期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
（日本）电子产品成膜技术的动向 被引量：3
1
作者 伊藤隆生 《真空》 CAS 北大核心 1998年第3期1-10,共10页
本文介绍了平板显示器制造过程中真空设备的应用，其中介绍了液晶制造过程中所应用的溅射成膜工艺和设备，以及低温多晶硅ＴＦＴ的成膜技术。
关键词 薄膜晶体管 等离子体显示器 电子产品 成膜技术
下载PDF
TFT/PDP用真空成膜技术和设备
2
作者 伊藤隆生 《真空》 CAS 北大核心 1998年第5期7-13,共7页
本文介绍了ＴＦＴ／ＰＤＰ用真空成膜技术和设备，主要介绍ＴＦＴ用ＩＴＯ膜和ＰＤＰ用ＭｇＯ／Ｃｕ．Ｃｒ．Ａｌ膜的成膜技术和设备。
关键词 保护膜 电极膜 滤光片 CF TFT PDP 薄膜技术 铬
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部