基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀

梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化周期、气体流量等工艺参数,着重研究了刻蚀速率、垂直度、粗糙度、光刻胶选择比、均匀性等直接影响刻蚀形貌的几项因素,得到了宽5.3μm、深50μm的沟槽结构,且垂直度为89.5°,侧壁凸起高度为83.69 nm,而预期目标为垂直度90°±2°,侧壁凸起高度小于120 nm,故结果符合要求。最终将调整好的工艺用于刻蚀SOI片上的梳齿结构,得到了良好的形貌。

基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备

热声传感器随着多孔硅的热致超声发射现象的发现越来越受到关注。热声传感器通过改变器件表面热量而在周围空气中产生交变压力,从而向外发出声波。热声传感器的关键器件是悬空金属薄膜。制备大面积悬空薄膜释放有一定的难度,需要考虑金属薄膜本身的应力与粘附效应。该文提出了两种基于各向同性干法刻蚀的制备金属薄膜的方法,利用XeF2/SF6制备悬空Al膜。由于XeF2与SF6气体刻蚀硅时对于Al有较高的选择比,XeF2对于硅是各向同性刻蚀且有很高的刻蚀速率,而通过设置感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机的参数也可利用SF6达到各向同性刻蚀。基于上述特点制备了悬空Al膜,设计相应的制备流程,探索XeF2刻蚀机与ICP刻蚀机合适的刻蚀参数。所制备的悬空Al膜平整、无杂质,具有良好的形貌。

基于MEMS的压阻式一体化矢量水听器

随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器。设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案,以期解决长期以来由于纤毛二次集成带来的一致性误差。对水听器的性能进行有限元仿真分析,通过应力仿真得出理论上能够将其灵敏度提高约11.3 dB,模态分析表明其具有更宽的工作频带,证明该方案能够有效优化水听器的性能。介绍了该方案的具体工艺流程及重点工艺步骤,完成了一体化矢量水听器的制备。通过扫描电子显微镜(SEM)进行形貌观测,得到悬臂梁长为247μm、宽为121μm、厚为3.3μm,与设计指标基本一致,验证了工艺设计的合理性。对压敏单元进行电阻测试,得到了线性度很高的I-V特性曲线,说明其欧姆接触良好。分别对4个悬臂梁上的压敏电阻进行电阻测试,阻值均为(7 000±50)Ω,表明电阻的一致性很好,符合矢量水听器的设计需求。

循环冷却水pH值降低的原因及调整

介绍了火电厂循环冷却水发生pH值偏低的危害,用大量的现场数据分别从水质特性(缓冲性能)、氨氮、杀菌、加药等方面分析了造成pH值偏低的原因。同时,结合实际情况对现场采用的加碱、中水回用等调整措施的可行性及效果进行了初步探讨。

JH2模型参数的确定及动静荷载耦合作用下隧道围岩损伤研究

为了研究隧道围岩在静动应力耦合作用下的变形和损伤情况,建立地应力与爆破荷载耦合作用的隧道模型。首先依据文笔山隧道现场监测数据和岩体波速反推围岩的JH2本构参数。根据围岩等级,结合已知参数和波动方程,给出简易的JH2本构参数确定方法,并通过子程序嵌入ABAQUS中建立围岩的损伤模型;为了使仿真模型更接近现实情况,先进行地应力平衡,将此时的土体状态作为爆破模拟的初始应力状态,再采用等效爆破荷载法模拟隧道爆破,以此在宏观上实现大型岩土工程在静动应力耦合作用下的爆破仿真。仿真模型不仅考虑爆破面的爆破效果,还着重研究爆破对隧道围岩的影响情况。研究结果表明:初始地应力在隧道爆破中对围岩的损伤和变形都有不可忽视的作用。初始地应力的存在诱导损伤扩展,地应力越大,损伤越大,拱底在竖向发生2.2 m最大损伤深度;在相同进尺,地应力越小变形越大,拱顶在靠近开挖面处产生11.7 mm最大变形。围岩上下的水平收敛变形不同:上部背离隧道,下部指向隧道,围岩上下台阶分界处受剪切荷载。围岩的损伤与变形贴合实际工程,研究结果丰富隧道爆破模拟,对隧道爆破施工有现实指导意义。

基于强度折减法裂纹贯穿隧道围岩稳定性分析

文笔山隧道穿过隧道断层带,围岩存在发育节理和裂纹。针对该情况,借助ABAQUS对裂纹以不同倾角贯穿隧道不同位置进行模拟,分析裂纹对隧道稳定性的影响。引入强度折减法和应力强度因子对隧道的稳定系数进行求解,评价隧道围岩的稳定性。结果表明:裂纹连接隧道的破裂面,围岩形成滑动区,不利于隧道围岩的稳定。从拱顶处贯穿隧道的45°倾角裂纹对围岩的稳定性最为不利;在隧道拱肩和拱脚处,裂纹的倾角越小,隧道围岩的稳定性越差;在倾角为90°时,由于从拱肩贯穿的裂纹靠近拱脚,隧道围岩的稳定性也因此降低。基于强度折减法计算结果,提出了以特征位置的改变量作为判据隧道围岩稳定性的新方法;对于文笔山隧道过断层带段,给出围岩加固方案以减小裂纹带来的不利影响,为工程提出指导意见。

集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性

水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能。针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式矢量水听器。通过理论及仿真确定最优尺寸,进行一体化工艺流程的设计,将硅纤毛直接集成在二氧化硅梁上,既提高了对准的精度,又缩小了整体尺寸。对制备的水听器芯片进行测试,得到了压敏单元的I-V特性。测试结果表明其阻值达到7 kΩ,同时测得该压敏单元的压阻系数为3.12×10^(-9) Pa^(-1),相比于传统p型[110]体硅压敏单元的压阻系数提高了约4.35倍,压阻系数的提升可以有效提高水听器的灵敏度。此设计能够优化水听器的性能,可为后续水听器的研究和改进提供新的思路。

羟基乙酸与甲酸在锅炉化学清洗中的应用

针对某锅炉水冷壁管内壁有针状腐蚀坑,不宜采用盐酸作为清洗剂的情况,对硫酸、柠檬酸、氨基磺酸、乙酸+甲酸、羟基乙酸+甲酸5种清洗剂进行试验对比,通过分析选择了羟基乙酸与甲酸的混酸化学清洗剂,通过对清洗过程的合理控制,有效完成锅炉的化学清洗。

深基坑支护施工过程中的水患防止

随着地下工程的不断开发,深基坑工程不短增多。据了解,深基坑工程经常性受到水害困扰。本文介绍了深基坑工程中水的作用机理,就水患的影响因素作较深入剖析,且针对性地指出了水患的一般性防治原则和措施。

“互联网+”时代南昌市公共文化服务发展评价

公共文化服务具有满足社会大众文化层次需求的重要作用,在人民生活水平日益增强的情况下,完善公共文化服务体系是十九大的重要参考指标之一。"互联网+"的背景下,尽管南昌市公共文化基础设施已基本满足公众的需要,但提升空间仍很大。因此怎样提高大众对市内公共文化服务的满意度,需认真思考,如提高公共文化服务的数字化水平等。通过对南昌市发放问卷的结果及分析,帮助政府了解人民的需求和之后更好的发展,提出对策。

应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究

利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并检测其饱和吸收谱线。实验结果表明:制备出的微碱金属气室在温度为80℃条件下出现明显的饱和吸收现象。

中国特色的电视少儿频道定位

据国家统计局统计，我国青少年人口占全国总人口的29．6％。建立中国特色的电视少儿频道，既是我国国家政策的体现，也是电视事业发展的需要。 目前，我国是世界上电视少儿频道最多的国家。截止2008年4月15日，全国共有34个少儿频道和4个动画频道。可如何进行频道定位，在内容和形式上进行差异化竞争，最终凸显特色，获得较好的经济和社会效益，

传统热电厂转型升级探索与实践

近年来,我国尤其是河北南部每年都要发生几次重度雾霾,社会反响很大,清洁、绿色、低碳已成为社会的共同呼声。环保政策越来越严格,监管体系日益完善,督查问责力度越来越大,大气污染防治行动计划和煤电节能减排升级改造行动计划,对煤电提出了刚性约束,实现绿色低碳发展已成为火电企业发展的必然途径。2006年至今,邯郸厂先后投资7亿元,分别对3台机组进行了脱硫、干除灰、除渣改造、低碳脱硝改造、湿式电除尘改造、烟气氮氧化物超低排放改造、烟尘超低排放改造等环保技改项目。对运行煤场和石灰石进堆料场进行棚化改造;对厂区内渣仓、灰库、石膏库房等产尘点进行了封闭改造。在贯彻绿色发展理念,实施转型升级的过程中,实现经济效益、社会效益、生态效益同步提升。

基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备

原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传统的制备流程中所涉及多步工艺需要用到诸多不同设备,如二维材料转移对准系统、电子束曝光系统,或是光刻系统,而且往往在一些步骤中涉及有机溶液处理,有可能会对样品带来一些不利的影响.本文设计展示了一种能够实现二维材料微纳米器件制备的多功能系统,该系统不仅可以实现二维材料的高效转移,而且可以直接进行金属电极的准确淀积,并且整个加工流程不涉及溶液处理,具有操作方便、效率高、样品污染少等优点.基于该多功能系统,我们成功制备出了MoS;场效应晶体管并对器件进行了光学表征和电学性能测试,展现了这一系统在高效制备微纳器件方面的潜力.

膨胀剂对C_3A水化的影响

本文定量研究了C3A-石膏膨胀剂系统的水化反应。产物的水化量和水化速率通过XRD和TG-DTA进行定量分析。在C3A-石膏膨胀剂系统中,C3A水化缓慢。无水石膏的水化速率高于石膏。因此,C3A-石膏膨胀剂系统中水化产物的SO3/Al203摩尔比高于C3A-石膏系统。水化产物中SO3/Al203摩尔比同C3A相近。