智能高精度温度控制退火炉的研制

在集成光学领域中，光波导制备工艺中的退火不仅能显著提高波导的光学质量，而且能灵活地调节折射率分布的轮廓及其增量．我们专门研制了一种智能高精度退火炉．具有体积小，精度高，自动控制，操作方便等特点．整个仪器分为控制箱和加热箱两大部分，加热器放置在加热箱中...