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同步辐射光刻技术研究进展 |
陈大鹏
叶甜春
谢常青
李兵
董立军
胥兴才
赵玪莉
韩敬东
彭良强
伊福庭
韩勇
张菊芳
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《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
4
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2
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用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅 |
孙加兴
叶甜春
陈大鹏
谢常青
伊福庭
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
3
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3
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全新深亚微米X射线T型栅工艺 |
张菊芳
韩勇
彭良强
谢常青
陈大鹏
孙加兴
李兵
叶甜春
伊福庭
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《北京同步辐射装置年报》
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2001 |
0 |
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4
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同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术 |
刘刚
田扬超
伊福庭
彭良强
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《物理》
CAS
北大核心
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2002 |
0 |
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