓特征以最小二乘法拟合中线,建立了评定表面粗糙度的高度参数和间距参数的数学模型。实验结果表明,该方法测量的高度参数与光切显微镜读数最大相对误差为4.81%,同时实现了间距参数的测量,相对误差控制在4.47%,能够综合评定表面粗糙度。