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一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计
1
作者
卢耀文
柏向春
+7 位作者
代建设
吉建丽
黄成功
闫睿
田虎林
魏萌萌
陈俊儒
周青枝
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期531-535,共5页
针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校...
针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。
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关键词
真空计
现场校准
便携式
校准范围
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职称材料
题名
一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计
1
作者
卢耀文
柏向春
代建设
吉建丽
黄成功
闫睿
田虎林
魏萌萌
陈俊儒
周青枝
机构
北京市真空计量检测工程技术研究中心
北京东方计量测试研究所
西安飞机工业(集团)有限责任公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期531-535,共5页
文摘
针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。
关键词
真空计
现场校准
便携式
校准范围
Keywords
Vacuum gauge
On-site calibration
Portability
Calibration range
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计
卢耀文
柏向春
代建设
吉建丽
黄成功
闫睿
田虎林
魏萌萌
陈俊儒
周青枝
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
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